一(yī)，微電子(zǐ)工業類(lèi)潔淨(jìng)廠房(fáng)的(dí)特殊工藝(yì)決定了它具有(yǒu)以下特(tè)點和火災(zāi)危(wēi)險(xiǎn)性：
（1）廠房(fáng)內大量存在(zài)用(yòng)特殊(shū)的板材(cái)設置(zhì)的潔淨室。潔(jié)淨(jìng)室是(shì)個相對(duì)密閉空間，有(yǒu)的還是無窗(chuāng)密閉體。一(yī)般不(bù)設置(zhì)開啟通風窗，密閉空間一旦發生火災，熱量難(nán)於散發，產生大(dà)量煙氣(qì)，給(gěi)人員(yuán)疏散和(hé)消防隊(duì)的(dí)撲救造成(chéng)較大(dà)困難(nán)。
（2）廠(chǎng)房對工(gōng)藝(yì)加工設(shè)備(bèi)精度和自動化(huà)程(chéng)度要求(qiú)很(hěn)高(gāo)，因(yīn)而(ér)建築(zhù)以及生(shēng)產設備投資(zī)十分昂(áng)貴，一旦發生(shēng)火(huǒ)災(zāi)，會造成(chéng)嚴重(zhòng)的經濟(jì)損失。
（3）廠房(fáng)操(cāo)作工(gōng)藝(yì)大多需使用易燃，易(yì)爆液(yè)體(tǐ)或氣(qì)體。一(yī)旦有液體(tǐ)或氣(qì)體泄漏，就有(yǒu)可(kě)能引發(fā)火(huǒ)災(zāi)，爆(bào)炸(zhà)。
（4）潔淨室(shì)的(dí)電氣設(shè)備(bèi)較(jiào)多(duō)，綫路(lù)大多為暗敷(fū)，檢修(xiū)比較困(kùn)難，有了(liǎo)故(gù)障(zhàng)及(jí)火災時不(bù)易(yì)發現。
（5）廠房內有許多管道（如通(tōng)風(fēng)管(guǎn)，電(diàn)纜管）跨樓(lóu)層相通(tōng)，發生火災，火(huǒ)勢(shì)會順著管道(dào)迅速蔓延。
（6）廠房內的走廊，通(tōng)道(dào)管(guǎn)，由於工藝(yì)的(dí)特殊要求(qiú)，都布置(zhì)得(dé)迂回曲(qū)折(zhē)，人(rén)員疏散困(kùn)難。
（7）室(shì)內裝(zhuāng)修(xiū)使(shǐ)用了一些高(gāo)分子(zǐ)合成材(cái)料，這些(xiē)材料在燃燒(shāo)時產生(shēng)濃(nóng)煙，散發毒氣，有的燃燒速度(dù)極快。
二(èr)，鑒(jiàn)於(yú)微電(diàn)子工業(yè)類潔(jié)淨(jìng)廠房(fáng)的特殊(shū)性和火(huǒ)災(zāi)危險性(xìng)，建築(zhù)防火設計中(zhōng)應注意以(yǐ)下方(fāng)麵(miàn)：
（一）防火分(fēn)隔(gé)
1，潔(jié)淨(jìng)廠(chǎng)房的(dí)耐(nài)火等(děng)級不應低(dī)於(yú)二(èr)級。
2，潔(jié)淨廠房(fáng)樓層數的(dí)判(pàn)定(dìng)：由於工(gōng)藝要求，潔淨廠房的(dí)層高一(yī)般(bān)較(jiào)普通廠房高(gāo)，並(bìng)需要(yào)設置上下技術(shù)夾層或技(jì)術夾道，夾層(céng)內設置(zhì)一(yī)些(xiē)設備，風機(jī)，風(fēng)管(guǎn)，電纜(lǎn)，氣(qì)體(tǐ)和液(yè)體的輸送(sòng)管(guǎn)道。它與(yǔ)潔(jié)淨(jìng)區之(zhī)間(jiān)由鏤(lòu)空地(dì)板，吊頂或(huò)錯(cuò)綜復雜(zá)的管道(dào)上下(xià)連(lián)通。如(rú)果將(jiāng)技術夾(jiā)層算為(wéi)獨立(lì)的一層，防(fáng)火分隔(gé)顯(xiǎn)然很困(kùn)難，筆者借鑒專(zhuān)家的意(yì)見認為(wéi)可(kě)將上下(xià)技(jì)術夾(jiā)層及生(shēng)產區作為一層來考慮，但(dàn)應在上(shàng)下夾(jiā)層(céng)內設(shè)置(zhì)相(xiāng)應(yīng)的消(xiāo)防設施(shī)。
