過濾器的(dí)現場(cháng)檢漏
過(guò)濾器在運(yùn)輸(shū)及(jí)安裝過程中會產(chǎn)生損壞，需要在安裝(zhuāng)後進(jìn)行(háng)檢(jiǎn)漏(lòu)，包(bāo)括有(yǒu)的安裝(zhuāng)接縫處的密封(fēng)檢漏。通常采(cǎi)用(yòng)掃(sǎo)描(miáo)法(fǎ)，數量(liáng)少的(dí)好辦(bàn)，數量很多時(shí)往往采(cǎi)用多(duō)個(gè)計(jì)數(shù)器(qì)及(jí)探(tàn)頭成排掃(sǎo)描，有(yǒu)時(shí)亦(yì)有采用安(ān)裝(zhuāng)前先檢漏(lòu)，安(ān)裝時認真監督進行控製。
現場檢漏(lòu)的方(fāng)法，采用掃(sǎo)描法，所用(yòng)塵源，對要(yào)求不(bù)嚴的(dí)潔淨(jìng)室常直(zhí)接用(yòng)大氣塵(chén)，但大(dà)氣(qì)塵的情況(kuàng)不穩定的，掃描結果有時不(bù)易判斷(duàn)，因(yīn)此常采(cǎi)用DOP及其替代(dài)物(wù)質(zhì)，同(tóng)前所述，一(yī)般(bān)采用多(duō)分(fēn)散的為(wéi)經濟(jì)方(fāng)便。
儀(yí)器采(cǎi)用光(guāng)度計(jì)或(huò)合(hé)適的(dí)粒子計數(shù)器(qì)，後者的靈敏(mǐn)度(dù)可高到(dào)0.001%，而光度計僅(jǐn)為0.01%，這(zhè)樣後(hòu)者可減(jiǎn)少塵源DOP等的(dí)氣溶(róng)膠(jiāo)量(liáng)（後者所(suǒ)需濃度0.008mg/l而前者需要~10mg/l），因此(cǐ)對ULPA的(dí)檢(jiǎn)漏(lòu)不(bù)宜(yí)采用光度計(jì)，塵(chén)源亦(yì)不宜采用大氣塵。

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