1，潔(jié)淨(jìng)室的局部(bù)排風
1）潔淨廠房內(nèi)的(dí)各種(zhǒng)生(shēng)產過程中不可避(bì)免的(dí)有各類(lèi)粉塵，有(yǒu)害(hài)氣體，有(yǒu)害物質的產(chǎn)生。防止(zhǐ)它們在潔(jié)淨室(shì)內(nèi)擴(kuò)散(sàn)或(huò)造成(chéng)汙染的(dí)有效方法是(shì)在產生(shēng)處采取局(jú)部(bù)排風措(cuò)施(shī)及時有(yǒu)效的將汙(wū)染(rǎn)物排至(zhì)室(shì)外。為(wéi)此
，GB50073--2013《潔(jié)淨廠房設計規範》規(guī)定：潔淨(jìng)室內產生(shēng)粉塵和有害氣體(tǐ)的(dí)工(gōng)藝設備
，應(yīng)設置(zhì)局部排風裝置(zhì)。應(yīng)根(gēn)據(jù)各類(lèi)工(gōng)藝設備(bèi)產生的粉塵，有害(hài)氣(qì)體(tǐ)和有害(hài)物質的(dí)性(xìng)質(zhì)，濃(nóng)度等(děng)因素(sù)選(xuǎn)擇設置合(hé)理的(dí)局部(bù)排(pái)風裝(zhuāng)置(zhì)。以(yǐ)下情(qíng)況(kuàng)的局部排風(fēng)係(xì)統應單(dān)獨設置：
a.排(pái)風(fēng)介質混合(hé)後(hòu)能(néng)產生或(huò)加劇腐(fǔ)蝕性(xìng)，毒性(xìng)，燃(rán)燒(shāo)爆炸(zhà)危險(xiǎn)性(xìng)和發(fā)生(shēng)交叉汙染(rǎn)。
b.排(pái)風介質(zhì)中含(hán)有有(yǒu)毒與無毒物質
，且(qiě)毒性相差(chà)非常(cháng)大(dà)。
c.同(tóng)時(shí)存(cún)在(zài)易燃，易爆與(yǔ)一(yī)般(bān)排(pái)風(fēng)。
2）在設計潔淨室的排風(fēng)係統時(shí)
，應(yīng)采取(qǔ)以(yǐ)下(xià)措(cuò)施：
a.為防止(zhǐ)在潔(jié)淨(jìng)室(shì)空調係統停止運(yùn)行時(shí)
，室外空氣(qì)倒灌入(rù)室內(nèi)
，引起汙染和積塵(chén)
，應(yīng)采取防(fáng)倒灌(guàn)措(cuò)施。工程(chéng)常(cháng)用的(dí)防倒灌(guàn)措施(shī)有(yǒu)：
①設置中效空氣(qì)過(guò)濾(lǜ)器
，這(zhè)種方(fāng)式(shì)結構簡單
，維護(hù)方便(biàn)；
②采(cǎi)用(yòng)止回(huí)閥
，使(shǐ)用方便(biàn)
，但(dàn)密封(fēng)性(xìng)較(jiào)差(chà)；
③采(cǎi)用密閉閥(fá)
，密(mì)閉(bì)性(xìng)好
，但結(jié)構復(fù)雜
，管理不(bù)便；
④采(cǎi)用(yòng)自控裝置。
b.含(hán)有(yǒu)易(yì)燃，易爆局都排風(fēng)係統時
，應采(cǎi)用與(yǔ)排出物質(zhì)相(xiāng)適(shì)應的(dí)防火(huǒ)，防爆(bào)措施。
c.排(pái)風介(jiè)質中有害物(wù)濃(nóng)度及(jí)排放量超過國(guó)家或地(dì)區有(yǒu)害(hài)物(wù)排(pái)放(fàng)濃度及排放量(liáng)規(guī)定時
，應(yīng)進行無害處(chǔ)理(lǐ)
，達(dá)標(biāo)後才能排入大(dà)氣。
d.對(duì)含有水(shuǐ)蒸氣和凝結(jié)性(xìng)物(wù)質(zhì)的排風係(xì)統
，排風(fēng)口應(yīng)有一定坡(pō)度
，以便及(jí)時排出凝結液。
潔淨廠(chǎng)房內的(dí)換鞋(xié)，存(cún)外(wài)衣(yī)，洗(xǐ)浴，廁所(suǒ)和淋浴等(děng)產生(shēng)輔助(zhù)房間(jiān)
，應(yīng)采取通風措施(shī)
，其室(shì)內的靜(jìng)壓(yā)值
，應低於潔(jié)淨(jìng)區(qū)。