3，潔淨(jìng)廠(chǎng)房(fáng)的防火分(fēn)區。由(yóu)於工藝的(dí)需要，生產車(chē)間生產綫長度(dù)達(dá)到200餘米，按照《民(mín)用建(jiàn)築設(shè)計防火(huǒ)規範》的要求設(shè)置防(fáng)火分區(qū)*不(bù)現(xiàn)實(shí)。鑒於該類工業的從業(yè)人員(yuán)少，如(rú)果(guǒ)加(jiā)強安全疏散(sàn)條件(jiàn)和防火滅火(huǒ)設施配(pèi)備，可(kě)按照(zhào)生(shēng)產需(xū)要設置(zhì)防(fáng)火(huǒ)分區。
（二）安全疏(shū)散
安(ān)全(quán)出口(kǒu)與疏散(sàn)通道(dào)：在潔(jié)淨(jìng)廠房(fáng)的(dí)設計(jì)中，人(rén)員(yuán)的安(ān)全(quán)疏散是尤為重(zhòng)要，也(yě)是較(jiào)復雜(zá)的(dí)。應(yīng)按照《潔(jié)淨廠房設計(jì)規(guī)範》要求每一生(shēng)產層(céng)，每一(yī)防火分區或(huò)每(měi)一(yī)潔(jié)淨(jìng)區(qū)的安全(quán)出口數(shù)量(liáng)，均不應少於(yú)二個，且安(ān)全出(chū)口應(yīng)當(dāng)分散布置。設計(jì)時(shí)應(yīng)盡量使(shǐ)疏(shū)散路(lù)綫與工(gōng)藝流(liú)程分隔開，滿足從(cóng)任何(hé)一處生產地點至(zhì)安全出口不經過曲折的(dí)人員淨化路(lù)徑(jìng)，應(yīng)直接明(míng)了(liǎo)避免(miǎn)曲(qū)折，且(qiě)在走上設置明(míng)顯(xiǎn)的(dí)指示標(biāo)誌。
火(huǒ)災撲救出(chū)入口(kǒu)的(dí)要求：由於潔(jié)淨廠房(fáng)是個(gè)封閉間，一旦發生火災(zāi)，給消(xiāo)防隊員(yuán)的撲救帶來困難，因(yīn)此(cǐ)規範(fàn)要求潔(jié)淨廠房的外(wài)牆(qiáng)應設可(kě)供(gōng)消防(fáng)隊員通(tōng)往廠(chǎng)房潔淨區(qū)的(dí)消防口(kǒu)，消防口(kǒu)的(dí)間距(jù)不(bù)大(dà)於80m，其(qí)寬度(dù)不應小(xiǎo)於(yú)750mm，高度不(bù)小(xiǎo)於(yú)1900mm，應(yīng)有明顯標誌(zhì)，消(xiāo)防(fáng)口平(píng)時(shí)可(kě)封(fēng)閉，使(shǐ)用時(shí)由(yóu)消防(fáng)隊員(yuán)從室(shì)外打(dǎ)開。設(shè)計中在廠(chǎng)房內的火災(zāi)撲救(jiù)入口門(mén)應(yīng)盡量(liáng)開(kāi)設在樓梯間(jiān)內或疏散走(zǒu)道上(shàng)，保證(zhèng)滅(miè)火人(rén)員的自(zì)身安全。
（三）室內裝修
潔淨(jìng)室的頂棚和(hé)壁板(bǎn)（包(bāo)括夾芯材料(liào)）應為不燃(rán)燒體(tǐ)，且不得(dé)采用(yòng)有機復合材(cái)料，潔淨(jìng)生(shēng)產與(yǔ)一(yī)般生產區(qū)域(yù)之間應設(shè)置不燃燒體(tǐ)隔(gé)斷(duàn)設施(shī)。這樣可以避免(miǎn)因室內任何一方發生火(huǒ)災(zāi)殃及另外一方(fāng)，避(bì)免燃(rán)燒時產生窒(zhì)息(xī)性氣體(tǐ)，有(yǒu)害(hài)氣體(tǐ)等。目前國內外(wài)製(zhì)造(zào)廠家生產的潔淨(jìng)室(shì)用金屬(shǔ)壁(bì)板(bǎn)，大部(bù)分均能滿(mǎn)足上述要(yào)求。
（四）消(xiāo)防給(gěi)水和(hé)滅(miè)火設(shè)備
1，潔淨室(shì)的(dí)生產層及上下(xià)技(jì)術(shù)加層(céng)（不含不(bù)通(tōng)行(háng)的技術(shù)夾(jiā)層(céng)），均(jūn)應設置室(shì)內(nèi)消(xiāo)火栓(shuān)。消(xiāo)火栓的用水(shuǐ)量不(bù)小(xiǎo)於(yú)10L/s，每支(zhī)水槍(qiāng)的(dí)出水(shuǐ)量(liáng)應不(bù)小(xiǎo)於5L/s。
