無塵室(shì)潔(jié)淨(jìng)度定期檢測(cè)及測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)
1，為了保證(zhèng)無(wú)塵(chén)室的(dí)潔淨(jìng)度滿(mǎn)足工藝要求，必須定(dìng)期對(duì)無塵室內(nèi)的潔(jié)淨度進(jìn)行(háng)檢測(cè)。
2，檢測測試設備：激光(guāng)粒(lì)子(zǐ)記(jì)數(shù)器。
3，檢測周(zhōu)期(qī)：每周一上午(wǔ)，下午(wǔ)對(duì)各(gè)潔淨區(qū)域進(jìn)行一次檢測。
4，檢測(cè)條(tiáo)件：靜態潔(jié)淨度測試。
5，數據收集(jí)整(zhěng)理：將每次檢(jiǎn)測的結果輸入(rù)監控(kòng)室(shì)的電(diàn)腦中(zhōng)儲存，並(bìng)在每個季度末(mò)（或(huò)下(xià)季(jì)度(dù)初(chū)）給(gěi)各部(bù)門(mén)發該季度的潔淨(jìng)度(dù)記錄圖(tú)表電子(zǐ)檔通報(bào)給(gěi)各部(bù)門。
6，各潔淨區域潔淨(jìng)級別(bié)標(biāo)準：按(àn)照《半(bàn)導體公司能源管理(lǐ)標準(zhǔn)》要(yào)求執行。
潔淨(jìng)等級標準(zhǔn)相(xiāng)當(dāng)於ISO級別(bié)等效於(yú)GB級(jí)別
K-1係統劃(huá)片(piàn)區(qū)域
K-1係統(tǒng)改造(zào)前為(wéi)靜態(tài)10萬(wàn)級(jí) CLASS 7
CLASS 8 CLASS 7
CLASS 8
K-2係(xì)統(tǒng)包封區(qū)域(yù)靜態30萬級(jí) CLASS 8．3 CLASS 8．3
K-3係統(tǒng)搪(táng)錫區域(yù)靜態(tài)30萬級 CLASS 8．3 CLASS 8．3
K-4係統測試區域(yù)靜(jìng)態(tài)30萬(wàn)級 CLASS 8．3 CLASS 8．3
K-8係統電(diàn)鍍區域靜態(tài)30萬級(jí) CLASS 8．3 CLASS 8．3