（一(yī)）一(yī)般(bān)規定
1，特(tè)種(zhǒng)設(shè)施的安裝施(shī)工，應符合(hé)下(xià)列(liè)規定：
（1）相關的(dí)土(tǔ)建工(gōng)程(chéng)己(jǐ)驗(yàn)收合(hé)格，並(bìng)辦理交接(jiē)手續。
（2）應按(àn)工(gōng)程設計文(wén)件和相關(guān)設備出廠技術說(shuō)明(míng)要求(qiú)進行(háng)安(ān)裝。
（3）各(gè)種設備(bèi)及(jí)其附件，材料（包(bāo)括(kuò)填充(chōng)材(cái)料）已進行現(xiàn)場(cháng)檢查(chá)，檢驗，並應符合工(gōng)程設計(jì)和(hé)設(shè)備(bèi)技術(shù)要求。認真(zhēn)並(bìng)進行進(jìn)場記(jì)錄(lù)。
2，對氣密(mì)性，滲漏性(xìng)控(kòng)製嚴(yán)格(gé)的特(tè)種設(shè)施(shī)的(dí)設備，附(fù)件等，安裝前(qián)應嚴(yán)格(gé)檢(jiǎn)查密封狀(zhuàng)況，若發現異(yì)常，應與供(gōng)貨(huò)商共(gòng)同(tóng)檢查(chá)，經確認(rèn)不(bù)影(yǐng)響使用(yòng)功能(néng)後(hòu)才能(néng)進行安裝(zhuāng)。
3，對(duì)特(tè)種設施的承壓設(shè)備，附(fù)件(jiàn)，應(yīng)具有壓(yā)力(lì)試驗，無損探(tàn)傷(shāng)等(děng)有效(xiào)檢(jiǎn)驗(yàn)合(hé)格(gé)文(wén)件。無合格(gé)文(wén)件者，不得(dé)進行安裝。
4，有(yǒu)爆炸危(wēi)險(xiǎn)或(huò)有毒(dú)的(dí)氣(qì)體，液(yè)體，有機溶劑等相關(guān)的設備，附件，應(yīng)具(jù)有有(yǒu)效檢驗(yàn)的合(hé)格(gé)文件，不(bù)符合規(guī)定(dìng)者(zhě)不得進(jìn)行安裝。
5，分類，分係(xì)統進行安(ān)裝(zhuāng)質(zhì)量驗收(shōu)，一般(bān)宜(yí)與供應(yīng)係(xì)統(tǒng)的(dí)試(shì)運(yùn)轉(zhuǎn)結合進行。
6，有防靜電(diàn)接地要求的設施，在(zài)安(ān)裝就位或係(xì)統管(guǎn)道安(ān)裝(zhuāng)完(wán)成後進(jìn)行可(kě)靠接地。
（二）高(gāo)純(chún)氣(qì)，特種(zhǒng)氣(qì)體供應設施(shī)的安裝(zhuāng)
1，管路(lù)係統(tǒng)的試(shì)運轉(zhuǎn)應(yīng)包括管路(lù)吹(chuī)掃，氣(qì)密性，泄漏性試驗和純(chún)度(dù)測(cè)試。
2，高(gāo)純(chún)氣體(tǐ)，特種(zhǒng)氣體供應設(shè)施(shī)安(ān)裝前(qián)，應按工程(chéng)設(shè)計(jì)文件和產品說明書(shū)或合約的(dí)要求，檢(jiǎn)查(chá)設備（包括填充的純(chún)化材料(liào)等），閥(fá)門(mén)和管件的完(wán)整性，密(mì)封(fēng)性(xìng)，並作(zuò)檢查記錄。
3，純化(huà)設(shè)備，特氣櫃(guì)的(dí)搬運，就位應符合下列規(guī)定(dìng)：
