一，前言
潔淨室的氣(qì)流速(sù)度/換(huàn)氣(qì)次數(shù)，一(yī)直是潔淨(jìng)室設計中(zhōng)受(shòu)到(dào)關(guān)注的問題(tí)，隨著(zhuó)潔(jié)淨室汙(wū)染源(yuán)的控(kòng)製效果增(zēng)加及末(mò)級過濾器(qì)效(xiào)率的提(tí)高(gāo)等，對(duì)有(yǒu)關規(guī)範(fàn)，導則等提出(chū)的推薦或參(cān)考值是否(fǒu)偏(piān)於保(bǎo)守，已有不(bù)少討(tǎo)論(lùn)。以(yǐ)下(xià)對這些問題的情況(kuàng)分別(bié)作歸納和(hé)分析。
二，氣流(liú)速(sù)度
1，有(yǒu)關(guān)推(tuī)薦或參考(kǎo)值的(dí)應用
潔淨室內(nèi)一定潔(jié)淨度(dù)下氣流速度的確定，隨(suí)潔淨(jìng)室用途(tú)等具體情況而(ér)異，它(tā)不僅(jǐn)受(shòu)室(shì)內(nèi)發塵量及過濾器效率還受(shòu)其他因(yīn)素(sù)影響，就(jiù)工(gōng)業潔(jié)淨(jìng)室而(ér)言(yán)，影(yǐng)響潔淨度及選(xuǎn)擇(zé)氣(qì)流(liú)速度(dù)的(dí)因素(sù)主要是：
（1）室內(nèi)汙(wū)染(rǎn)源(yuán)：建(jiàn)築(zhù)物組件，人(rén)員數量及(jí)操(cāo)作活(huó)動，工藝設備(bèi)，工藝(yì)材(cái)料(liào)及工(gōng)藝加(jiā)工本身等(děng)都是塵(chén)粒釋(shì)放(fàng)源(yuán)，根(gēn)據(jù)具體(tǐ)情(qíng)況而(ér)異，變(biàn)化很大(dà)。
（2）室內(nèi)氣流(liú)流型(xíng)及分布(bù)：單(dān)向流(liú)要(yào)求均(jūn)匀(yún)，平等(děng)的流(liú)綫，但會受(shòu)到工(gōng)藝(yì)設(shè)備(bèi)布(bù)置和(hé)位(wèi)置變動(dòng)及人員活動情況(kuàng)等的(dí)幹擾(rǎo)形(xíng)成局部渦流(liú)；而非單(dān)向流(liú)要求(qiú)充混合，避(bì)免死(sǐ)角及(jí)溫(wēn)度分層。
（3）自淨(jìng)時(shí)間(jiān)（恢復(fù)時間）的(dí)控(kòng)製要(yào)求：潔淨(jìng)室中(zhōng)事故釋放或帶入(rù)汙(wū)染(rǎn)物或(huò)空(kōng)氣氣流的中斷或正常操作(zuò)時(shí)的(dí)間歇性(xìng)對流(liú)氣(qì)流或人及設(shè)備的(dí)移(yí)動(dòng)等都會造成(chéng)潔淨度的惡(è)化，恢(huī)復到(dào)原(yuán)來(lái)潔(jié)淨度的(dí)自(zì)淨時間(jiān)決定於(yú)氣流(liú)速(sù)度；對(duì)自淨(jìng)時間的控製要(yào)求取(qǔ)決於此時間框(kuàng)架內（惡化(huà)的(dí)潔(jié)淨度(dù)下(xià)），對產(chǎn)品生產(chǎn)的質量及(jí)成品率影響(xiǎng)的(dí)承受能力。
（4）末(mò)級(jí)過濾器的(dí)效(xiào)率(shuài)：在(zài)一(yī)定的(dí)室(shì)內(nèi)發(fā)塵量下，可采用(yòng)較(jiào)高效(xiào)率(shuài)的(dí)過濾(lǜ)器(qì)以(yǐ)降(jiàng)低(dī)氣流速度(dù)；為(wéi)節(jié)能應(yīng)考慮采用(yòng)較(jiào)高效率(shuài)的(dí)過(guò)濾器(qì)，並降(jiàng)低(dī)氣流(liú)速(sù)度(dù)，或采用較低(dī)效率的(dí)過濾器(qì)並(bìng)采(cǎi)用(yòng)較高(gāo)的氣流速度，以(yǐ)求(qiú)流(liú)量與(yǔ)阻力的乘積(jī)最小。
