實用(yòng)潔(jié)淨(jìng)室(shì)的(dí)構造(zào)形式
實用(yòng)潔淨室主(zhǔ)要是根據(jù)工藝特點(diǎn)進(jìn)行布(bù)置(zhì)，在(zài)滿足使用要(yào)求(qiú)的前提下求得經濟合(hé)理(lǐ)，當(dāng)然(rán)不(bù)外乎(hū)以上四(sì)種類(lèi)型(xíng)的(dí)潔淨(jìng)室(shì)進行組(zǔ)合
。已有(yǒu)典型的(dí)構造形式如下：
（1）開放(fàng)式
大麵積(jī)的單向(xiàng)或非單向流潔淨(jìng)室
。常用(yòng)於(yú)工(gōng)藝(yì)過程(chéng)對各潔淨區要求(qiú)的(dí)潔(jié)淨度差(chà)別不大的，其特(tè)點是：
①優點：靈活(huó)性好，便於(yú)調(tiáo)整和(hé)變更，設(shè)計簡單(dān)，空氣處(chǔ)理係(xì)統(tǒng)單一
。
②缺點：高運行費用，對大麵積的單向(xiàng)流，其(qí)回(huí)風(fēng)通(tōng)道所(suǒ)占麵(miàn)積/空間大(dà);防(fáng)火分隔(gé)受(shòu)限製，安全(quán)性(xìng)差
。
（2）套間(jiān)式(shì)
各(gè)潔(jié)淨區按(àn)工(gōng)作(zuò)的工序及(jí)潔(jié)淨度要求進行(háng)分隔及連(lián)通(tōng)，並(bìng)進行(háng)各(gè)區(qū)間(jiān)的壓(yā)差(chà)控製，多(duō)用(yòng)於(yú)製(zhì)藥工業(yè)手術(shù)部，亦常(cháng)把此(cǐ)歸(guī)入(rù)開放(fàng)式內
。
（3）隧(suì)道式(shì)
是IC工(gōng)廠潔淨(jìng)室在(zài)80年(nián)代(dài)末90年(nián)代(dài)初常較多采用一(yī)種(zhǒng)形式，是以“綫(xiàn)”保護替(tì)代“麵(miàn)”保護的(dí)典型代表
。它(tā)有二(èr)種(zhǒng)基(jī)本(běn)形式(shì)：一是把(bǎ)各(gè)有關工藝(yì)設(shè)備(bèi)的關鍵(jiàn)加工部位（即(jí)加(jiā)工(gōng)物暴露於周圍空(kōng)氣中(zhōng)的(dí)部(bù)位）與(yǔ)設備的(dí)服(fú)務部位加以物理分隔(gé)，一般(bān)各(gè)設(shè)備(bèi)的關鍵加(jiā)工(gōng)部位(wèi)都(dū)麵對布(bù)置，置(zhì)於單向流潔(jié)淨(jìng)區（潔(jié)淨隧(suì)道(dào)內），而(ér)設備(bèi)的(dí)服(fú)務部位置(zhì)於要求不(bù)嚴的非單向(xiàng)流潔淨區內，以實(shí)現(xiàn)減少(shǎo)單(dān)向流潔(jié)淨區的麵積；另一種(zhǒng)形式(shì)是(shì)把各工(gōng)藝設(shè)備(bèi)的關(guān)鍵加工部位置於(yú)非(fēi)單向(xiàng)流潔淨隧道的罩(zhào)流層下，其它都同前
。其(qí)特點(diǎn)是：
①優點：把單(dān)向流(liú)潔淨區限製到(dào)zui小(xiǎo)；減(jiǎn)少循(xún)環風(fēng)量節省運行費(fèi)用(yòng);潔淨隧(suì)道的回風(fēng)可回至設備服務區，此區可作為(wéi)回風道向上(shàng)回(huí)風(fēng)，防(fáng)火分(fēn)隔(gé)簡(jiǎn)單(dān)，運行安全
。
②缺點(diǎn)：設計時需(xū)要仔細(xì)，較麻(má)煩，靈活(huó)性(xìng)差(chà)
。
（4）微(wēi)環境/隔離(lí)裝置+開放式潔淨(jìng)室
這種形(xíng)式當前製藥工業(yè)已(yǐ)采用較普(pǔ)遍，根(gēn)據(jù)導投(tóu)資可節(jié)省10~15%，運(yùn)行費(fèi)用可望節約40~50%
。在IC工廠(chǎng)采(cǎi)用這種(zhǒng)形式與其它(tā)形式就(jiù)潔淨(jìng)室設施的投(tóu)資(zī)及運行(háng)費(fèi)用而言(yán)，肯定是(shì)經(jīng)濟(jì)的(dí)，但帶(dài)來微(wēi)環境的工藝設(shè)備以(yǐ)及自動(dòng)傳送(sòng)係(xì)統(tǒng)等投(tóu)資(zī)的(dí)增(zēng)加等(děng)，其綜(zōng)合經(jīng)濟效果(guǒ)如(rú)何，存(cún)在著不同看法(fǎ)，如亞(yà)洲(zhōu)，歐(ōu)洲(zhōu)采用得較(jiào)多(duō)，而美國(guó)則很(hěn)少采用
。由於潔淨(jìng)室潔淨(jìng)度(dù)要(yào)求的降低(dī)，隨之(zhī)帶來潔(jié)淨服係統(tǒng)等要求(qiú)降低(dī)而(ér)節(jié)省購買費(fèi)及(jí)清洗等(děng)費(fèi)用亦是(shì)可(kě)觀的(dí)
。
（5）模塊式(shì)潔淨室
模(mó)塊式潔(jié)淨室近10年來發(fā)展(zhǎn)亦快，隨著FFU的發(fā)展，對(duì)模(mó)塊式潔淨(jìng)室靈(líng)活，方便性更加(jiā)體現，一般一天(tiān)可以安(ān)裝完成
。模(mó)塊(kuài)式潔(jié)淨室(shì)一般適宜(yí)用於空(kōng)調參數(shù)與所處背(bèi)景環(huán)境基(jī)本一(yī)致的場(cháng)合(hé)，它(tā)的牆(qiáng)，天花(huā)等都不用(yòng)另加保溫材(cái)料，目(mù)前情況是：滿足潔淨(jìng)度等(děng)級(jí)ISO4級及以上；可視的即透明的聚丙(bǐng)烯(xī)牆板或消靜電的PVC材料兩(liǎng)種(zhǒng)材料(liào)
。
潔淨室(shì)形(xíng)式的變化(huà)都(dū)是伴(bàn)隨工(gōng)藝發(fā)展和變化現的，以(yǐ)上(shàng)各種形(xíng)式，各(gè)適用(yòng)於(yú)一(yī)定(dìng)的條件(jiàn)及(jí)要(yào)求(qiú)
。以IC工廠(chǎng)的(dí)潔(jié)淨隧(suì)道與開(kāi)放(fàng)式潔淨(jìng)室(shì)為(wéi)例，在(zài)某些(xiē)規(guī)模(mó)及(jí)要(yào)求(qiú)下，開(kāi)放式的亦還有采(cǎi)用(yòng)的
。