潔淨(jìng)室(shì)內往往存(cún)在(zài)著(zhuó)不(bù)容忽視(shì)的靜電(diàn)危害
，是導致電(diàn)子器件(jiàn)，電(diàn)子(zǐ)儀器和(hé)設(shè)備損壞或性(xìng)能下降(jiàng)的(dí)重要(yào)因(yīn)素之(zhī)一
，對芯(xīn)片(piàn)製造影響尤(yóu)為(wéi)重(zhòng)要(yào)
。此外
，靜電(diàn)還(huán)是(shì)潔(jié)淨室在生產過(guò)程(chéng)中有(yǒu)易燃(rán)易爆(bào)氣(qì)體(tǐ)或(huò)粉塵(chén)產生時(shí)
，導(dǎo)致爆炸(zhà)，火災(zāi)的元(yuán)凶(xiōng)以及(jí)存(cún)在電擊傷(shāng)人的隱患
。潔淨室靜電對塵埃的吸附效應(yīng)
，也易(yì)造成生產(chǎn)環(huán)境和(hé)產(chǎn)品各(gè)個(gè)壁麵(miàn)的塵埃聚(jù)集(jí)
，以致影(yǐng)響潔淨室(shì)的環境和(hé)產品被汙染
。
1，相(xiāng)關的(dí)規(guī)範規定(dìng)
潔(jié)淨(jìng)室(shì)相關規範對靜(jìng)電防護(hù)問題(tí)
，從設計到(dào)運行(háng)都有(yǒu)具(jù)體(tǐ)的(dí)規定(dìng)
。例如(rú)
，潔(jié)淨(jìng)室(shì)設(shè)施(shī)應(yīng)選用(yòng)既(jì)不(bù)會產(chǎn)生(shēng)也不(bù)能蓄(xù)積大量(liáng)靜(jìng)電的(dí)建(jiàn)築材料(liào)
。為(wéi)保護對靜電敏感的(dí)設(shè)備(bèi)，器(qì)件，地(dì)麵
，電阻應該在(zài)104～107Ω範圍(wéi)內
，表(biǎo)麵(miàn)聚集電荷的限定值應(yīng)小於2kV等等
。
國家(jiā)標(biāo)準GB 50073-2001《潔(jié)淨(jìng)廠房設計(jì)規範》規(guī)定(dìng)
：潔(jié)淨室地(dì)麵(miàn)層應(yīng)具(jù)有導(dǎo)電(diàn)性能(néng)並(bìng)保(bǎo)持(chí)長時間穩(wěn)定
。潔(jié)淨(jìng)室(shì)地(dì)麵表(biǎo)層(céng)應采(cǎi)用靜電(diàn)耗散(sàn)性(xìng)材(cái)料
，其(qí)表(biǎo)麵電阻應為1.0*105～1.0*1012Ω或(huò)體積(jī)電(diàn)阻率為1.0*104～1.0*1011Ω.cm
。潔淨室(shì)地(dì)麵(miàn)應(yīng)設有導(dǎo)電泄(xiè)放措(cuò)施和(hé)接(jiē)地(dì)構(gòu)造(zào)
，其(qí)對地泄(xiè)放(fàng)電阻應為(wéi)1.0*105～1.0*109Ω等等
。
2，靜電測(cè)試方法
靜(jìng)電測(cè)試通常(cháng)包括兩部分(fēn)內容
，一(yī)是靜電(diàn)測(cè)試(shì)本(běn)身
，其目的是(shì)掌(zhǎng)握(wò)產(chǎn)品表(biǎo)麵上(shàng)的(dí)靜電(diàn)電荷(hé)和(hé)地(dì)麵，工(gōng)作(zuò)台(tái)麵或(huò)其(qí)它設(shè)施(shī)的靜(jìng)電電壓的耗散率(shuài)；二是離(lí)子生(shēng)成器(qì)測試
，其目的是(shì)通(tōng)過監(jiān)測(cè)器測量初始(shǐ)充電(diàn)的放電時間和(hé)通(tōng)過測(cè)定隔開來的(dí)監(jiān)測板(bǎn)的(dí)補償(cháng)電(diàn)壓來評(píng)估(gū)其性(xìng)能(néng)
。上述(shù)兩部分測量結果(guǒ)都能反(fǎn)映清除(chú)或中和靜電荷的效率和(hé)產(chǎn)生(shēng)的正負離(lí)子量間的(dí)不(bù)穩定性
。
（1）表麵電(diàn)壓(yā)水(shuǐ)平(píng)的測量(liáng)
通常采用靜(jìng)電(diàn)電壓計或場(cháng)強計(jì)測(cè)定(dìng)設備(bèi)和(hé)產(chǎn)品(pǐn)表(biǎo)麵的(dí)正(zhèng)負(fù)靜電荷
，具(jù)體(tǐ)方法(fǎ)是(shì)把靜(jìng)電電壓計或(huò)場強計(jì)的輸(shū)出(chū)調節為0
，按儀器說明(míng)書規(guī)定