潔淨(jìng)室(shì)應根據生(shēng)產工(gōng)藝(yì)要求(qiú)設置事故排風係(xì)統。事故(gù)排(pái)風係統(tǒng)應設自動(dòng)和手(shǒu)動(dòng)控(kòng)製(zhì)開關
，手動控製開(kāi)關(guān)應(yīng)分(fēn)別設(shè)在潔(jié)淨室(shì)及潔淨(jìng)室(shì)外(wài)便於操(cāo)作(zuò)的地(dì)點。一(yī)般對於有可能(néng)散(sàn)發(fā)有(yǒu)害氣體(tǐ)或易(yì)燃(rán)
，氣體或易燃(rán)，易爆(bào)氣體的(dí)潔(jié)淨(jìng)室(shì)(區(qū))應(yīng)設(shè)事故(gù)排風(fēng)裝(zhuāng)置。
2，排(pái)風裝(zhuāng)置(zhì)的分類及(jí)處(chǔ)理設備
在(zài)微電(diàn)子(zǐ)生產用(yòng)潔(jié)淨(jìng)室和藥品生產用潔淨(jìng)室中
，常常會在產品(pǐn)生產(chǎn)過程中使用(yòng)或(huò)產生某些(xiē)特定的(dí)酸(suān)性或(huò)鹼性物質，有機溶劑和氣體；在致(zhì)敏性藥(yào)物(wù)，某些(xiē)甾(zāi)體(tǐ)藥(yào)物，高活性藥物和有毒性藥(yào)物(wù)生產(chǎn)過程中還(huán)會有(yǒu)相(xiāng)應的有害物(wù)質排出或滲(shèn)入(rù)潔(jié)淨(jìng)室內。對(duì)於上述潔淨室(shì)
，在可能排出(chū)各種(zhǒng)有(yǒu)害(hài)物質(zhì)，氣(qì)體或粉(fěn)塵的生(shēng)產工(gōng)藝設備或(huò)工序處應(yīng)設置(zhì)局部排風裝置或采(cǎi)取(qǔ)全室(shì)排風(fēng)裝置。按生(shēng)產工(gōng)藝過程排出(chū)的(dí)廢氣(qì)的種(zhǒng)類(lèi)
，可將(jiāng)排風(fēng)裝(zhuāng)置（係統）大體劃分為以下(xià)種(zhǒng)類型(xíng)：
（1）一般排(pái)風(fēng)係統(tǒng)
在(zài)生產輔助用室(shì)和(hé)生活用(yòng)室
，如(rú)值班(bān)室(shì)，衛生(shēng)間(jiān)等排(pái)出(chū)的一般廢氣
，大(dà)多數情況(kuàng)下(xià)不(bù)需(xū)要(yào)進行(háng)特殊處理(lǐ)即可直(zhí)接排(pái)入大氣。
（2）有機(jī)氣體排風係統(tǒng)
在(zài)產(chǎn)品(pǐn)生產(chǎn)中使用某些有(yǒu)機物質，溶劑作為(wéi)原輔材科(kē)或清(qīng)洗(xǐ)劑(jì)時
，都將(jiāng)會在相(xiāng)關(guān)的(dí)場所或(huò)設備處(chǔ)散發有(yǒu)機(jī)物(wù)質(zhì)，溶(róng)劑的氣體
，對這類(lèi)場所或(huò)設(shè)備(bèi)均(jūn)應(yīng)設(shè)置排風裝(zhuāng)置。在一(yī)般情況(kuàng)下
，有機排(pái)風(fēng)係統中(zhōng)的(dí)有(yǒu)機(jī)氣(qì)體濃度是很低(dī)的
，若(ruò)能達到國家規(guī)定的大氣排(pái)放(fàng)標(biāo)準時
，可(kě)直接排入(rù)大氣(qì)
，不需設置(zhì)廢(fèi)氣處理裝(zhuāng)置(zhì)；當(dāng)排(pái)風(fēng)係統(tǒng)中(zhōng)有(yǒu)機(jī)氣體(tǐ)濃度超過(guò)規(guī)定時(shí)
，應設(shè)有(yǒu)機(jī)氣體排(pái)放(fàng)裝置
，經(jīng)過處理達(dá)標後才能(néng)排入(rù)大氣。有(yǒu)機氣體排氣的(dí)淨(jìng)化(huà)處理(lǐ)方法有(yǒu)活性(xìng)炭(tàn)吸(xī)附(fù)法
，吸(xī)收(shōu)法和催化燃燒(shāo)法(fǎ)等(děng)。活(huó)性炭吸(xī)附法主要(yào)用於中小流量(liáng)的不含粉(fěn)塵(chén)，膠粘物質的苯類和汽(qì)油類有機氣體排氣的(dí)處理；吸(xī)收法設備簡(jiǎn)單
