空氣經過(guò)過(guò)濾的(dí)生(shēng)產(chǎn)環境(jìng)首(shǒu)先(xiān)被航空(kōng)航天(tiān)工(gōng)業(yè)使用。即(jí)使一個極(jí)其(qí)微(wēi)小的缺(quē)陷(xiàn)都可造成(chéng)衛星(xīng)工(gōng)作失誤，因此，NASA（美(měi)國航空(kōng)航(háng)天(tiān)中心）和(hé)其服務(wù)商們建(jiàn)造了(liǎo)帶(dài)有(yǒu)過濾天(tiān)花(huā)板夾(jiā)層和(hé)過(guò)濾牆體(tǐ)的車間。而且(qiě)*了許(xǔ)多(duō)基本的汙(wū)染控製理念，其中包(bāo)括從(cóng)工作人員(yuán)潔淨(jìng)服(fú)到潔(jié)淨室(shì)使用物(wù)的(dí)管理方(fāng)法(fǎ)。
半導體工(gōng)業采(cǎi)用了許多這方麵的技(jì)術(shù)。然而一個主(zhǔ)要的問(wèn)題是當從(cóng)小加工(gōng)車間(jiān)擴建(jiàn)為(wéi)有更多工(gōng)人工作的大(dà)型車(chē)間(jiān)後，很難保持(chí)其(qí)固有(yǒu)的潔(jié)淨度。早(zǎo)期半導體(tǐ)工(gōng)業把(bǎ)帶(dài)過濾天花(huā)板夾層和(hé)牆(qiáng)體的(dí)方法演(yǎn)化為超淨工作台法。這個主要(yào)是把(bǎ)過濾(lǜ)器裝在單個(gè)工(gōng)作台上，並(bìng)使(shǐ)用無脫落的(dí)物質。在工作(zuò)台(tái)以外，晶圓被裝在(zài)密封(fēng)的盒(hé)子中儲存，運(yùn)輸(shū)。
在(zài)大(dà)型車間(jiān)中按順(shùn)序排列的工(gōng)作(zuò)台（叫(jiào)做(zuò)工(gōng)作(zuò)層(céng)流罩）組成(chéng)加(jiā)工(gōng)區，使晶(jīng)圓依工(gōng)藝(yì)次序經過而不(bù)從(cóng)露(lòu)於空氣中。潔淨(jìng)工作罩(zhào)中(zhōng)的(dí)過濾器(qì)是一種顆粒搜(sōu)集過濾器(qì)（HEPA過(guò)濾器）。這(zhè)些過(guò)濾器是由(yóu)含(hán)許多(duō)小(xiǎo)孔，並按手風(fēng)琴(qín)琴(qín)葉(yè)折疊的脆性(xìng)纖維組(zǔ)成(chéng)，由於高密度的小孔(kǒng)與大(dà)麵積的(dí)過濾層，使得(dé)大(dà)量的空(kōng)氣低速流(liú)過。由於低速空氣可避免(miǎn)產生(shēng)空(kōng)氣流，有(yǒu)利(lì)於工(gōng)作台的潔(jié)淨(jìng)度，並且對於(yú)操作員而言，在舒適的(dí)環境中工(gōng)作也是必要的(dí)。典型(xíng)的(dí)空氣流(liú)量6為每分鐘90到(dào)100英(yīng)寸。HEPA過(guò)濾器(qì)可(kě)達(dá)到(dào)99.99%或(huò)更(gēng)高的(dí)過濾(lǜ)效(xiào)率，並(bìng)可用(yòng)於(yú)三種(zhǒng)淨化(huà)方(fāng)法(fǎ)中(zhōng)。
一(yī)般(bān)來(lái)說(shuō)，HEPA過(guò)濾器(qì)裝(zhuāng)於超(chāo)淨工作台(tái)頂(dǐng)部(bù)。空氣(qì)由風扇(shàn)吸入(rù)先(xiān)通過前(qián)置過濾(lǜ)器(qì)，再通過(guò)HEPA過濾(lǜ)器，並以(yǐ)均(jūn)匀平行的(dí)方(fāng)式(shì)流(liú)出，在工作(zuò)台(tái)表(biǎo)麵(miàn)改(gǎi)變(biàn)方向，流出(chū)工作(zuò)台(tái)。安(ān)裝檔板可(kě)控(kòng)製晶圓(yuán)表(biǎo)麵空(kōng)氣流動(dòng)方(fāng)向，通(tōng)常這種方(fāng)式稱(chēng)為(wéi)空(kōng)氣(qì)層(céng)流立(lì)式式(shì)工(gōng)作台，它(tā)是由(yóu)空氣(qì)流的方向命(mìng)名(míng)的(dí)。有(yǒu)些(xiē)工作台把HEPA過濾(lǜ)器裝(zhuāng)於(yú)工作(zuò)台後(hòu)部，這種方式被(bèi)稱(chēng)為空(kōng)氣層流(liú)平行(háng)式工(gōng)作台。