潔(jié)淨室內(nèi)之汙染路(lù)來(lái)源(yuán)，經測試(shì)分(fēn)析(xī)結果，作業人員(yuán)占約(yuē)80%
。實(shí)驗數(shù)據顯示，作(zuò)業人員進(jìn)出潔淨(jìng)室(shì)時塵(chén)埃有(yǒu)顯著增(zēng)加，有(yǒu)人(rén)動(dòng)作時，潔(jié)淨度馬上劣化，可見潔淨度劣化之(zhī)原(yuán)因人是主要因素
。
潔(jié)淨(jìng)室(shì)的(dí)汙染源(yuán)可分為外汙染及內(nèi)汙染(rǎn)源
。外汙(wū)染源主要(yào)包括空(kōng)調(tiáo)送(sòng)風(fēng)，間隙滲(shèn)入，建(jiàn)築(zhù)物，工作服，風管材(cái)料(liào)以及一般性(xìng)氣(qì)體(tǐ)如N2，O2，Air，給水(shuǐ)，溶劑(jì)等；而內(nèi)汙染源(yuán)則包括製(zhì)程設備，工作人(rén)員(yuán)，工具(jù)，加工製程，隔(gé)間(jiān)材料，工作桌，包裝(zhuāng)材(cái)料(liào)等
。
對矽(guī)芯片而言，微(wēi)塵粒子(zǐ)之(zhī)附(fù)著(zhuó)將造成集成(chéng)電路綫路(lù)的變(biàn)形(xíng)或短路，使芯片(piàn)失去運作功(gōng)能，因此(cǐ)微汙染源的控製(zhì)已成為(wéi)潔淨(jìng)室管理(lǐ)的重要環節(jié)
。微(wēi)汙染(rǎn)控製(zhì)，其(qí)基(jī)本原(yuán)則有(yǒu)四(sì)：
1，外(wài)部塵(chén)埃侵入(rù)之防(fáng)止
潔(jié)淨室適(shì)當(dāng)之(zhī)正(zhèng)壓保(bǎo)持(chí)（>0.5mmAq），做好施(shī)工工程(chéng)之(zhī)不漏(lòu)氣，人員設備，原材料搬(bān)入(rù)潔淨室前先做好清潔擦(cā)拭等防(fáng)塵動作(zuò)，空(kōng)氣(qì)過(guò)濾器(qì)適當的管理(lǐ)和設置
。
2，室(shì)內(nèi)發塵(chén)之防止(zhǐ)
隔(gé)間板，地板(bǎn)等潔淨室材(cái)料的適(shì)當選用(yòng)，製(zhì)程設備的發(fā)塵抑製(zhì)，生(shēng)產(chǎn)自動化(huà)及(jí)人員(yuán)不聚集，動作放鬆(sōng)，潔(jié)淨(jìng)衣的(dí)管(guǎn)理，使用(yòng)潔(jié)淨室器等(děng)
。
3，室(shì)內發塵之不積(jī)留
牆壁體應光(guāng)滑*，潔(jié)淨(jìng)室(shì)需定期(qī)保養和清掃，製程設(shè)備(bèi)四周應(yīng)留(liú)有(yǒu)空間(jiān)
。
4，發生(shēng)塵埃(āi)之排(pái)除(chú)
換氣(qì)次(cì)數(shù)應(yīng)足(zú)夠，適當的空(kōng)間布(bù)置(zhì)以(yǐ)及汙(wū)染源接排氣和空調的氣流(liú)速度(dù)須(xū)適(shì)當(dāng)
。人，物(wù)入室的(dí)管(guǎn)理(lǐ)問題，實(shí)際的作業條(tiáo)件(jiàn)和工程(chéng)管理關聯之問(wèn)題，室內之(zhī)空調(tiáo)及(jí)清掃關係(xì)之(zhī)問題
。