（5）經濟性(xìng)考慮：過(guò)大的(dí)氣流(liú)速度造成投資(zī)及運(yùn)行(háng)費(fèi)用(yòng)的增(zēng)加(jiā)，合(hé)適(shì)的氣流速度為以上(shàng)諸因(yīn)素(sù)合理的綜(zōng)合(hé)，過大(dà)往(wǎng)往不必要(yào)，亦不(bù)一(yī)定有效(xiào)果。
（6）對潔淨度要求低的(dí)潔淨(jìng)室，有(yǒu)時換氣(qì)次(cì)數(shù)決定(dìng)於(yú)室內(nèi)排(pái)熱的(dí)要求(qiú)。
以上(shàng)因(yīn)素，皆(jiē)很(hěn)難(nán)量(liáng)化，隻能(néng)分析(xī)對比並(bìng)估計(jì)。因(yīn)此(cǐ)在工(gōng)程應用中(zhōng)，對潔淨室的氣流(liú)速度(dù)往往參照(zhào)有(yǒu)關(guān)規(guī)範，導(dǎo)則等(děng)的推薦或(huò)參考(kǎo)值，再按具(jù)體(tǐ)情(qíng)況估計以上(shàng)各影(yǐng)響因素進行(háng)綜合考(kǎo)慮後確定。氣流速度用於單(dān)向流潔(jié)淨室(shì)；非單(dān)向(xiàng)流潔(jié)淨(jìng)室(shì)宜用換(huàn)氣(qì)次數，因(yīn)為其氣(qì)流速度(dù)難於測(cè)準；亦有用末級過(guò)濾(lǜ)滿(mǎn)布率(shuài)來反(fǎn)映的(dí)，可用於各種氣流(liú)流型(xíng)的潔淨室，一(yī)般滿布(bù)率(shuài)100%相(xiāng)對(duì)於(yú)流速0.5m/s（100fpm），25%相(xiāng)對(duì)於0.125m/s（25fpm）。應該(gāi)說是經驗的(dí)反映。如ISO/DIS14664-4提出的數值(zhí)皆(jiē)明(míng)確(què)適用於那類(lèi)潔(jié)淨(jìng)室(shì)的；IEST的(dí)推(tuī)薦值亦(yì)是(shì)被(bèi)一些(xiē)機(jī)構認為僅適(shì)用於半(bàn)導體工(gōng)廠。由(yóu)於具體(tǐ)情況變(biàn)化較大，有的經驗值可能(néng)已不適(shì)合(hé)當(dāng)前的(dí)室(shì)內塵(chén)源控(kòng)製(zhì)措(cuò)施及(jí)過濾器效率(shuài)提(tí)高的(dí)情(qíng)況。
2，對有關推(tuī)薦(jiàn)或參(cān)考(kǎo)值的討論(lùn)
近(jìn)年來(lái)不少人(rén)通過實驗認為這(zhè)些(xiē)推薦(jiàn)或參(cān)考(kǎo)值(zhí)過(guò)於保(bǎo)守，其論點可(kě)歸納為：
（1）潔(jié)淨(jìng)室內氣流(liú)的橫向擴(kuò)散(sàn)隻在(zài)甚低的(dí)流速(sù)下(xià)才有可能，單(dān)向(xiàng)流在(zài)合(hé)理(lǐ)的(dí)氣流組(zǔ)織下(xià)，流速(sù)0.05～0.1m/s就(jiù)足夠帶走汙(wū)染(rǎn)物，在(zài)此流速(sù)下亞(yà)微米粒(lì)子的(dí)擴(kuò)散性(xìng)能(néng)遠低於對流性能(néng)；而(ér)大(dà)於0.36m/s的氣流(liú)速度反而易(yì)千百(bǎi)萬(wàn)渦流(liú)，引起汙(wū)染(rǎn)物的(dí)再(zài)卷(juàn)入。因此，潔(jié)淨室的理想(xiǎng)自(zì)淨(jìng)時間(jiān)Tr=體積(jī)/流(liú)率，到一定值後由於汙(wū)染(rǎn)物的再卷入，再增大(dà)氣流(liú)速(sù)度(dù)，實際的Tr並(bìng)不(bù)再有(yǒu)明(míng)顯的(dí)減少(shǎo)。
