一(yī)
，步(bù)入無(wú)塵(chén)車間(jiān)前期準(zhǔn)備工作
1
，進(jìn)入無(wú)塵車間前(qián)，必須(xū)經過淨(jìng)化(huà)工程公(gōng)司專(zhuān)業(yè)培訓。
2
，進(jìn)入無(wú)塵車(chē)間(jiān)嚴(yán)禁吸煙，飲(yǐn)食(shí)，外(wài)來雜物(wù)不(bù)可(kě)攜入(rù)。
3
，進入無塵室前(qián)，需在規定(dìng)之處所(suǒ)脫(tuō)鞋，將鞋(xié)置(zhì)於鞋櫃(guì)內，外衣置於衣櫃內，私(sī)人物品(pǐn)置(zhì)於私(sī)人(rén)櫃(guì)內，櫃(guì)內(nèi)不可放置食物。
4
，進入無(wú)塵(chén)室(shì)須先在更衣(yī)室，將(jiāng)口罩，無塵帽，無(wú)塵衣(yī)以及鞋套(tào)按規定依程序(xù)穿戴整齊(qí)，再經(jīng)空(kōng)氣洗(xǐ)塵室洗塵，並踩(cǎi)踏除塵(chén)地毯(tǎn)（洗(xǐ)塵室地板(bǎn)上）方得進(jìn)入。
5
，戴(dài)口罩(zhào)時，應(yīng)將口罩戴(dài)在(zài)鼻子(zǐ)之(zhī)上(shàng)，以將口鼻(bí)孔蓋住為(wéi)原(yuán)則，以(yǐ)免呼吸時汙染(rǎn)芯(xīn)片(piàn)。
6
，穿(chuān)著(zhù)無塵衣(yī)，無(wú)塵帽前(qián)應先整(zhěng)理(lǐ)服裝以及頭發。
7
，整理(lǐ)儀(yí)容後，先戴(dài)無塵帽(mào)，無(wú)塵帽的穿戴原則
：
（1）頭發(fā)必(bì)須(xū)*覆(fù)蓋在帽內(nèi)，不(bù)得(dé)外露(lòu)。
（2）無塵帽之(zhī)下擺要平(píng)散於兩(liǎng)肩(jiān)之上，穿(chuān)上工(gōng)作(zuò)衣後(hòu)，方不(bù)致下擺(bǎi)脫出，裸(luǒ)露(lòu)肩(jiān)頸(jǐng)部(bù)。
8
，無(wú)塵帽戴(dài)妥(tuǒ)後，再著無(wú)塵(chén)衣，無塵衣應(yīng)尺吋(dòu)合宜(yí)，才(cái)不(bù)致(zhì)有(yǒu)褲管或衣袖(xiù)太(tài)短(duǎn)而(ér)裸(luǒ)露(lòu)皮膚(fū)之虞，穿衣(yī)時(shí)應注(zhù)意帽之下擺(bǎi)應保平整之(zhī)狀態，無(wú)塵(chén)衣(yī)不(bù)可(kě)反穿(chuān)。
9
，穿(chuān)著(zhù)無塵衣(yī)後，才著(zhuó)鞋套，拉上鞋(xié)套(tào)並(bìng)將(jiāng)鞋套整平(píng)，確實蓋(gài)在褲(kù)管(guǎn)之(zhī)上(shàng)。
10
，戴手套時(shí)應避免(miǎn)以(yǐ)光手碰(pèng)觸(chù)手套(tào)之手掌及指(zhǐ)尖(jiān)處(chǔ)（防(fáng)止鈉(nà)離(lí)子汙染(rǎn)），戴上手(shǒu)套(tào)後，應將(jiāng)手套之手(shǒu)腕置於(yú)衣袖內，以隔(gé)絕(jué)汙染(rǎn)源(yuán)。
11
，無(wú)塵衣著(zhuó)妥後，經(jīng)洗塵，並踩踏除(chú)塵毯，方(fāng)得(dé)進入無塵室。
12
，不論(lùn)進入或離開無塵(chén)室(shì)，須按(àn)規定(dìng)在更衣(yī)室(shì)脫無塵(chén)衣(yī)，不可(kě)在(zài)其它區(qū)域為之(zhī)，尤(yóu)不可(kě)在(zài)無塵室內邊(biān)走(zǒu)邊(biān)脫(tuō)。
13
，無塵衣
，鞋(xié)套等(děng)，應定(dìng)期清洗，有破損(sǔn)，脫(tuō)綫時(shí)，應即換新。
14
，脫(tuō)下(xià)無塵衣(yī)時，其順序與(yǔ)穿著(zhù)時相反(fǎn)。
15
