文(wén)件(jiàn)名(míng)

題目(mù)

狀(zhuàng)態(tài)

簡(jiǎn)介

ISO14644-1

通過顆粒物濃(nóng)度對空氣潔淨度進行分(fēn)類(lèi)

2015

涵蓋(gài)潔(jié)淨室及其相(xiāng)關受(shòu)控環境中的空氣潔(jié)淨度分(fēn)類

ISO14644-2

監(jiān)測通(tōng)過顆(kē)粒濃度提供與空(kōng)氣(qì)潔(jié)淨度相(xiāng)關(guān)的潔(jié)淨室(shì)性能的證(zhèng)據(jù)

2015

監控和(hé)定(dìng)期(qī)測(cè)試(shì)潔淨(jìng)室或(huò)潔淨區的要(yào)求，以證(zhèng)明(míng)其繼續符(fú)合ISO14644-1

ISO14644-3

測試(shì)方法(fǎ)

2005

用於表征潔淨室(shì)和潔(jié)淨(jìng)區性能的空氣(qì)顆(kē)粒(lì)潔淨(jìng)度分類(lèi)的(dí)測試方法(fǎ)

ISO14644-4

設(shè)計，建(jiàn)造和(hé)啟動

2001

潔淨(jìng)室(shì)安裝(zhuāng)的設(shè)計和構(gòu)造(zào)要(yào)求

ISO14644-5

運(yùn)營

2004

潔(jié)淨室運(yùn)行的基本(běn)要求

ISO14644-7

分離裝置(zhì)（清(qīng)潔空(kōng)氣罩，手套(tào)箱，隔離器(qì)和微環境）

2004

分離設備的(dí)設計，構造(zào)，安(ān)裝(zhuāng)，測(cè)試和(hé)批準(zhǔn)的(dí)低要求

ISO14644-8

按化(huà)學(xué)物濃度(dù)（ACC）分類(lèi)的空氣潔(jié)淨度(dù)

2013

涵蓋潔(jié)淨室及其相(xiāng)關(guān)受控環境中(zhōng)氣態分子(zǐ)汙染(rǎn)物（AMC）的分(fēn)類(lèi)

ISO14644-9

通(tōng)過顆粒(lì)物濃(nóng)度(dù)對表(biǎo)麵(miàn)清(qīng)潔度進行(háng)分(fēn)類

2012

通過潔(jié)淨(jìng)室及其相(xiāng)關受(shòu)控(kòng)環(huán)境中(zhōng)的顆粒物濃(nóng)度確定(dìng)固體表(biǎo)麵潔淨(jìng)度(dù)等級(jí)的(dí)分類

ISO14644-10

按化學(xué)物濃度(dù)對表麵(miàn)清(qīng)潔(jié)度(dù)進行(háng)分(fēn)類(lèi)

2013

根據化(huà)學(xué)化合(hé)物或元素的存(cún)在情況定(dìng)義潔(jié)淨室表麵(miàn)潔淨度的分類(lèi)係統(tǒng)

ISO14644-12

通過(guò)納(nà)米(mǐ)級(jí)顆粒(lì)濃(nóng)度監測空氣潔淨度的指(zhǐ)南

2018

根據懸浮納(nà)米級顆粒物濃(nóng)度(dù)的(dí)空氣(qì)潔淨度(dù)的監測(cè)

ISO14644-13

對(duì)表麵進(jìn)行(háng)清潔(jié)以(yǐ)便(biàn)達(dá)到規(guī)定(dìng)的(dí)顆粒(lì)物(wù)和(hé)化學物(wù)潔淨度

2017

用清(qīng)潔(jié)劑處(chǔ)理潔(jié)淨室(shì)表麵，潔淨室(shì)設備(bèi)表(biǎo)麵和(hé)潔(jié)淨室中材料(liào)表(biǎo)麵的特定清潔(jié)程度(dù)

ISO14644-14

根(gēn)據(jù)懸浮顆粒(lì)物(wù)濃度(dù)評估設(shè)備(bèi)使用的適用(yòng)性(xìng)

2016

設(shè)備在潔(jié)淨室(shì)和(hé)相(xiāng)關(guān)受(shòu)控環境中適用(yòng)性的評估方法

ISO14644-15

通(tōng)過(guò)懸浮化(huà)學物(wù)濃度評(píng)估設備和材料(liào)的(dí)適用性

2017

將用(yòng)於潔淨室及其相(xiāng)關(guān)受(shòu)控環境(jìng)中的(dí)設備(bèi)和材料(liào)引(yǐn)起(qǐ)的化(huà)學(xué)物(wù)潔(jié)淨度(dù)提出要求和(hé)指南

ISO14644-16

提(tí)高潔淨室(shì)和淨化設(shè)備(bèi)能效的(dí)實(shí)施指(zhǐ)南(nán)

2017（在編）

為新建和現有的潔(jié)淨室(shì)，潔淨(jìng)區和分(fēn)離設備(bèi)提供優化(huà)能源(yuán)使用和(hé)保(bǎo)持能(néng)源效率的指(zhǐ)導(dǎo)和建議(yì)