（2）末(mò)級過濾(lǜ)器的效(xiào)率(shuài)對潔淨度(dù)的影響(xiǎng)是值得(dé)起注(zhù)意(yì)的(dí)。有的氣流(liú)速(sù)度/換氣次數推(tuī)薦或(huò)參考值(zhí)對末(mò)級(jí)過濾(lǜ)器(qì)效(xiào)率提(tí)高的因素往(wǎng)往(wǎng)沒(méi)作考(kǎo)慮。當(dāng)前(qián)HEPA/ULPA的(dí)效率從(cóng)99.67%，99.99%，99.999%，99.9995%直(zhí)至8個(gè)9以(yǐ)上(shàng)都可選擇。其(qí)效率對氣流速度(dù)的影(yǐng)響除以上已(yǐ)提及(jí)外，以(yǐ)下(xià)方(fāng)麵(miàn)亦值(zhí)得引(yǐn)起(qǐ)注意，在非(fēi)單向流情況下(xià)，按衡(héng)釋(shì)原理的潔(jié)淨室(shì)內(nèi)含塵(chén)濃(nóng)度穩(wěn)定(dìng)公式可(kě)以得(dé)出(chū)：
（a）室(shì)內發(fā)塵(chén)量(liáng)較高(gāo)時，末(mò)級過濾(lǜ)器(qì)效(xiào)率(shuài)的變化(huà)對潔(jié)淨度影(yǐng)響甚(shèn)微，因此在(zài)這種情況下，過高的過(guò)濾(lǜ)效率(shuài)是無必(bì)要的(dí)。
（b）室內(nèi)發(fā)生(shēng)塵量較低的情況下，采(cǎi)用低(dī)的氣流(liú)速度下，末(mò)級(jí)過(guò)濾器(qì)效(xiào)率的(dí)變(biàn)速(sù)器(qì)變化，對潔(jié)淨度的影(yǐng)響增大(dà)。
新(xīn)風進(jìn)末過(guò)濾器前(qián)的(dí)含塵濃(nóng)度(dù)1.75×106個/m3
室內發(fā)生量(liáng):
G1=350個(gè)/m3.min
G2=3500個(gè)/m3.min
G3=35000個/m3.min
G4=350000個(gè)/m3.min
新風量對於(yú)全空氣量的(dí)比率0.03
當前(qián)有(yǒu)的IC工(gōng)廠(chǎng)其ISO5級(0.3μm)的(dí)潔淨(jìng)室，采用FFU係(xì)統,帶(dài)ULPA(99.9995%,0.12μm)，出口風(fēng)速(sù)為(wéi)0.38m/s，其(qí)滿布率(shuài)為25%，這樣(yàng)室(shì)內平(píng)均(jūn)氣流(liú)速度為0.095m/s，在(zài)各(gè)有(yǒu)關推薦(jiàn)或參(cān)考值(zhí)的下限(xiàn)下(xià)。此(cǐ)潔淨室的工藝加工在微環境(jìng)內潔淨室(shì)內(nèi)的(dí)人(rén)員亦較少，可(kě)以(yǐ)認為(wéi)潔(jié)淨(jìng)室內發生(shēng)較低，這種情況下采(cǎi)用低(dī)的氣(qì)流速(sù)度(dù)可能(néng)是(shì)可(kě)取的。
據報道，目前IEST對(duì)潔(jié)淨室(shì)內氣流(liú)速(sù)度推薦(jiàn)值的(dí)下限(xiàn)有所降低，如：
≤ISO5級：氣流速度0.2～0.5m/s
ISO6級或5級(jí)（非(fēi)單向(xiàng)流）；換氣(qì)次數＞200次(cì)/h
ISO7級(jí)：換氣次數(shù)20～200次(cì)/h
ISO8級(jí)：換(huàn)氣次數(shù)2～20次/h
三，FFU係(xì)統的應(yīng)用(yòng)
1，當(dāng)前FFU的情(qíng)況
FFU在(zài)使用(yòng)壽命及維護上已經實踐證明(míng)無(wú)可(kě)擔心(xīn)。當前其改進(jìn)主要是：
（1）采取(qǔ)均流及減(jiǎn)少噪(zào)音(yīn)的措施(shī)，噪音可在50db以(yǐ)內(nèi)。
