為(wéi)了(liǎo)在(zài)潔淨室(shì)運(yùn)行(háng)過(guò)程(chéng)中及時(shí)了(liǎo)解與判定潔(jié)淨室所處狀態是否符合設(shè)計要求和滿(mǎn)足生(shēng)產(chǎn)的需要，潔(jié)淨室應(yīng)定期(qī)對其(qí)主(zhǔ)要(yào)技(jì)術(shù)性能指(zhǐ)標(biāo)進行(háng)周(zhōu)期(qī)性監測(cè)，某些(xiē)高級(jí)別潔淨室對(duì)一(yī)些關(guān)鍵(jiàn)性(xìng)指標甚至設(shè)置(zhì)了(liǎo)連續(xù)巡查的裝(zhuāng)置(zhì)，以(yǐ)便(biàn)及(jí)時(shí)判定潔(jié)淨室的受(shòu)控(kòng)狀(zhuàng)態。
1，（表1：）標(biāo)準ISO 14644-2的(dí)規定(dìng)

備注(zhù)：這些(xiē)測試可按(àn)照(zhào)規(guī)定的(dí)ISO等(děng)級(jí)在(zài)動態(tài)或(huò)靜(jìng)態(tài)條件(jiàn)下(xià)進行(háng)；
a.氣流量可用風速(sù)或(huò)風量(liáng)測量方法測得(dé)。
b.本項測(cè)試(shì)不(bù)適用於(yú)非全封(fēng)閉的(dí)潔(jié)淨(jìng)區(qū)。
除上表規定的標(biāo)準測試外(wài)，ISO 14644-2還給出(chū)了(liǎo)任選項(xiàng)目的(dí)測試，下表所(suǒ)列的(dí)任(rèn)選(xuǎn)項(xiàng)目(mù)測試(shì)也(yě)可包(bāo)括在測試項目(mù)中。
（表(biǎo)2：）任選項目(mù)測(cè)試(shì)的(dí)時間(jiān)間隔(gé)：
 
ISO 14644-2對(duì)潔(jié)淨(jìng)室監測還作(zuò)出了(liǎo)如下一些(xiē)補充規定：
（1）除表(biǎo)1所列的標準監測項目外(wài)，用戶與承包(bāo)商可(kě)共同商定增(zēng)添其他的測(cè)試項目。
（2）如(rú)果(guǒ)潔淨室裝(zhuāng)置了(liǎo)懸(xuán)浮粒子濃度(dù)和(hé)壓差的(dí)監(jiān)測(cè)儀表，並連續(xù)或頻(pín)繁的進行監測，且監測(cè)結果(guǒ)始終處於規定的限製以內，則可(kě)延(yán)長表1所列的(dí)時間(jiān)間隔。
（3）如(rú)果監(jiān)測(cè)數據(jù)出現超(chāo)過規(guī)定(dìng)限製(zhì)的(dí)情(qíng)況(kuàng)，標(biāo)明(míng)潔淨室不(bù)符(fú)合要求，要及時采取適(shì)當的(dí)補(bǔ)救(jiù)措(cuò)施，補救措施(shī)完成(chéng)後(hòu)應對潔淨室(shì)進行(háng)再(zài)認定，若符合要(yào)求，就可(kě)以恢復例(lì)行監(jiān)測。
（4）懸(xuán)浮粒(lì)子濃度及(jí)其它參數(shù)的例(lì)行(háng)監(jiān)測一般是在動態下進(jìn)行。
（5）懸(xuán)浮粒(lì)子(zǐ)的(dí)監測計劃(huá)是根(gēn)據潔淨室的(dí)風(fēng)險(xiǎn)分析與(yǔ)評(píng)估製定的。該(gāi)計(jì)劃(huá)中應該包括的(dí)內(nèi)容(róng)有(yǒu)：預先設定(dìng)的(dí)采樣(yàng)裝置(zhì)，每個空氣(qì)樣(yàng)本的小采樣(yàng)量(liáng)，采樣(yàng)的(dí)時(shí)間長短，采(cǎi)樣的(dí)時間間隔，測量的粒(lì)徑(jìng)，計數的(dí)許可限製(zhì)。如(rú)果(guǒ)需要還(huán)可(kě)包(bāo)括(kuò)報(bào)警(jǐng)值，行(háng)動(dòng)限(xiàn)製(zhì)，漂(piāo)移值。
2，國家標準(zhǔn)GB 50073-2001關(guān)於監測(cè)的規(guī)定
GB 50073-2001對(duì)潔淨室(shì)的監測(cè)作(zuò)了如下(xià)規(guī)定(dìng)，確認潔(jié)淨室或(huò)潔淨區符合(hé)規範要求應進(jìn)行三項(xiàng)測試：
（1）空氣潔淨度(dù)測(cè)定（生(shēng)物(wù)潔淨(jìng)室(shì)應進行浮遊菌，沉降(jiàng)菌(jūn)測(cè)定）；
（2）靜壓(yā)差(chà)測試；
（3）風速或(huò)風量(liáng)測試(shì)。
三(sān)項測試的長時(shí)間間隔分別(bié)列(liè)於(yú)下表(biǎo)3和(hé)表(biǎo)4中(zhōng)。
（表3：）空氣(qì)潔淨度等級認證的(dí)測(cè)試(shì)要求

（表4：）靜壓(yā)差(chà)和(hé)風速（風量）認(rèn)證(zhèng)的(dí)測(cè)試要求

備(bèi)注(zhù)：如果潔淨室或潔(jié)淨區已對(duì)粒子濃度，風(fēng)速，靜(jìng)壓差(chà)執(zhí)行連(lián)續監測，並(bìng)且(qiě)其測(cè)試值(zhí)均符(fú)合本(běn)規(guī)範(fàn)要求(qiú)，則認證(zhèng)的測(cè)試時間間隔(gé)可(kě)延長(cháng)。具體間隔(gé)時(shí)間，可與認證(zhèng)單(dān)位洽商。
a.空(kōng)氣潔(jié)淨(jìng)度(dù)等級認(rèn)證，可在靜(jìng)態或動態檢測，洽商確定。
b.風量測(cè)定，用(yòng)風(fēng)速(sù)計在(zài)風口(kǒu)或(huò)風管測定。
c.該(gāi)項測(cè)試(shì)不(bù)適用(yòng)於(yú)潔淨(jìng)區(qū)。