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，目(mù)的和(hé)原理(lǐ)
空氣過濾(lǜ)器現(xiàn)場安裝(zhuāng)以後檢(jiǎn)漏(lòu)是(shì)確認空氣(qì)過濾器(qì)及(jí)配套的(dí)安裝(zhuāng)靜(jìng)壓(yā)箱，沒有發現泄漏(lòu)或微(wēi)量泄漏是在(zài)規範允許的(dí)範圍(wéi)之內。如果空氣過(guò)濾器(qì)裝(zhuāng)置經檢漏是合(hé)格的，可(kě)以確(què)保潔(jié)淨室的安全可靠的運行，如(rú)此(cǐ)時室內潔淨(jìng)度仍(réng)未(wèi)達標，應(yīng)從(cóng)潔淨室的(dí)其(qí)它方(fāng)麵查(chá)找原因(yīn)。
空(kōng)氣過(guò)濾器(qì)安裝(zhuāng)後(hòu)的檢漏(lòu)不同(tóng)於過(guò)濾器廠家在(zài)工廠(chǎng)裏(lǐ)的(dí)效率測試。後者(zhě)僅對過(guò)濾器的(dí)效率和其(qí)它(tā)相(xiāng)關性能測試，而(ér)前者(zhě)涉(shè)及(jí)空(kōng)氣過濾器和(hé)安(ān)裝過程中相(xiāng)關(guān)的多(duō)種因(yīn)素而(ér)產生的(dí)泄(xiè)漏(lòu)。
空氣(qì)過濾器安裝後檢漏(lòu)通常在空(kōng)態或(huò)靜態(tài)下(xià)進(jìn)行(háng)，同(tóng)時建(jiàn)議在潔淨室風(fēng)量(liáng)平(píng)衡及正負壓(yā)調試(shì)以(yǐ)後(hòu)進(jìn)行，新建成的潔淨室或(huò)更(gēng)換(huàn)終(zhōng)端空氣(qì)過(guò)濾(lǜ)器後均應作檢漏(lòu)測試。
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，空氣過(guò)濾器上(shàng)遊(yóu)氣(qì)溶膠
將冷(lěng)發(fā)霧(wù)方法產生的多分散(sàn)相(xiāng)氣溶膠引入空氣過濾器(qì)的上風(fēng)側(cè)空氣中。使(shǐ)其(qí)達到需要的氣溶膠(jiāo)濃度。規範(fàn)上要(yào)求以大於或等(děng)於 0.5μm 的(dí)微粒(lì)為(wéi)準(zhǔn)。氣溶膠的材料(liào)有 DOP（鄰(lín)苯(běn)二甲酸二辛(xīn)酯）
，PAO（聚乙烯烴）
，DOS（葵(kuí)二(èr)酸二辛(xīn)酯）等(děng)，這些(xiē)氣溶(róng)膠的檢漏(lòu)原理是一樣(yàng)的。規範(fàn)上(shàng)要(yào)求空(kōng)氣(qì)過(guò)濾(lǜ)器上風(fēng)側的微(wēi)粒濃度(dù)（≥0.5μm）必(bì)須(xū)大於或等於 3.5×104 粒子(zǐ) /L。事(shì)實(shí)上(shàng)，在(zài)空調器內發塵，過(guò)濾(lǜ)器(qì)上風(fēng)側的(dí)濃度較(jiào)難(nán)達到(dào)要求(qiú)，必須(xū)導(dǎo)入足(zú)夠(gòu)數量(liáng)的氣溶膠，且長(cháng)時間地發(fā)塵將(jiāng)會(huì)影響空(kōng)氣過(guò)濾(lǜ)器的(dí)使用壽命。所以(yǐ)，空氣(qì)過(guò)濾(lǜ)器(qì)的檢漏，在空氣(qì)過濾器(qì)送風口(kǒu)的(dí)靜壓(yā)箱內發塵為，不具(jù)備條(tiáo)件(jiàn)的，也(yě)可以(yǐ)考慮(lǜ)在(zài)送(sòng)風(fēng)管(guǎn)上導(dǎo)入(rù)DOP 的(dí)氣溶(róng)膠。
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，等速采(cǎi)樣(yàng)
在(zài)有速度(dù)的(dí)氣(qì)流中采(cǎi)樣，采(cǎi)樣(yàng)速(sù)度應等於(yú)氣(qì)流(liú)速度，否則采樣(yàng)濃度(dù)將大於(yú)或(huò)小(xiǎo)於真(zhēn)實濃度，即氣(qì)流(liú)速(sù)度大(dà)於(yú)采(cǎi)樣(yàng)速度(dù)，采樣(yàng)濃度將大於(yú)真實濃度，反之(zhī)，氣流(liú)速度(dù)小(xiǎo)於采(cǎi)樣速度，采樣(yàng)濃度將小(xiǎo)於真實濃度。