（2）電動(dòng)機采用DC/EC（電(diàn)子整流(liú)電(diàn)機），以耗較(jiào)原交(jiāo)流(liú)電機節約近50%，因為(wéi)小(xiǎo)風機所用小容量(liáng)（功率(shuài)<1/2HP）的交(jiāo)流電機(jī)，一般皆(jiē)為電容(róng)分相(xiāng)式或(huò)隱(yǐn)極(jí)式(shì)，其效率(shuài)僅40%左(zuǒ)右(yòu)，而DC/EC電機的(dí)效率(shuài)可達75～80%；在調(tiáo)速(sù)控製(zhì)上(shàng)可(kě)每台單獨的(dí)以過濾器(qì)降(jiàng)壓(yā)進行(háng)控製以(yǐ)節(jié)約(yuē)能耗(hào)，但(dàn)目前投資回(huí)收(shōu)期尚(shàng)長(cháng)而未廣泛(fàn)采用，一般常用分(fēn)組群控或全部(bù)群控。
（3）但FF瓣出口靜壓不能過大(dà)，一般采(cǎi)用出口(kǒu)風(fēng)速成0.38m/s，此(cǐ)時其靜壓一般在250Pa以內。
2，FFU回風係(xì)統與其(qí)他(tā)方(fāng)式(shì)相(xiāng)比(bǐ)的(dí)優點
2.1一般評(píng)價
優(yōu)點：
（1）靈(líng)活性大，便(biàn)於改(gǎi)造。
（2）占用建築物(wù)空間較少。
（3）潔(jié)淨(jìng)室(shì)內(nèi)空(kōng)氣壓力(lì)大(dà)於回風(fēng)靜壓(yā)室(shì)，排除靜(jìng)壓室對(duì)潔(jié)淨室汙染的可能性(xìng)。
缺點：
（1）要(yào)求(qiú)回風道全部(bù)阻力(lì)（包括(kuò)多孔(kǒng)地板(bǎn)，格柵(zhà)及(jí)風(fēng)道），幹(gān)表冷(lěng)器阻(zǔ)力及末級(jí)過(guò)濾(lǜ)器(qì)的(dí)阻(zǔ)力（在初阻力(lì)時），總共應控(kòng)製在165Pa左右(yòu)，以滿(mǎn)足運行時最大阻(zǔ)力(lì)在(zài)250Pa以(yǐ)內。因(yīn)此(cǐ)幹表冷(lěng)器的(dí)傳熱麵(miàn)積要(yào)較(jiào)大(dà)，回風(fēng)道尺(chǐ)寸亦要(yào)較(jiào)大，多孔地板(bǎn)及(jí)格柵(zhà)等(děng)的阻力要小(xiǎo)，一般(bān)作(zuò)法是：控製幹表冷(lěng)器(qì)阻(zǔ)力在(zài)50Pa左(zuǒ)右，回(huí)風道(dào)阻(zǔ)力在(zài)15Pa以內(nèi)，否則(zé)就(jiù)需(xū)要再增設(shè)加(jiā)壓(yā)風機係統，這(zhè)就是(shì)降(jiàng)低(dī)了FFU係統(tǒng)的綜(zōng)合(hé)優點(diǎn)。（2）采用DC/EC電機(jī)後，單(dān)位風(fēng)量(liáng)的能耗可(kě)能比當(dāng)前一(yī)般大型離心(xīn)風機的集(jí)中係(xì)統為低，但已有研究(jiū)指(zhǐ)出，比采用改(gǎi)進後的(dí)大型(xíng)軸(zhóu)流(liú)風(fēng)機的回(huí)風(fēng)係統(tǒng)的能耗(hào)還(huán)是要高(gāo)。因此(cǐ)需(xū)要(yào)注意大型(xíng)軸流風(fēng)機的效率提(tí)高(gāo)及(jí)其係(xì)統的阻力(lì)降(jiàng)低(dī)的因(yīn)素。
（3）一(yī)般(bān)FFU係(xì)統由(yóu)於單(dān)位風量(liáng)的能(néng)耗較(jiào)大，因此(cǐ)潔淨室(shì)的冷負荷(hé)亦相應(yīng)增(zēng)加。
2.2具(jù)體情況(kuàng)下的(dí)評價(jià)
（1）FFU用於老建(jiàn)築物(wù)改(gǎi)造成(chéng)潔淨室時(shí)，其(qí)綜(zōng)合經(jīng)濟(jì)性一(yī)般往往可(kě)取。