（1）搬(bān)入潔淨室（區(qū)）前(qián)，應(yīng)進行(háng)認真的清(qīng)潔，符合要求後從(cóng)規(guī)定的設備(bèi)搬入(rù)口(kǒu)運入。
（2）整(zhěng)體(tǐ)設(shè)備搬運(yùn)時，應按設(shè)備的(dí)構造，管道(dào)及(jí)閥(fá)門(mén)等(děng)附(fù)件的(dí)配置狀(zhuàng)況安(ān)全運輸，不(bù)得倒置，並可(kě)靠固定。
（3）設(shè)備(bèi)就位時(shí)，應(yīng)按工程設計文件(jiàn)和產(chǎn)品(pǐn)說(shuō)明書(shū)要求，準確做好接(jiē)管(guǎn)，接綫(xiàn)定(dìng)位。
（4）就位(wèi)後(hòu)，水(shuǐ)，電接口應按(àn)工(gōng)程設計(jì)文(wén)件要(yào)求(qiú)連接。
（5）氣(qì)體管道接(jiē)口，應在分係(xì)統(tǒng)的(dí)氣體(tǐ)輸送管道安(ān)裝(zhuāng)試運(yùn)轉合(hé)格後(hòu)才能連(lián)接。
4，高(gāo)純(chún)氣(qì)體(tǐ)，特(tè)種氣(qì)體係統(tǒng)的閥門(mén)箱(xiāng)，吹掃(sǎo)盤的安(ān)裝，應符(fú)合(hé)下列(liè)要求:
（1）檢查(chá)箱體(tǐ)及箱內(nèi)閥門(mén)，儀(yí)表和(hé)附(fù)件(jiàn)的完整(zhěng)性，密(mì)封(fēng)性(xìng)和合格證書(shū)等，並(bìng)作好記錄。
（2）安(ān)裝位置(zhì)應(yīng)按工(gōng)程(chéng)設計文(wén)件，產品說明書(shū)要求(qiú)進(jìn)行(háng)，並檢(jiǎn)查接(jiē)管(guǎn)，接(jiē)綫方(fāng)位的正確(què)性(xìng)。
（3）氣(qì)體(tǐ)管道接口，應在所在(zài)係統試運轉合(hé)格(gé)後才(cái)能(néng)連接。
5，高純氣體，特(tè)種(zhǒng)氣體(tǐ)設(shè)施(shī)施工安(ān)裝(zhuāng)試運轉(zhuǎn)的純度測試(shì)，應符合下列(liè)要求：
（1）純(chún)度(dù)測試介質，宜采用(yòng)工作氣(qì)體進(jìn)行。
（2）測(cè)試(shì)氣(qì)體的(dí)壓(yā)力，宜(yí)與輸(shū)送介質的設(shè)計壓力相(xiāng)同(tóng)。
（3）測試(shì)氣體的檢測取樣(yàng)口或(huò)排氣接(jiē)口，應(yīng)設(shè)在(zài)供(gōng)氣(qì)係統中(zhōng)要(yào)求(qiú)氣體純度及(jí)其雜質(zhì)含量嚴格且距(jù)離長的(dí)用(yòng)氣設備處(chǔ)。
（4）純度測試過(guò)程，取(qǔ)樣時間的(dí)間(jiān)隔(gé)宜為4h左右；氣(qì)體(tǐ)樣品應采用與輸(shū)送(sòng)介質純度及允(yǔn)許(xǔ)雜(zá)質含量(liáng)相(xiāng)應(yīng)的(dí)精(jīng)度(dù)等(děng)級(jí)的儀器進行分析(xī)。
（5）當測試(shì)氣體的(dí)進，出口的(dí)純度(dù)及其(qí)雜(zá)質含量(liáng)（一般(bān)以(yǐ)氧(yǎng)痕量濃(nóng)度，水痕量濃度(dù)為代(dài)表）一(yī)致時，即(jí)認為純(chún)度(dù)測(cè)試合格(gé)。
6，管路(lù)係統的試驗應(yīng)符合下(xià)列要求：