，耗(hào)能(néng)低(dī)
，但吸(xī)收效(xiào)率不高；催化燃燒法主(zhǔ)要用(yòng)於(yú)較高濃度的(dí)苯(běn)類，醇類，脂類和汽(qì)油等有(yǒu)機(jī)氣體排(pái)氣的處(chǔ)理。有(yǒu)機氣(qì)體排氣(qì)處(chǔ)理裝(zhuāng)置應(yīng)根(gēn)據(jù)排風係統所(suǒ)含有機物質(zhì)的品(pǐn)種，濃(nóng)度等情況選用。
（3）酸性(xìng)氣(qì)體(tǐ)排(pái)風係(xì)統
濕法化學腐蝕，酸(suān)液清(qīng)洗(xǐ)實(shí)驗室(shì)內均有(yǒu)酸(suān)性氣體(tǐ)排出(chū)
，在(zài)這(zhè)類(lèi)酸性氣體(tǐ)的排(pái)風(fēng)係(xì)統(tǒng)通常設有濕式(shì)洗氣(qì)吸收塔(tǎ)
，處理後排(pái)入大氣(qì)。實(shí)際(jì)設計(jì)時應根據酸(suān)性氣體(tǐ)的類型，濃(nóng)度(dù)選用合(hé)適的吸(xī)收液(yè)和(hé)吸氣塔的形式。
（4）鹼性(xìng)氣體排風裝置(zhì)
若排(pái)風(fēng)係統氣體中含有鹼性(xìng)物質(zhì)或排氣中(zhōng)混有鹼(jiǎn)性(xìng)化(huà)學試(shì)劑時
，與酸性氣(qì)體(tǐ)排風(fēng)係統類(lèi)似(sì)
，通(tōng)常采(cǎi)用濕式(shì)洗(xǐ)氣(qì)吸收塔處理後排入大氣。近(jìn)年來
，由於大氣排放標(biāo)準(zhǔn)越來(lái)越(yuè)嚴(yán)格(gé)
，含有鹼性物質（或(huò)酸性(xìng)物質(zhì)）濃度(dù)較低(dī)的排氣也應(yīng)進行淨(jìng)化處(chǔ)理(lǐ)才能(néng)達(dá)到排放標準。為此
，可采(cǎi)用吸(xī)附劑(jì)對(duì)鹼性排(pái)氣（或酸性排(pái)氣）進行處理達(dá)標(biāo)後(hòu)再排入(rù)大(dà)氣。此種吸附劑一(yī)般(bān)為(wéi)一(yī)次性的
，使用後應進行(háng)集中(zhōng)處理
，通(tōng)常作為(wéi)固(gù)體廢棄(qì)物(wù)在(zài)城市(shì)垃圾場集(jí)中(zhōng)處理。
（5）熱氣(qì)體排(pái)風係(xì)統(tǒng)
生產過程中的各種爐(lú)子(zǐ)，高(gāo)溫滅菌設備等(děng)均有(yǒu)熱氣(qì)排(pái)出(chū)
，由於(yú)排氣溫度(dù)較高
，有時可采(cǎi)用熱回收等(děng)方式(shì)進(jìn)行處理
，若(ruò)排氣量較(jiào)小或不便進(jìn)行(háng)處(chǔ)理(lǐ)時
，可在采取(qǔ)必(bì)要的隔(gé)熱措施後直接排入大氣。
（6）含粉(fěn)塵(chén)的(dí)排風(fēng)係統
產品(pǐn)品(pǐn)種不(bù)同
，生(shēng)產(chǎn)工(gōng)藝過程不同(tóng)
，排氣(qì)中(zhōng)的(dí)粉(fěn)塵性質也(yě)不同。應根據(jù)排氣(qì)中(zhōng)的(dí)粉塵(chén)性質，濃度選(xuǎn)用不同類型的除(chú)塵裝(zhuāng)置
，一般采(cǎi)用布袋除塵(chén)器(qì)或帶過濾(lǜ)元件(jiàn)的過濾除(chú)塵(chén)裝置(zhì)。對於(yú)某(mǒu)些含塵(chén)濃度很高的(dí)排(pái)風係(xì)統
，根(gēn)據工(gōng)藝具體(tǐ)情(qíng)況
，有時(shí)需(xū)設(shè)置二級除塵裝(zhuāng)置(zhì)
，先將(jiāng)大(dà)部分粉(fěn)塵(chén)去除後(hòu)再送入布袋除塵或過濾(lǜ)除塵裝(zhuāng)置(zhì)
，才能滿足大氣(qì)排放(fàng)標(biāo)準的(dí)要求
，從而保證係統穩(wěn)定，經(jīng)濟的(dí)運(yùn)行。
（7）特(tè)殊氣(qì)體(tǐ)排放係統