（2）潔淨度(dù)要(yào)求嚴的潔(jié)淨室，末級(jí)過濾器滿(mǎn)布(bù)率100%時，對(duì)大(dà)的(dí)係統(tǒng)采用FFU，當前還是不(bù)經濟(jì)的；對小係(xì)統(tǒng)有(yǒu)意義(yì)作(zuò)具(jù)體(tǐ)比較(jiào)。
（3）對潔淨度要求不(bù)甚(shèn)嚴的潔(jié)淨(jìng)室，末(mò)級過濾器滿布率≤40%時對(duì)大係(xì)統綜合經(jīng)濟性往(wǎng)往相差不多(duō)，但對IC工廠而(ér)言FFU係(xì)統(tǒng)的靈(líng)活性是重要(yào)的(dí)，因此(cǐ)當前(qián)IC工廠(chǎng)對過(guò)濾器滿布(bù)率(shuài)≤40%時，采用(yòng)FFU係統已經普遍。
四(sì)，懸浮分子汙染(rǎn)（AMC）
1，AMC的分類及控製要求情況(kuàng)
AMC作為(wéi)IC工廠所關(guān)心的(dí)問題(tí)於20年前最先由日(rì)本(běn)人(rén)提(tí)出，近(jìn)年來，IC生產園(yuán)片直(zhí)徑已(yǐ)達φ300mm，工藝加(jiā)工(gōng)尺(chǐ)寸(cùn)（綫(xiàn)寬）已小於0.15μm，在某(mǒu)些加工(gōng)工(gōng)序及工序間(jiān)園(yuán)片(piàn)的(dí)傳送和存(cún)放環境中(zhōng)AMC已(yǐ)成為嚴重(zhòng)影響成品(pǐn)率的(dí)問題，已(yǐ)被(bèi)清(qīng)楚的認識(shí)到(dào)，因此(cǐ)，AMC的控製已(yǐ)由(yóu)談論轉(zhuǎn)到(dào)需(xū)要實(shí)施。
對於IC生(shēng)產，AMC分為A，B，C，D四類(lèi)，即(jí)：
A——酸性物(wù)質，如Hcl等
B——鹼性(xìng)物(wù)質(zhì)，如NH3等(děng)
C——沸(fèi)點高於(yú)室溫能(néng)在光(guāng)潔表(biǎo)麵冷(lěng)凝的物質(zhì)，主(zhǔ)要是碳(tàn)氫化合物(wù)，某些(xiē)工(gōng)藝(yì)加工環境(jìng)中的(dí)水(shuǐ)蒸(zhēng)汽(qì)亦需要(yào)考(kǎo)慮
D——摻雜物(wù)質(zhì)，能為(wéi)園片表麵吸(xī)附(fù)或與表(biǎo)麵(miàn)相互反(fǎn)應的物質，如砷(shēn)，硼，磷(lín)等
AMC對當前的(dí)IC生(shēng)產其(qí)潛在的汙(wū)染(rǎn)比粒(lì)子汙染要廣(guǎng)泛多，粒(lì)子汙染(rǎn)控(kòng)製隻(zhī)要(yào)確定(dìng)粒徑及個數(shù)，但對(duì)AMC控製(zhì)而言，除了受(shòu)芯片綫寬的(dí)縮(suō)小而變(biàn)化(huà)外(wài)，並(bìng)受工藝(yì)，工(gōng)藝(yì)設備(bèi)，工(gōng)藝材(cái)料(liào)及園片傳送係統等的(dí)影(yǐng)響，更(gēng)有甚(shèn)者(zhě)用於某(mǒu)一工序(xù)的各種(zhǒng)工藝材(cái)料（化學品(pǐn)，特種(zhǒng)氣體(tǐ)等）在很多(duō)情況下其微量的(dí)分子對下一工(gōng)序往(wǎng)往可能(néng)是汙染(rǎn)物，而(ér)園(yuán)片加工(gōng)工(gōng)序(xù)當(dāng)前已(yǐ)多(duō)於300多個獨立工序，對AMC控(kòng)製(zhì)指(zhǐ)標的(dí)確定更是復雜(zá)。因(yīn)此(cǐ)，IC生(shēng)產對(duì)AMC的控製，對(duì)不(bù)同的(dí)產品(pǐn)，不(bù)同的工(gōng)藝，不(bù)同的(dí)工(gōng)序(xù)及不同的工藝材料(liào)會(huì)有不(bù)同(tóng)的(dí)要求，對(duì)各(gè)種汙染物質的要求當(dāng)前(qián)總的說(shuō)法(fǎ)是控(kòng)製在亞(yà)pptm～1000pptm間。