（1）高純氣體，特(tè)種(zhǒng)氣(qì)體(tǐ)供應(yīng)設施(shī)的強度試驗(yàn)，氣密性試驗和泄漏(lòu)量試驗(yàn)及試(shì)驗(yàn)壓力，均應按工程設計(jì)文件(jiàn)要(yào)求。
（2）試(shì)驗氣體宜采(cǎi)用(yòng)無(wú)油(yóu)幹燥壓(yā)縮空(kōng)氣(qì)或純氮(dàn)或氦氣(qì)；試驗氣體壓(yā)力按(àn)規(guī)定(dìng)逐步升(shēng)至(zhì)係統強度試(shì)驗壓(yā)力後(hòu)，保持10min，然(rán)後降壓至氣密性試(shì)驗(yàn)壓力，檢查(chá)接口(kǒu)，焊(hàn)縫是(shì)否泄漏，以(yǐ)不漏為(wéi)合格。
（3）氣(qì)密(mì)性試(shì)驗合(hé)格(gé)後，進(jìn)行(háng)泄漏量(liáng)試(shì)驗，試(shì)驗氣(qì)體為(wéi)純氮或無油幹燥壓(yā)縮空氣時，係統以設(shè)計壓(yā)力保持(chí)24h，檢查(chá)泄漏率不超過0.5％為(wéi)合格。采用氦氣為(wéi)試驗(yàn)氣體時，係統以(yǐ)設(shè)計(jì)壓力保(bǎo)持1h，檢(jiǎn)查泄(xiè)漏率不(bù)超(chāo)過0.5％為合格。若不合格(gé)，檢(jiǎn)查原因並進(jìn)行*後(hòu)，再(zài)進行泄漏(lòu)量試驗，直至(zhì)合(hé)格為(wéi)止(zhǐ)。
（4）管路係統的試(shì)驗，一般均不包含(hán)純(chún)化設備，特氣櫃(guì)和閥(fá)門(mén)箱等(děng)。
7，管(guǎn)路吹掃應(yīng)符合(hé)下列(liè)要求(qiú)：
（1）應按氣體(tǐ)品種(zhǒng)，工作參(cān)數分(fēn)係統(tǒng)分別進行吹掃。
（2）管路(lù)係統應采用0.3.0.5MPa的(dí)無油(yóu)幹(gān)燥(zào)壓縮(suō)空(kōng)氣或(huò)純氮(dàn)進行(háng)吹(chuī)掃，吹(chuī)掃氣(qì)體(tǐ)應設(shè)置過(guò)濾(lǜ)精(jīng)度(dù)嚴於0.31tm氣體(tǐ)過(guò)濾器去(qù)除微粒(lì)；對輸送(sòng)可燃(rán)氣(qì)體的(dí)管(guǎn)路(lù)宜采(cǎi)用(yòng)純氮(dàn)吹掃(sǎo)。
（3）在管路係統吹(chuī)掃氣體(tǐ)排出口設(shè)靶檢查，以靶(bǎ)上未見(jiàn)微(wēi)粒(lì)為(wéi)合(hé)格；對(duì)輸(shū)送可(kě)燃氣體的管路係(xì)統(tǒng)，應以排(pái)出口(kǒu)吹掃氣體(tǐ)中(zhōng)含氧量(liáng)小(xiǎo)於1％為合格。
（三(sān)）純水供應設施(shī)的(dí)安(ān)裝(zhuāng)
1，純水供應設施安(ān)裝前(qián)，應按工程(chéng)設計(jì)文件(jiàn)和產品(pǐn)說明書(shū)或合(hé)約(yuē)的要(yào)求(qiú)檢(jiǎn)查，核對設備（包(bāo)括(kuò)填充的(dí)材(cái)料，元(yuán)件(jiàn)等(děng)），閥門(mén)和管件(jiàn)的(dí)完(wán)整性(xìng)，密(mì)封(fēng)性，並作好(hǎo)檢查，核(hé)對(duì)記錄(lù)。