，讓(ràng)探(tàn)測器麵(miàn)朝接(jiē)地(dì)的金(jīn)屬板(bǎn)
，探(tàn)測(cè)頭保持使(shǐ)測(cè)孔平(píng)行於所規(guī)定的某個距離(lí)處放置的板
，記(jì)錄(lù)下靜電電(diàn)壓(yā)計(jì)的(dí)讀(dú)值
。
（2）靜(jìng)電耗散(sàn)性(xìng)的測量
通過測(cè)量(liáng)表(biǎo)麵(miàn)上不同位置之間(jiān)的電阻(zǔ)—表麵電阻(zǔ)和表麵(miàn)和地麵之間(jiān)的(dí)電阻—漏(lòu)電電(diàn)阻
，來評定靜(jìng)電(diàn)耗散特性
。一(yī)般采(cǎi)用高電阻計來測量
。
（3）離子生(shēng)成器測試
本項(xiàng)測(cè)試的(dí)目(mù)的是用以評估(gū)雙(shuāng)級離(lí)子(zǐ)生(shēng)成器(qì)的性能
，測試內容為測試放電時(shí)間和補償電(diàn)壓
，放電時間(jiān)將用以(yǐ)計(jì)算(suàn)離(lí)子(zǐ)生成器消除(chú)電荷的效率
，補償(cháng)電壓將用以(yǐ)評估在離子生成器(qì)生成的離(lí)子化氣體中
，正負離(lí)子(zǐ)的不穩定(dìng)性
。離子的(dí)不(bù)穩定(dìng)性會(huì)造(zào)成不利的殘餘電壓
。
測量(liáng)工(gōng)作(zuò)由(yóu)稱之為(wéi)“充電(diàn)板監測(cè)器”的設備完成(chéng)
，該設備(bèi)由導電監(jiān)測板(bǎn)，靜(jìng)電電壓計(jì)，計(jì)時器(qì)和(hé)電(diàn)源等構成(chéng)
。
（4）放(fàng)電時(shí)間的(dí)測量
采用已知電容(róng)
，例如20pF的(dí)絕緣(yuán)導電板作為監(jiān)測板
。開(kāi)始(shǐ)時用電(diàn)源(yuán)給監測板(bǎn)充電並(bìng)達(dá)到已知的(dí)正(zhèng)或(huò)負(fù)電(diàn)壓(yā)
，隨後將(jiāng)監(jiān)測板暴露(lòu)在被評(píng)估的雙(shuāng)級(jí)離子(zǐ)生成(chéng)器(qì)所(suǒ)離(lí)子(zǐ)化的氣(qì)體中
，用(yòng)靜(jìng)電(diàn)電(diàn)壓計測量充到(dào)板(bǎn)上(shàng)的(dí)靜電(diàn)荷(hé)
，同(tóng)時(shí)以計時(shí)器配合測量板上(shàng)電(diàn)壓隨(suí)時間的(dí)變化
。
放(fàng)電時(shí)間的定義(yì)是
：監(jiān)測(cè)板(bǎn)上的(dí)靜電(diàn)荷(hé)減(jiǎn)少到100%初(chū)始電壓所(suǒ)需的(dí)時間(jiān)
。由用戶和(hé)供應商協商(shāng)確(què)定(dìng)作為(wéi)驗收(shōu)標準(zhǔn)的測試(shì)點的(dí)位置和測(cè)定結果(guǒ)
。
（5）補償電(diàn)壓的測量
采用類似的(dí)監(jiān)測板裝在絕緣(yuán)器上(shàng)
，用靜電電(diàn)壓(yā)計監測絕緣板上的電荷(hé)
，以(yǐ)測(cè)量(liáng)補償(cháng)電壓
。開(kāi)始時
，將監測板接(jiē)地
，去(qù)除殘餘電壓
，確認板上(shàng)的電(diàn)壓(yā)為(wéi)0
，隨後(hòu)把板暴(bào)露(lòu)在(zài)離子化的(dí)氣體中
，直(zhí)到電壓(yā)計的(dí)讀數穩(wěn)定(dìng)
，該值即(jí)為所(suǒ)測的補償(cháng)電(diàn)壓
。離(lí)子生(shēng)成器(qì)的允許補償電壓
，決(jué)定於工(gōng)作(zuò)區(qū)的物體(tǐ)對(duì)靜(jìng)電荷(hé)的敏(mǐn)感性(xìng)
，所以(yǐ)允許的補(bǔ)償電(diàn)壓應(yīng)由用(yòng)戶(hù)與供應商協商(shāng)確(què)定
。
（6）測試報(bào)告
1）儀(yí)器使用者(zhě)或(huò)數據采集設(shè)備(bèi)的(dí)名(míng)稱(chēng)；
2）測(cè)試儀(yí)器的名稱(chēng)及(jí)其(qí)校準狀(zhuàng)態；
3）測試(shì)和測(cè)量類(lèi)型(xíng)及其測量條(tiáo)件；
4）溫(wēn)度，濕度和環境數據(jù)；
5）測點位置(zhì)；
6）潔淨室檢測(cè)時(shí)所處的狀(zhuàng)態
。