2，AMC控製的(dí)實(shí)施(shī)情(qíng)況
對(duì)綫寬0.25μm的(dí)IC生(shēng)產，一(yī)般已(yǐ)常在新風處理中設(shè)活性炭過濾器(qì)；有關關鍵(jiàn)工序(xù)以(yǐ)及工序間園片(piàn)的傳(chuán)送(sòng)及存放，有的生(shēng)產(chǎn)廠(chǎng)采取(qǔ)了(liǎo)AMC控製，有的(dí)生(shēng)產廠則(zé)並未(wèi)進(jìn)行控製(zhì)，主(zhǔ)要在(zài)於(yú)經(jīng)濟(jì)效(xiào)果的(dí)衡(héng)量(liáng)上，有關具(jù)體控(kòng)製要求及措施報道(dào)甚少見(jiàn)，可(kě)能(néng)是(shì)由於(yú)保密的原(yuán)因(yīn)，但一點可(kě)以肯(kěn)定(dìng)，隻(zhī)能(néng)在(zài)局部(bù)環(huán)境內(nèi)進行(háng)控(kòng)製。
為滿(mǎn)足φ300mm園(yuán)片，＜0.15mm綫(xiàn)寬的加工(gōng)要(yào)求，近(jìn)年(nián)來對(duì)AMC控製，重點(diǎn)在以下三方(fāng)麵開(kāi)展(zhǎn)工作：
（1）精確(què)的測量(liáng)技術及(jí)標(biāo)準測(cè)試方法的建立。因為這是掌握AMC控製的基礎(chǔ)，必(bì)須(xū)先行(háng)。
（2）按(àn)今後(hòu)IC的(dí)生產要(yào)求，生(shēng)產(chǎn)綫(xiàn)的(dí)設備(bèi)采用(yòng)微(wēi)環境隔(gé)離(lí)，各設(shè)備間園(yuán)片的(dí)傳送采(cǎi)用(yòng)前(qián)開式標(biāo)準(zhǔn)片盒(hé)（FOUPs）係統，對園(yuán)片進行隔(gé)離(lí)。因此(cǐ)，早已對(duì)設備，FOUPs係統(tǒng)及(jí)微環境(jìng)所用的(dí)材料要求不釋放及(jí)吸附有關懸(xuán)浮分(fēn)子汙染物的(dí)問(wèn)題以及對此汙染物(wù)的去除措(cuò)施(shī)進(jìn)行研發，並(bìng)不(bù)斷改進中(zhōng)。
（3）控製(zhì)AMC的過(guò)濾器。
近年(nián)來，對(duì)控製AMC過濾器的開發及推出(chū)有少(shǎo)進(jìn)展：
A.不釋放(fàng)AMC物(wù)質的(dí)HEPA/ULPA
a.低硼超細(xì)玻璃纖維過濾(lǜ)器，現(xiàn)已在亞(yà)洲及(jí)歐(ōu)洲(zhōu)的IC廠使用較(jiào)多(duō)。
b.多孔聚(jù)四氟(fú)乙(yǐ)稀(xī)（ePTFE）過濾器(qì)，為薄(báo)膜(mó)結構，價(jià)格比(bǐ)a要(yào)高(gāo)出十倍左右(yòu)。目前使用(yòng)尚(shàng)不多(duō)，正在(zài)開(kāi)發(fā)下一代的(dí)。
B.化學過濾器(qì)
目(mù)前已(yǐ)推(tuī)出的化(huà)學過(guò)濾(lǜ)器(qì)主(zhǔ)要(yào)是：
a.活(huó)性(xìng)炭(tàn)過濾器，大多數(shù)是晶(jīng)粒(lì)狀的，有盤片式，蜂(fēng)窩(wō)式等(děng)；亦已(yǐ)有(yǒu)活性炭(tàn)纖(xiān)維過(guò)濾器(qì)，具有(yǒu)吸附(fù)速度快的(dí)特點，價(jià)格(gé)尚(shàng)較高(gāo)；還已(yǐ)有(yǒu)晶粒與纖(xiān)維(wéi)粘合的過濾(lǜ)器(qì)。
b.無紡合(hé)成織物(wù)上浸(jìn)漬各(gè)種功能晶粒（如(rú)活性炭，活(huó)性鋁，但主(zhǔ)要是(shì)活性炭）以吸(xī)附(fù)AMC物質。