2，潔(jié)淨(jìng)廠房內設有貴(guì)重(zhòng)設(shè)備，儀器的(dí)房間(jiān)應(yīng)設(shè)置固(gù)定滅火(huǒ)設施。當(dāng)設置自動噴(pēn)水(shuǐ)滅火(huǒ)係統(tǒng)時，宜采用預作用式自動噴水滅火(huǒ)係統(tǒng)，當設置氣(qì)體滅火(huǒ)係統時(shí)，不應(yīng)采用能(néng)導致人員窒(zhì)息(xī)和對保護(hù)對(duì)象產生二(èr)次(cì)損(sǔn)害的(dí)滅火劑(jì)。
（五）消防(fáng)通訊設(shè)施(shī)
由(yóu)於(yú)潔淨(jìng)廠(chǎng)房(fáng)室(shì)內大量使用金(jīn)屬(shǔ)板(bǎn)材(cái)，一(yī)般(bān)屏蔽(bì)效果(guǒ)很(hěn)強。所以(yǐ)在潔淨廠(chǎng)房(fáng)內(nèi)應設置(zhì)一套*的(dí)消防通(tōng)訊設施。這套設施不僅為內部職(zhí)工在發生火(huǒ)災(zāi)後(hòu)報(bào)警和(hé)通(tōng)訊使用(yòng)，更(gēng)應提供(gōng)參與滅(miè)火的消防官兵(bīng)使(shǐ)用(yòng)，以(yǐ)確保(bǎo)火(huǒ)場(cháng)通訊的(dí)暢(chàng)通，減少(shǎo)不必要的(dí)通(tōng)訊(xùn)中斷(duàn)和(hé)通訊(xùn)故(gù)障(zhàng)，以確(què)保(bǎo)滅火人員的生命安全。
（六(liù)）通風(fēng)和防排(pái)煙
1，易燃(rán)，易(yì)爆區域的排風應與(yǔ)一般區域(yù)分開(kāi)，單(dān)獨(dú)設置(zhì)，並選擇(zé)防爆型排(pái)風風機。
2，為(wéi)保(bǎo)證生(shēng)產(chǎn)安(ān)全和(hé)員(yuán)工安全，應設(shè)置事(shì)故排(pái)風係(xì)統。事故(gù)排風(fēng)係統應設(shè)自動和手動(dòng)控(kòng)製(zhì)開關，手(shǒu)動控(kòng)製開關應分(fēn)別設在潔(jié)淨室(shì)及潔(jié)淨室外便(biàn)於操(cāo)作的地(dì)點。
3，潔(jié)淨廠(chǎng)房的走廊，應設置機(jī)械防(fáng)排煙設施(shī)。潔(jié)淨廠(chǎng)房(fáng)內管綫種(zhǒng)類較(jiào)多(duō)，若(ruò)增加一(yī)套(tào)防排煙管道(dào)有(yǒu)很大難(nán)度(dù)，潔(jié)淨(jìng)室(shì)機(jī)械防(fáng)排(pái)煙(yān)係(xì)統可於通(tōng)風(fēng)，淨化(huà)空(kōng)調係(xì)統(tǒng)合用，但必(bì)須(xū)采取(qǔ)可靠的(dí)防火(huǒ)安全措施。
4，風管應采用不燃材(cái)料，並根(gēn)據(jù)相關(guān)規範(fàn)的(dí)要(yào)求設(shè)置(zhì)防火閥。
（七）電(diàn)氣
1，潔(jié)淨(jìng)廠房內應設(shè)置供(gōng)人員疏(shū)散(sàn)用(yòng)的應急(jí)照(zhào)明(míng)和疏散指(zhǐ)示(shì)標誌。在(zài)消防(fáng)口處應(yīng)設(shè)置紅色應急(jí)照(zhào)明燈。
2，潔(jié)淨廠(chǎng)房(fáng)內應設置備(bèi)用照(zhào)明(míng)，滿(mǎn)足(zú)所需要的(dí)場所(suǒ)或部位(wèi)進(jìn)行各項活動(dòng)和(hé)工作所需的(dí)低(dī)照度，一般(bān)不應低於正(zhèng)常照明照(zhào)度(dù)標(biāo)準(zhǔn)的1/10。
3，潔淨廠(chǎng)房生產(chǎn)區(qū)（包括(kuò)技(jì)術(shù)夾層(céng)），機(jī)房(fáng)，站房等均應(yīng)設置火(huǒ)災報警探(tàn)測器。潔淨廠(chǎng)房生(shēng)產區(qū)及走廊應(yīng)設置手動(dòng)火(huǒ)災(zāi)報警(jǐng)按(àn)鈕。
4，潔淨室(shì)內可能產(chǎn)生靜電(diàn)危害(hài)的設備，流(liú)動(dòng)液體(tǐ)，氣體或粉體管道應采(cǎi)取(qǔ)防靜電(diàn)接(jiē)地措施。