，脫(tuō)下之無塵衣(yī)應(yīng)吊(diào)好，並放(fàng)於(yú)更衣室(shì)內上層櫃子中(zhōng)；鞋套應放(fàng)置(zhì)於(yú)吊(diào)好的(dí)無塵衣下方(fāng)。
16
，更衣室(shì)內小(xiǎo)櫃(guì)中，除(chú)了(liǎo)放(fàng)置無塵衣等規定物品外(wài)，不(bù)得放置(zhì)其(qí)它物(wù)品。
17
，除規定(dìng)紙(zhǐ)張(zhāng)及(jí)物品外(wài)，其(qí)它物品(pǐn)一(yī)概不得(dé)攜(xié)入(rù)無(wú)塵室。
18
，無(wú)塵衣等不(bù)得(dé)攜(xié)出(chū)無塵(chén)室(shì)，用畢放置(zhì)於規定處(chǔ)所(suǒ)。
19
，口罩與手(shǒu)套可視狀(zhuàng)況自行(háng)保(bǎo)管或重(zhòng)復(fù)使用。
20
，任(rèn)何(hé)東西(xī)進(jìn)入無塵室，必須用灑精擦(cā)拭幹淨(jìng)。
21
，任(rèn)何(hé)設備的進(jìn)入通(tōng)知管(guǎn)理(lǐ)人(rén)，在無塵(chén)室外擦拭幹淨，方(fāng)可進入(rù)。
22
，未通(tōng)過考(kǎo)核(hé)之(zhī)儀器，禁止使(shǐ)用，若(ruò)遇緊急情況(kuàng)，得(dé)依緊(jǐn)急處理步(bù)驟作(zuò)適當(dāng)處(chǔ)理，例如關閉水(shuǐ)
，電
，氣體等開(kāi)關。
23
，無塵室內不可動火(huǒ)，以免發生意外。
二(èr)
，無(wú)塵(chén)室操作(zuò)須(xū)知
1
，處(chǔ)理芯片時(shí)，必須戴(dài)上無(wú)纖(xiān)維手套，使用清洗過的(dí)幹淨鑷子挾持芯片(piàn)，請勿以(yǐ)手指(zhǐ)或(huò)其它任(rèn)何東西接觸(chù)芯(xīn)片(piàn)，遭碰觸汙(wū)染過的芯(xīn)片(piàn)須經(jīng)清(qīng)洗，方(fāng)得繼(jì)續使用。
（1）任(rèn)何一支鑷子前(qián)端(duān)(即(jí)挾(xié)持芯片(piàn)端)如(rú)被碰(pèng)觸過，或(huò)是鑷子掉(diào)落地上，必須拿(ná)去清(qīng)洗請(qǐng)勿用紙巾(jīn)或布擦拭(shì)髒(zàng)鑷子。
（2）芯(xīn)片清洗後(hòu)進行下(xià)一程序前，若(ruò)被(bèi)手(shǒu)指碰(pèng)觸(chù)過(guò)，必(bì)須(xū)重(zhòng)新(xīn)清洗。
（3）把(bǎ)芯片放置(zhì)於石英(yīng)舟上，準(zhǔn)備(bèi)進(jìn)爐管時，若發現(xiàn)所用鑷子有(yǒu)汙損(sǔn)現(xiàn)象(xiàng)或芯(xīn)片(piàn)上有顯(xiǎn)眼(yǎn)由(yóu)鑷(niè)子(zǐ)所引(yǐn)起的(dí)汙(wū)染，必(bì)須(xū)將芯(xīn)片重新清洗(xǐ)，並立(lì)即更(gēng)換(huàn)幹(gān)淨的鑷子使用(yòng)。
2
，芯片必須(xū)放置盒(hé)中，蓋(gài)起來(lái)存(cún)放於規定位(wèi)置(zhì)，盡(jìn)可能(néng)不讓(ràng)它(tā)暴露(lòu)。
3
，避(bì)免在芯(xīn)片(piàn)上談(tán)話，以防(fáng)止唾液濺(jiàn)於芯(xīn)片上(shàng)，在(zài)芯片進擴(kuò)散爐前，要(yào)特(tè)別注(zhù)意(yì)，防(fáng)止上述動作(zuò)產(chǎn)生。
4
，從鐵弗龍(Teflon)晶(jīng)舟，石英(yīng)舟(Quartz Boat)等載(zǎi)具(jù)(Carrier)上(shàng)，取(qǔ)出芯片(piàn)時，必(bì)須(xū)垂直向上挾起(qǐ)，避(bì)免刮(guā)傷(shāng)芯片，顯微鏡(jìng)鏡(jìng)頭確已離芯(xīn)片，方可(kě)從(cóng)吸座上移走(zǒu)芯片。
