FFU（Fan Filter Unit）是風機(jī)和過濾器(qì)的組(zǔ)合，也可(kě)稱為(wéi)“自帶風機(jī)的過(guò)濾設備”。FFU通常安裝(zhuāng)在潔淨室(shì)的送風(fēng)末(mò)端，一般(bān)放(fàng)置(zhì)在(zài)吊(diào)裝(zhuāng)的幹(gān)式墊(diàn)片(piàn)密封龍骨框架(jià)上(shàng)。FFU上麵部分(fēn)為風機模塊(kuài)，下麵部分(fēn)為(wéi)過(guò)濾(lǜ)器。根(gēn)據潔淨(jìng)度(dù)的要求(qiú)，過(guò)濾(lǜ)器可為(wéi)不(bù)同等(děng)級的(dí)（HEPA）或超（ULPA）過濾器(qì)，為潔淨(jìng)室提(tí)供潔淨(jìng)空氣。風(fēng)機模塊(kuài)除(chú)了要克服(fú)FFU下部過(guò)濾(lǜ)器的(dí)阻力，還要克服(fú)整個(gè)循環(huán)風所有(yǒu)通(tōng)道部(bù)件的(dí)阻(zǔ)力，從而維持設定(dìng)的運行風速。FFU係統(tǒng)具有設(shè)計(jì)施(shī)工簡便(biàn)，風速調節(jié)靈(líng)活(huó)，潔淨區(qū)易於(yú)變更等(děng)特(tè)點(diǎn)，因此已(yǐ)成(chéng)為工業潔淨(jìng)室的(dí)流行係統(tǒng)形(xíng)式之一(yī)。
FFU的(dí)特(tè)點(diǎn)
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1，靈活性。因(yīn)為FFU是自(zì)帶(dài)動力(lì)的，它不(bù)受(shòu)區(qū)域(yù)的限製(zhì)。在(zài)一個偌大的(dí)潔(jié)淨廠(chǎng)房裏可(kě)根(gēn)據需要，分區(qū)控(kòng)製。而(ér)且(qiě)，隨著(zhuó)半導(dǎo)體(tǐ)生產(chǎn)工藝的變化(huà)，廠房布局必然(rán)要(yào)作(zuò)相(xiāng)應的調整，FFU的靈(líng)活(huó)性(xìng)使(shǐ)得這樣(yàng)的調整(zhěng)變得輕鬆，而(ér)且不(bù)會帶來二次投資(zī)。
2，可(kě)再利(lì)用性。從理論(lùn)上(shàng)講(jiǎng)，一時不(bù)用的FFU設備，可以拆下來，密封(fēng)好，留(liú)待下(xià)次(cì)使用(yòng)。
3，負壓(yā)通風。這是FFU的(dí)*特點。由(yóu)於它本(běn)身能(néng)夠提供靜壓，使得(dé)送(sòng)風(fēng)靜(jìng)壓(yā)箱(xiāng)相(xiāng)對於(yú)潔(jié)淨廠(chǎng)房(fáng)負(fù)壓。這樣(yàng)，靜(jìng)壓箱內的顆(kē)粒(lì)就(jiù)不(bù)會受(shòu)到壓力(lì)的作用泄(xiè)漏到潔(jié)淨區(qū)內，使(shǐ)得密(mì)封(fēng)變得很簡單而且安全。
4，縮短建設周期。使用FFU省掉了(liǎo)風箱的製作和安裝，因為(wéi)風(fēng)管在潔(jié)淨工(gōng)程(chéng)中，占(zhān)掉很大(dà)的建(jiàn)設(shè)周(zhōu)期(qī)，任何一(yī)個投資者都(dū)希(xī)望投資能(néng)盡(jìn)快(kuài)帶來收益(yì)，選用FFU成為了(liǎo)一(yī)種可(kě)能。
5，減少運(yùn)行成本。雖(suī)然在選(xuǎn)用FFU時(shí)，初(chū)期投(tóu)資(zī)要比使(shǐ)用(yòng)風管通風高(gāo)，但在它後(hòu)期(qī)運行中(zhōng)，突出(chū)的表(biǎo)現出(chū)節能，免維護(hù)等特(tè)點。用大循環減(jiǎn)少(shǎo)40%的(dí)運行成(chéng)本(běn)。
FFU組(zǔ)合的(dí)性能(néng)參數
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模數尺寸
：安裝(zhuāng)吊頂龍骨中心綫(xiàn)的間距，FFU常(cháng)用(yòng)的(dí)標準模(mó)數尺寸為(wéi)1200*600（4'*2'），1200*900（4'*3'），1200*1200（4'*4'）。