2，純水管道(dào)及(jí)其(qí)閥(fá)門，附(fù)件的材質(zhì)，應(yīng)按工(gōng)程(chéng)設計文(wén)件和產品生(shēng)產(chǎn)要求進(jìn)行選擇。
3，單體(tǐ)設備的搬運，就(jiù)位應(yīng)符合下列(liè)要求(qiú)：
（1）搬(bān)入(rù)潔淨室（區(qū)）內的單(dān)體(tǐ)設備，應(yīng)進行(háng)認(rèn)真(zhēn)清潔後(hòu)才(cái)能搬(bān)入。
（2）裝有填料或(huò)元(yuán)件的(dí)單體設(shè)備(bèi)，應按(àn)要求(qiú)的方(fāng)向(xiàng)進行搬(bān)運，就位，不得倒置。
（3）單體(tǐ)設備就位(wèi)時(shí)，應(yīng)按工程(chéng)設計文件和(hé)產品說明書要求，正確進(jìn)行(háng)定位。
4，潔淨室(shì)（區）內純水(shuǐ)末端處理(lǐ)設備(bèi)的安(ān)裝，應(yīng)符(fú)合下列要求(qiú)：
（1）純(chún)水管道(dào)接管，應(yīng)在純(chún)水係統安(ān)裝後(hòu)經試驗及試運轉合(hé)格(gé)後連(lián)接。
（2）接(jiē)管，接(jiē)綫後，應按工程(chéng)設計(jì)文件和(hé)產(chǎn)品說明書進行試運轉(zhuǎn)。
5，藥品和保健品(pǐn)等(děng)生產(chǎn)用純(chún)水(shuǐ)係(xì)統的安裝，應符(fú)合(hé)下(xià)列要求(qiú)：
（1）根據(jù)使用特(tè)點(diǎn)和(hé)工程設計(jì)文件(jiàn)要(yào)求，準確(què)選擇(zé)管路(lù)材(cái)質，閥門(mén)，附(fù)件，並(bìng)不得對(duì)水質(zhì)產生汙(wū)染和(hé)引起(qǐ)腐蝕或損傷(shāng)。
6，管道係統(tǒng)的試驗，試運轉(zhuǎn)，應符合下(xià)列要求：
（1）管道(dào)係統(tǒng)的試驗應按工(gōng)程(chéng)設(shè)計(jì)文件要(yào)求進行(háng)水壓(yā)試(shì)驗。
（2）管道係(xì)統的(dí)試驗(yàn)，試運轉(zhuǎn)，通常不包括(kuò)末(mò)端處理裝(zhuāng)置等(děng)。
（3）試(shì)驗合格後，以同(tóng)等(děng)水(shuǐ)質(zhì)的純(chún)水進行清洗，直至在管路(lù)末端(duān)無雜質(zhì)，汙染物為合格。
（4）有特(tè)殊(shū)要求的純水係(xì)統，應(yīng)按設計要(yào)求(qiú)進行脫(tuō)脂(zhī)，清洗，鈍(dùn)化，合(hé)格後，並(bìng)按規(guī)定進行消(xiāo)毒(dú)滅菌。
（5）純(chún)水水質試驗(yàn)，以(yǐ)本係統同樣(yàng)水(shuǐ)質(zhì)的(dí)純(chún)水(shuǐ)進(jìn)行試(shì)驗，水質分析采樣日(rì)應(yīng)為水(shuǐ)質(zhì)要求(qiú)嚴(yán)格(gé)且距離長的用(yòng)戶末端處：取樣(yàng)時(shí)間(jiān)間(jiān)隔為2-4h，以係(xì)統的始(shǐ)端，末端(duān)的(dí)水質相同為(wéi)合(hé)格(gé)。
7，管(guǎn)道(dào)清洗應符合(hé)下列要求：
（1）管道清(qīng)洗先以清(qīng)潔(jié)水衝洗，末端檢查無(wú)雜(zá)物(wù)後，以同等(děng)水(shuǐ)質的純(chún)水清洗。