假(jiǎ)定(dìng)空(kōng)氣(qì)過(guò)濾(lǜ)下(xià)實(shí)際斷麵風(fēng)速為0.45 m/s，圓形取(qǔ)樣口直(zhí)徑(jìng) Ds 的計(jì)算：
V×1/4×πDs =Fa 2
Fa ——儀器(qì)采樣(yàng)量(liáng)，28.3 L/min=472 cm3/s
V ——過濾(lǜ)器麵(miàn)風速0.45 m/s
經計(jì)算 Ds=36. 5 mm
實際上儀(yí)器的取(qǔ)樣口直(zhí)徑為35 mm或(huò)正(zhèng)方(fāng)形 30×30 mm，當然取樣(yàng)口(kǒu)也(yě)可(kě)以是長(cháng)方形的，經計算此時的采樣速(sù)度(dù)為(wéi) 0.49 ～0.52 m/s，可以(yǐ)認(rèn)為(wéi)是(shì)等(děng)速(sù)采樣(yàng)。
根據標準(zhǔn)組織 （ISO） 關於(yú)潔(jié)淨室及相(xiāng)關受(shòu)控環境的測試和(hé)測(cè)試(shì)方法(fǎ) （ISO14644-3） 中公式計(jì)算：Sr ≤ Cc×Ps×K×Dp×Fs/Np=50×0.005%×10×3.5×472/Np式中：Sr －探管掃描速(sù)率(shuài) cm/s；
Cc －被測過(guò)濾(lǜ)器上風(fēng)向氣(qì)溶(róng)膠(jiāo)濃(nóng)度 cm-3 （50粒子 /cm3）；
Ps －被(bèi)測過濾(lǜ)器(qì)zui易穿(chuān)透(tòu)粒徑zui大允許整體穿透(tòu)率；
PL －被測過濾(lǜ)器(qì)的zui大(dà)允(yǔn)許泄漏；
K －一(yī)個因(yīn)數，表(biǎo)示 PL 可能比 Ps 大(dà)多少(shǎo)倍(bèi)；
Dp －平行於掃描方(fāng)向的(dí)探管尺(chǐ)寸(cùn) （cm），本文使用圓(yuán)形(xíng)采樣管(guǎn)，直徑(jìng)35 mm；
Fs －離散(sàn)粒子計數器(qì)的標準(zhǔn)樣品(pǐn)流(liú)量(liáng)，
Fs=472 cm3/s （28.3 L/min）；
Np －預期量，表現出泄(xiè)漏特(tè)征(zhēng)的粒子計(jì)數(shù)值(zhí)；
用下(xià)式(shì)計算(suàn)：
Np=Cc×Ps×K×Fs
Np=Cc×Ps×K×Fs=50×0.005%×10×472=11.8 個，代入(rù) Sr式得 Sr=Cc×Ps×K×Dp×Fs/Np=50×0.005%×10×3.5×472/11.8= 3.5（cm/s）
每(měi)個測(cè)點(diǎn)實際(jì)獲(huò)得(dé)時(shí)間 Ts=Dp/Sr=1s
所以，采樣(yàng)口的掃描速(sù)率是和(hé)上(shàng)遊(yóu)粒(lì)子濃(nóng)度(dù)穿透(tòu)率
，K 值(zhí)
，采(cǎi)樣(yàng)口(kǒu)的口(kǒu)徑
，采(cǎi)樣流量有著密(mì)切(qiē)的關係。特別(bié)需要指(zhǐ)出的是，如(rú)采(cǎi)用(yòng)28.3 L/min 的(dí)粒(lì)子計(jì)數(shù)器(qì)和(hé)2.83 L/min 的粒(lì)子計(jì)數器(qì)，他們的掃描速(sù)率可(kě)以(yǐ)相差(chà)十倍(bèi)，也(yě)就是(shì)講，每(měi)檢(jiǎn)測(cè)一個過濾(lǜ)器(qì)的(dí)時間也(yě)相(xiāng)差十(shí)倍。規(guī)範要(yào)求掃描(miáo)速(sù)率為 5 ～20mm/s （ 其實這(zhè)個速(sù)率是(shì)應該(gāi)根據具體(tǐ)情(qíng)況可以計算調(tiáo)整的(dí)，一般建議采(cǎi)用(yòng)28.3 L/min 的粒子計算器，掃描速(sù)率在 30 ～5mm/s 左(zuǒ)右(yòu) ）。
如果(guǒ)上(shàng)遊濃(nóng)度為 3.5×104 粒子/L，0.5μm 的空(kōng)氣(qì)過濾(lǜ)器效(xiào)率是(shì)99.99％，下(xià)遊濃(nóng)度為(wéi) 3.5×104×0.01%×3=10.5。如果粒(lì)子計算器(qì)檢測(cè)≤ 10 應(yīng)為(wéi)合格(gé)，否則(zé)應進行修復，修補(bǔ)總(zǒng)麵(miàn)積不(bù)能(néng)超過(guò)過(guò)濾器截麵的(dí) 5％，每個修補點修補(bǔ)的zui大長度必(bì)須在(zài)40mm以下。