在半導體(tǐ)集(jí)成電路生產(chǎn)中常(cháng)常需要使(shǐ)用(yòng)一些特(tè)殊(shū)氣(qì)體
，其(qí)中(zhōng)許多特(tè)殊(shū)氣(qì)體屬於易燃易爆(bào)，或有毒(dú)甚至劇毒，或(huò)有腐蝕(shí)性(xìng)的(dí)氣體
，對於這類氣(qì)體的排放(fàng)係統(tǒng)
，首先應按特殊氣體的(dí)品(pǐn)種，性質(zhì)進行劃(huá)分
，以(yǐ)防止(zhǐ)在排放係統(tǒng)中產(chǎn)生(shēng)化學(xué)反(fǎn)應；其(qí)次選(xuǎn)用的廢氣處(chǔ)理(lǐ)裝置(zhì)。特殊氣體(tǐ)排放的處(chǔ)理方法通(tōng)常(cháng)有(yǒu)稀釋(shì)法，吸收法，催(cuī)化(huà)燃(rán)燒(shāo)法和(hé)吸附法(fǎ)等。排放係統的(dí)設(shè)備(bèi)，管道(dào)的(dí)材(cái)料(liào)選(xuǎn)用(yòng)必須根據(jù)排(pái)氣中的特(tè)殊氣(qì)體(tǐ)性(xìng)質(zhì)選(xuǎn)擇(zé)相(xiāng)應(yīng)的材質
，以防止與(yǔ)特殊(shū)氣(qì)體發(fā)生反(fǎn)應。
（8）藥品生(shēng)產中(zhōng)有害(hài)，有(yǒu)毒(dú)物質(zhì)的(dí)排風(fēng)係統(tǒng)
在(zài)生產(chǎn)或分(fēn)裝(zhuāng)青黴(méi)素等(děng)強(qiáng)製(zhì)敏性藥物(wù)及高活性，有毒性(xìng)藥(yào)物的房(fáng)間和二類(lèi)危(wēi)險度(dù)以(yǐ)上病原體(tǐ)操作區的排風口
，應安裝(zhuāng)過(guò)濾(lǜ)器
，將這(zhè)些藥(yào)物(wù)引起(qǐ)的汙染危(wēi)險降低至低(dī)限(xiàn)度。此類排(pái)風係(xì)統的(dí)排(pái)風口與其他(tā)藥品(pǐn)生(shēng)產用淨(jìng)化(huà)空調(tiáo)係統的新風口應(yīng)相(xiāng)隔一(yī)定距(jù)離。
3，排(pái)風係(xì)統用(yòng)材料(liào)
潔(jié)淨(jìng)室內排風(fēng)係(xì)統的處(chǔ)理設備，風管及(jí)附件(如密閉閥(fá)，調節閥(fá)和(hé)止(zhǐ)回閥等(děng))的(dí)製作(zuò)材(cái)料，保溫(wēn)材料和塗料
，應根據排出氣(qì)體的性質所處的(dí)空氣環(huán)境(jìng)等(děng)確(què)定。GB 50073-2013《潔(jié)淨(jìng)廠房設計規範》中(zhōng)明(míng)確規定(dìng)
，潔(jié)淨室的排風(fēng)管，附(fù)件以及輔(fǔ)助(zhù)材料(liào)的選(xuǎn)擇(zé)應(yīng)符合以(yǐ)下要求(qiú)：
1）排風(fēng)係統的風管(guǎn)應(yīng)采用不(bù)燃(rán)材料。這(zhè)裏(lǐ)所說的不燃材料是(shì)各種類型(xíng)的(dí)金屬(shǔ)板材
，包(bāo)括碳鋼，不鏽(xiù)鋼(gāng)和(hé)有色(sè)金屬板材
，具體選(xuǎn)用(yòng)應按排氣(qì)的(dí)性質。
2）排除腐(fǔ)蝕(shí)性(xìng)氣體(tǐ)的風管(guǎn)
，應采用耐腐(fǔ)蝕的(dí)難(nán)燒材(cái)料(liào)或難燃材料(liào)。這裏(lǐ)所(suǒ)說(shuō)的難燒材料(liào)主要是(shì)氧(yǎng)指(zhǐ)數≥32的玻璃鋼等(děng)。
3）附件，保溫(wēn)材料，消聲材料和(hé)塗(tú)料等(děng)均(jūn)采(cǎi)用(yòng)不燃(rán)材料(liào)或(huò)難(nán)燃(rán)材(cái)料(liào)。這裏(lǐ)所指的不燃材(cái)料主要(yào)是岩棉(mián)，玻璃棉等(děng)；難(nán)燃材(cái)料(liào)主(zhǔ)要(yào)是氧指(zhǐ)數≥32的(dí)橡(xiàng)塑海(hǎi)綿，聚氨(ān)酯等(děng)。