（2）清洗(xǐ)時，應關(guān)斷(duàn)所有(yǒu)接(jiē)至(zhì)單體(tǐ)設備的閥(fá)門，管道(dào)係統的(dí)過濾器濾芯(xīn)應(yīng)卸下，待清洗(xǐ)合格後原樣(yàng)恢復。
（四(sì)）化學品供(gōng)應設(shè)施(shī)的安(ān)裝
1，本節(jié)適(shì)用於潔(jié)淨廠房中工(gōng)業產品生產所需的(dí)酸(suān)，鹼，有機物(wù)質(zhì)等化學(xué)品供應設(shè)備，輸送管(guǎn)路係統的(dí)安(ān)裝(zhuāng)施工質量驗(yàn)收。
2，化學(xué)品供(gōng)應設(shè)施(shī)安裝(zhuāng)前，應按設計(jì)文件和產品說明(míng)書的(dí)要(yào)求或合(hé)約規定檢(jiǎn)查設備，容(róng)器，閥門(mén)和附(fù)件的(dí)完(wán)整(zhěng)性和密封性等(děng)，並作(zuò)檢查記錄(lù)。
3，化(huà)學品供應設施中的各(gè)類泵的(dí)安裝(zhuāng)施(shī)工應(yīng)符(fú)合(hé)現行國(guó)家標準(zhǔn)《壓縮(suō)機，風機(jī)，泵安裝(zhuāng)工(gōng)程(chéng)施工及(jí)驗收規範(fàn)》GB 50275的規定。
4，潔掙室(shì)（區）內化學(xué)品(pǐn)輸(shū)送(sòng)管(guǎn)道係(xì)統(tǒng)的閥(fá)門箱(xiāng)等的(dí)安裝，應(yīng)符(fú)合下列(liè)要求：
（1）檢(jiǎn)查(chá)箱(xiāng)體(tǐ)及(jí)箱(xiāng)內閥(fá)門，儀表和(hé)附(fù)件的(dí)完(wán)整性(xìng)，密封(fēng)性(xìng)和合格證書，並(bìng)作好檢(jiǎn)查(chá)記錄。
（2）就(jiù)位(wèi)安(ān)裝應(yīng)按(àn)工(gōng)程設(shè)計文(wén)件，產品(pǐn)說明書要(yào)求(qiú)進(jìn)行，並檢(jiǎn)查(chá)接(jiē)管(guǎn)，接(jiē)綫方位(wèi)的正確(què)性。
（3）各(gè)種(zhǒng)管(guǎn)道的(dí)連接，應在(zài)所(suǒ)在係統吹(chuī)掃(sǎo)或清(qīng)洗合(hé)格後(hòu)進行(háng)。
5，化(huà)學品供應設施的容(róng)器，管道(dào)及其(qí)閥門(mén)，附件的(dí)材質，應(yīng)符合工(gōng)程設(shè)計文件(jiàn)要求。
6，容器(qì)的(dí)搬(bān)運，安裝就(jiù)位(wèi)，應符合(hé)下列要(yào)求：
（1）搬入潔淨(jìng)室（區(qū)）前，應進行清潔(jié)，符(fú)合要(yào)求(qiú)後從規定的搬入口運(yùn)入。
（2）容(róng)器搬(bān)運，應根(gēn)據容(róng)器結(jié)構(gòu)，規格尺(chǐ)寸(cùn)及接管(guǎn)配置狀況，進(jìn)行(háng)可靠的固定，不(bù)得倒(dǎo)置。
（3）就(jiù)位前(qián)，檢(jiǎn)查(chá)基(jī)礎(chǔ)平整(zhěng)度(dù)，高(gāo)度，基礎(chǔ)表麵的水(shuǐ)平度(dù)不得(dé)大於2%，標(biāo)高偏差(chà)不大(dà)於2mm。