本文(wén)用(yòng) ISO 14644-3 的(dí)檢漏方法及有關(guān)計算。如上(shàng)述(shù)，Np 是表泄漏特征的(dí)粒(lì)子(zǐ)數(shù)，在 Np=11.8 時，可(kě)接受(shòu)觀測計(jì)數(shù) Ca=7 個(gè)。在(zài)檢漏中，塵埃粒(lì)子讀(dú)數C ≤ Ca 時，認為掃描區(qū)域(yù)無(wú)泄露，可繼(jì)續掃描(miáo)，否則，要(yào)做(zuò)靜態測定(dìng)。靜態(tài)測定時(shí)，采樣(yàng)頭(tóu)在(zài)測點的(dí)滯(zhì)留時間設定(dìng)為 10 秒鐘，此時(shí)測得(dé)的zui大粒子數為(wéi)Npa：Npa=Cc×PL×FS×K=50×0.005%×10×472×10=118
這是采(cǎi)樣流量為(wéi)472 cm3/s，采樣時間(jiān)為 10 s 時(shí)的讀(dú)數值，大於(yú)此數可判斷為(wéi)泄(xiè)漏。
如果(guǒ)係統總風量(liáng)不(bù)大，DOP 發塵可直接送入(rù)總風(fēng)管(guǎn)。如果 DOP 發(fā)塵(chén)的(dí)總(zǒng)量不夠(gòu)，達不(bù)到預計的濃度(dù)要求(qiú)，可將(jiāng) DOP 直(zhí)接發(fā)入(rù)送風(fēng)口的(dí)靜壓(yā)箱(xiāng)。需(xū)要(yào)指出的(dí)是(shì)，上遊的氣溶(róng)膠(jiāo)濃度需(xū)要檢(jiǎn)測(cè)。如果穩定(dìng)後，可(kě)對每個過濾器進行泄漏(lòu)檢測。如(rú)果(guǒ)上遊的氣溶(róng)膠濃度太(tài)高，粒子計(jì)數(shù)器(qì)無法檢測，可通過稀釋的(dí)方法來(lái)進行測量(liáng)。
在檢測中(zhōng)，如(rú)果室(shì)內幹(gān)擾(rǎo)因素(sù)太(tài)多(duō)，為排除幹(gān)擾，可在風口(kǒu)出口加隔離罩，在(zài)罩(zhào)內進(jìn)行(háng)檢測，這樣檢(jiǎn)測的數(shù)據較(jiào)為準(zhǔn)確。尤其要注意(yì)的是，在(zài)過濾器和安裝框(kuàng)架之(zhī)間(jiān)的(dí)檢漏(lòu)，可以(yǐ)沿安(ān)裝框(kuàng)架檢漏(lòu)，也可以送風口(kǒu)箱(xiāng)體斷(duàn)麵(miàn)上檢(jiǎn)漏(lòu)，但要(yào)排除卷吸(xī)氣(qì)流的幹(gān)擾(rǎo)，要避(bì)免箱體(tǐ)上的積灰幹(gān)擾，尤其(qí)是(shì)采樣口不(bù)能接觸風(fēng)口箱(xiāng)體或過濾(lǜ)器的框架。在空氣(qì)過濾器(qì)上風側發 DOP 檢漏(lòu)時，在空氣過濾(lǜ)器的上風(fēng)側必(bì)須設(shè)有 DOP 的(dí)導入(rù)裝(zhuāng)置(zhì)及濃(nóng)度(dù)檢(jiǎn)測管(guǎn)。這(zhè)兩個管(guǎn)子也(yě)可以(yǐ)用來檢(jiǎn)測過濾(lǜ)器(qì)的阻力(lì)。
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，結(jié)論(lùn)
（1）空(kōng)氣過(guò)濾器安裝(zhuāng)以後必須要進(jìn)行檢漏；
（2）要(yào)計(jì)算 DOP 的(dí)發塵(chén)量及(jí)係(xì)統風量，確(què)定(dìng)DOP 導入地點(diǎn)；
（3）要測量空氣過濾器上遊的粒子濃度；
（4）根據規(guī)範按(àn) 0.5μm 的粒徑來(lái)檢漏(lòu)，需(xū)要確定(dìng)正確的(dí)K值。如(rú)果(guǒ)采用不(bù)是0.5μm的粒徑來檢漏，建議(yì)可按 ISO14644-3 的標準(zhǔn)來(lái)確(què)定(dìng)K值；
（5）建議采(cǎi)用28.3 L/min 的粒(lì)子(zǐ)計數(shù)器(qì)來檢(jiǎn)漏(lòu)。如果采(cǎi)用(yòng)2.83 L/min 的粒子計數器(qì)，必須(xū)控製(zhì)掃(sǎo)描速度。