實(shí)際(jì)尺(chǐ)寸(cùn)
：FFU過濾(lǜ)器的實(shí)際(jì)尺寸(cùn)=模(mó)塊尺寸-（龍骨斷(duàn)麵(miàn)寬度(dù)-25mm），風(fēng)機模塊的實(shí)際尺寸比(bǐ)過(guò)濾器稍(shāo)大(dà)4mm。比如(rú)說常(cháng)用(yòng)的圓頂龍(lóng)骨(gǔ)端(duān)麵(miàn)寬(kuān)度(dù)為55mm，模數尺寸為(wéi)1200，900，600所(suǒ)對應(yīng)的FFU過(guò)濾器實際尺(chǐ)寸1170，870，570，風機(jī)模(mó)塊(kuài)的(dí)實(shí)際尺寸為1174，874，574。
機外餘(yú)壓(yā)
：在某一(yī)設(shè)定風速(sù)下(xià)，風機(jī)模塊(kuài)的總靜壓下(xià)（TSP）扣(kòu)除(chú)HEPA/ULPA過濾(lǜ)器(qì)的(dí)阻(zǔ)力，即(jí)為(wéi)機外餘壓(yā)（ESP），單(dān)位是Pa。ESP是指FFU整(zhěng)機(jī)能(néng)克服潔淨室循(xún)環(huán)風阻(zǔ)力(lì)的(dí)能(néng)力(lì)，無論是標注FFU機外餘(yú)壓(yā)或風(fēng)機(jī)模(mó)塊的總靜壓(yā)TSP，都必須指明送(sòng)風(fēng)風(fēng)速或風量，否(fǒu)則(zé)沒有意義。
輸(shū)入(rù)能耗
：FFU正常運轉時輸入電(diàn)壓或(huò)輸入電流的乘積，單(dān)位(wèi)是(shì)W。顯然，FFU在不同的(dí)運(yùn)行(háng)工況(kuàng)點(diǎn)，即(jí)在不同(tóng)的(dí)運行風量和總靜(jìng)壓時(shí)，輸入能耗不(bù)同。因(yīn)此，如果(guǒ)不指名運行工況點(diǎn)，輸入(rù)能耗值沒有(yǒu)意義。
單(dān)位噪音
：根(gēn)據(jù)標(biāo)準IES-RP-CC002，FFU正(zhèng)常運轉(zhuǎn)時在距(jù)離出(chū)風麵(miàn)中心正(zhèng)下方1.2m處的噪(zào)音(yīn)值，單(dān)位是(shì)dB(A)。FFU在(zài)不(bù)同的運行(háng)工況點，即在(zài)不同的運(yùn)行風量和總靜壓(yā)時，噪(zào)音不同。因(yīn)此(cǐ)，如果不指(zhǐ)明(míng)運行(háng)工況點，噪(zào)音值沒(méi)有意義。
微振
：根據(jù)標準IES-RP-CC002，FFU在大運轉工(gōng)況(kuàng)點時的(dí)振(zhèn)動(dòng)幅度(dù)和振動速率(shuài)，單(dān)位分(fēn)別是mm和mm/s。
送(sòng)風(fēng)均匀(yún)度
：根(gēn)據標準IES-RP-CC002，FFU正(zhèng)常(cháng)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，在(zài)距離出風麵(miàn)下(xià)方(fāng)150mm(6'')的水平麵(miàn)上(shàng)測(cè)量(liáng)逐點的風(fēng)速，得出(chū)平均風(fēng)速值(zhí)。平(píng)均(jūn)風(fēng)速與大風速和小風(fēng)速的(dí)偏(piān)差比(bǐ)即為送風(fēng)均匀(yún)度，單位(wèi)為+/-%。標準IES-RP-CC002中要求(qiú)FFU的任一(yī)點的送(sòng)風(fēng)風速與其平均(jūn)風速(sù)的偏(piān)差(chà)均應在(zài)+/-20%以內(nèi)。
過濾(lǜ)器(qì)效(xiào)率等(děng)級
：依據(jù)歐洲(zhōu)標準(zhǔn)EN1822，過(guò)濾(lǜ)器等(děng)級從H10-H14，U15-U17，或(huò)依據(jù)美國標準MIL-282(HEPA)對(duì)於(yú)0.3um的(dí)效率值；依據(jù)美(měi)國(guó)標準IES-RP-CC007.1，對(duì)於(yú)0.12um的效率(shuài)值。