（4）容器各接(jiē)管(guǎn)中心(xīn)與基(jī)礎(chǔ)麵上的(dí)基準(zhǔn)綫(xiàn)對準(zhǔn)，測量，其(qí)允許偏差(chà)為(wéi)3mm。
（5）容器安裝就位後的垂(chuí)直度，不(bù)應大於(yú)2‰。
7，化(huà)學(xué)品(pǐn)供(gōng)應(yīng)設施(shī)的低(dī)碳(tàn)不(bù)鏽(xiù)鋼(gāng)管，PE管，PVDF管等的(dí)管道(dào)係統安(ān)裝施(shī)工(gōng)見相(xiāng)關規(guī)定。
8，管道吹(chuī)掃(sǎo)或清洗，應(yīng)符合(hé)下列(liè)要(yào)求：
（1）按各(gè)種(zhǒng)化(huà)學品供應係(xì)統，分別在安裝(zhuāng)完(wán)成(chéng)後分(fēn)係統(tǒng)進(jìn)行(háng)吹掃(sǎo)或清(qīng)洗。
（2）吹掃(sǎo)或(huò)清洗(xǐ)宜(yí)采用幹燥(zào)壓縮空(kōng)氣(qì)或純氮或(huò)清潔水(shuǐ)，吹掃介質(zhì)壓力為0.2-0.3MPa：吹(chuī)掃管道應(yīng)設置過(guò)濾(lǜ)精度(dù)高(gāo)的過濾器。
（3）吹掃清洗(xǐ)時(shí)，應關斷(duàn)所(suǒ)有接至(zhì)各(gè)類(lèi)容(róng)器的(dí)閥(fá)門；管道係(xì)統的過(guò)濾(lǜ)器濾(lǜ)芯(xīn)，流量(liáng)計應卸下，待(dài)吹掃後按(àn)原(yuán)樣(yàng)恢(huī)復。
（4）各係(xì)統(tǒng)的吹(chuī)掃應反復(fù)多次(cì)衝擊進行，吹掃(sǎo)時(shí)間(jiān)不(bù)宜少於(yú)2.0h，並(bìng)以(yǐ)濕的(dí)白(bái)色濾紙或(huò)白布(bù)或(huò)塗(tú)有(yǒu)白(bái)色漆的靶板放(fàng)在(zài)吹(chuī)掃氣排(pái)出(chū)口(kǒu)，經(jīng)5min後檢(jiǎn)查微粒(lì)狀況(kuàng)。不合(hé)格時(shí)，繼續吹掃，直至合(hé)格。
9，管(guǎn)道(dào)係統的(dí)試驗，試(shì)運轉應符合下列要求(qiú)：
（1）管道係統(tǒng)的試驗(yàn)應(yīng)按(àn)工程設(shè)計文件要求(qiú)進行(háng)強度(dù)試驗，氣(qì)密(mì)性(xìng)試驗，金(jīn)屬管(guǎn)道的(dí)試(shì)驗(yàn)方(fāng)法(fǎ)參(cān)照(zhào)現(xiàn)行(háng)國(guó)家標準《工業金屬管(guǎn)道工程施工及驗收(shōu)規(guī)範》GB50235的規定進行(háng)。
（2）管(guǎn)道係(xì)統的(dí)試驗，試運轉(zhuǎn)，通(tōng)常不(bù)包括各類(lèi)容(róng)器(qì)，泵類等(děng)設備。
（3）承(chéng)壓(yā)管道(dào)應進行強(qiáng)度(dù)和(hé)嚴密性試驗，強(qiáng)度(dù)試驗的(dí)試驗(yàn)壓(yā)力為(wéi)設(shè)計(jì)壓力的1.5倍，嚴密性(xìng)試驗的試驗壓力(lì)為(wéi)設計壓力的(dí)1.15倍。非承壓(yā)管(guǎn)道應進(jìn)行滿水試(shì)驗。
（4）試驗合(hé)格(gé)後，以(yǐ)純水或(huò)氮氣進行(háng)清洗吹(chuī)掃，直至末端無(wú)雜質，汙染(rǎn)物為(wéi)合格。