1963年(nián)，美(měi)國潔(jié)淨室(shì)標(biāo)準(zhǔn)FED-STD-209中，按(àn)每立方英(yīng)尺中≥0.5MM粉塵數量的zui高允(yǔn)許(xǔ)濃度，將(jiāng)潔淨室分(fēn)成(chéng)若幹(gān)等級，如100級(jí)，10,000級，100,000級(jí)。世界上許多國家都加以效(xiào)仿。
1999年，標(biāo)準化(huà)組(zǔ)織(zhī)ISO頒布了(liǎo)一項(xiàng)標準《ISO14644-1 潔淨(jìng)室(shì)與(yǔ)受控潔(jié)淨環(huán)境(jìng)》*部(bù)分(fēn)：空氣(qì)潔淨(jìng)度(dù)分級。標準(zhǔn)中采用(yòng)了(liǎo)新(xīn)的(dí)分(fēn)級。
2001年，中(zhōng)國新(xīn)頒布的潔淨室設計標(biāo)準(zhǔn)中(zhōng)采用(yòng)了ISO分級(jí)。
電(diàn)子工業和製藥業是(shì)與潔淨室(shì)關係zui密(mì)切(qiē)的兩(liǎng)個行業(yè)。ISO標準(zhǔn)一出(chū)現，電子行業立刻改(gǎi)用(yòng)ISO標(biāo)準定義的(dí)潔(jié)淨(jìng)室(shì)級別，而製藥業目前(qián)仍沿用(yòng)老(lǎo)的潔淨(jìng)級別規(guī)定。中國1998年(nián)版(bǎn)GMP規(guī)範(fàn)中比前一(yī)版增(zēng)加了(liǎo)個(gè)30萬級(jí)。