5
，芯片上(shàng)，若已長(cháng)上氧(yǎng)化(huà)層，在送(sòng)黃光(guāng)室前(qián)切(qiē)勿(wù)用鑽(zuān)石刀(dāo)在芯片(piàn)上(shàng)刻記。
6
，操作時(shí)，不(bù)論(lùn)是否(fǒu)戴上手(shǒu)套，手(shǒu)絕(jué)不能(néng)放進(jìn)清洗水槽。
7
，使(shǐ)用化學站(zhàn)或(huò)烤箱處理芯(xīn)片(piàn)時，務必將芯(xīn)片置放於鐵弗(fú)龍晶(jīng)舟(zhōu)內，不可使(shǐ)用塑料(liào)盒。
8
，擺置芯片於(yú)石英舟時，若芯(xīn)片掉落地上或手(shǒu)中(zhōng)則必須重新清(qīng)洗(xǐ)芯片，然(rán)後(hòu)再(zài)進氧(yǎng)化(huà)爐(lú)。
9
，請(qǐng)勿觸(chù)摸(mō)芯(xīn)片(piàn)盒內部，如(rú)被(bèi)碰(pèng)觸或有碎芯片(piàn)汙染，必須重作(zuò)清洗。
10
，手(shǒu)套(tào)，廢紙(zhǐ)及(jí)其(qí)它(tā)雜碎(suì)東(dōng)西，請勿留置(zhì)於操作台，手套(tào)若燒(shāo)焦(jiāo)
，磨破或(huò)纖(xiān)維質(zhì)變(biàn)多(duō)必(bì)須(xū)換新(xīn)。
11
，非(fēi)經指示，絕(jué)不可(kě)開啟(qǐ)不(bù)熟悉的(dí)儀器(qì)及(jí)各種開關閥(fá)控(kòng)製(zhì)鈕或把手。
12
，奇(qí)怪的味(wèi)道或(huò)反(fǎn)應異常的溶液，顏色(sè)，聲響等請即(jí)通知(zhī)相關(guān)人員。
13
，儀(yí)器(qì)因操作(zuò)錯(cuò)誤而有(yǒu)任何(hé)損壞時，立刻(kè)告(gào)知負責人員。
14
，芯(xīn)片(piàn)盒進出無(wú)塵室須(xū)保持(chí)幹(gān)淨(jìng)，並以保鮮膜封裝，違(wéi)者(zhě)不得進(jìn)入(rù)。
15
，無塵室內(nèi)一律使用原子筆(bǐ)及無塵筆(bǐ)記本(běn)做記(jì)錄。
三
，黃光(guāng)區操作須(xū)知(zhī)
1
，濕度(dù)及溫(wēn)度會(huì)影響(xiǎng)對準(zhǔn)工(gōng)作，在黃光(guāng)區應(yīng)注意(yì)溫(wēn)度及濕(shī)度，並應減少對(duì)準機附近(jìn)的人，以(yǐ)減(jiǎn)少(shǎo)濕
，溫度的變化。
2
，上妥光阻尚未(wèi)曝(pù)光完成之芯片(piàn)，不(bù)得(dé)攜(xié)出黃光區(qū)以(yǐ)免感(gǎn)光(guāng)。
3
，已(yǐ)上(shàng)妥光阻，而在等(děng)待(dài)對準曝光之(zhī)芯(xīn)片，應放置於不(bù)透(tòu)明之(zhī)藍黑色(sè)晶(jīng)盒之(zhī)內，盒(hé)蓋必須蓋妥(tuǒ)。
4
，光(guāng)罩(zhào)使(shǐ)用時應持取(qǔ)邊(biān)緣，不得觸及光罩(zhào)麵，任何狀況之(zhī)下，光罩(zhào)鉻(gè)膜不得與他物接觸(chù)，以(yǐ)防刮傷(shāng)。
5
，曝(pù)光(guāng)時(shí)，應避免用(yòng)眼睛(jīng)直視曝(pù)光機汞燈。
四(sì)
，鑷子使用須知
1
，進(jìn)入實驗(yàn)室(shì)後(hòu)，應先戴上手套後，再取鑷子(zǐ)，以(yǐ)免沾(zhān)汙。
2
，唯(wéi)有(yǒu)使用(yòng)幹淨的鑷子，才(cái)可(kě)持(chí)取(qǔ)芯(xīn)片，鑷子一(yī)旦掉在地上或(huò)被手觸(chù)碰(pèng)，或因(yīn)其(qí)它原因而遭(zāo)汙(wū)染，必須(xū)拿(ná)去清(qīng)洗(xǐ)，方可再使用(yòng)。