1，亂流式(Turbulent Flow)：
空(kōng)氣(qì)由空(kōng)調箱經(jīng)風(fēng)管與無(wú)塵車間內之空(kōng)氣(qì)過(guò)濾器(qì)(HEPA)進(jìn)入潔淨(jìng)室(shì)
，並由無塵(chén)車間兩側(cè)隔(gé)間牆板(bǎn)或高架(jià)地(dì)板回風(fēng)。氣流非直(zhí)綫型運動而(ér)呈不規(guī)則之亂流或(huò)渦流狀(zhuàng)態(tài)。此型式適(shì)用(yòng)於(yú)潔(jié)淨室等(děng)級(jí)1,000-100,000級。
優(yōu)點：構造(zào)簡(jiǎn)單，係統建(jiàn)造(zào)成本(běn)低
，潔(jié)淨(jìng)室之(zhī)擴充比(bǐ)較容易(yì)
，在(zài)某些(xiē)特(tè)殊(shū)用(yòng)途場(cháng)所
，可並(bìng)用(yòng)無塵工(gōng)作(zuò)台(tái)
，提高(gāo)無(wú)塵(chén)車間等級。
缺(quē)點(diǎn)：亂(luàn)流造成(chéng)的微塵粒子於室(shì)內(nèi)空(kōng)間(jiān)飄(piāo)浮不(bù)易(yì)排出(chū)
，易汙染製(zhì)程(chéng)產品(pǐn)。另(lìng)外(wài)若係統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再激(jī)活(huó)
，欲達需(xū)求(qiú)之潔淨度
，往(wǎng)往須耗時相(xiāng)當長(cháng)一(yī)段(duàn)時(shí)間。
2，層流(liú)式(Laminar)： 
層(céng)流(liú)式空氣氣(qì)流(liú)運動(dòng)成一(yī)均匀(yún)之直(zhí)綫(xiàn)形
，空氣由覆(fù)蓋(gài)率(shuài)100%之過濾器進入室(shì)內(nèi)
，並(bìng)由高架(jià)地(dì)板或兩側隔(gé)牆板(bǎn)回(huí)風(fēng)
，此型式(shì)適用於(yú)潔(jié)淨(jìng)室等(děng)級(jí)需求(qiú)較高之(zhī)環(huán)境(jìng)使(shǐ)用
，一般其潔淨(jìng)室等(děng)級(jí)為Class 1~100。其(qí)型式(shì)可分為二(èr)種：
（1）無塵(chén)車(chē)間水平層(céng)流式：水(shuǐ)平(píng)式空(kōng)氣自過濾器(qì)單(dān)方向吹(chuī)出(chū)
，由對邊(biān)牆壁之回風係統(tǒng)回風(fēng)
，塵埃隨風向排(pái)出(chū)室外
，一般在下流(liú)側(cè)汙(wū)染較嚴重。
優點(diǎn)：構造簡單
，運(yùn)轉(zhuǎn)後(hòu)短(duǎn)時(shí)間內(nèi)即(jí)可變(biàn)成穩(wěn)定。
缺點：建(jiàn)造(zào)費用比亂(luàn)流(liú)式(shì)高
，室(shì)內空間不易(yì)擴充。 
（2）無(wú)塵(chén)車間垂直(zhí)層(céng)流(liú)式(shì)：房間天(tiān)花板*以ULPA過濾器覆蓋(gài)
，空氣由(yóu)上(shàng)往下吹(chuī)
，可(kě)得(dé)較(jiào)高之潔淨度(dù)
，在製(zhì)程(chéng)中(zhōng)或(huò)工(gōng)作人員所(suǒ)產(chǎn)生(shēng)的(dí)塵(chén)埃可快(kuài)速排出(chū)室外(wài)而不會(huì)影(yǐng)響其它(tā)工(gōng)作區(qū)域(yù)。
優點(diǎn)：管(guǎn)理容(róng)易
，運轉開始短(duǎn)時間內(nèi)即可達穩(wěn)定狀態
，不(bù)易為(wéi)作(zuò)業(yè)狀態(tài)或作業人(rén)員所影(yǐng)響。
缺點：構(gòu)造費(fèi)用較(jiào)高(gāo)
，彈(dàn)性(xìng)運(yùn)用空(kōng)間困難(nán)
，天(tiān)花板之(zhī)吊(diào)架相當占空(kōng)間
，維(wéi)修更(gēng)換(huàn)過濾器較(jiào)麻(má)煩(fán)。
3，復(fù)合(hé)式(shì)(Mixed Type)：
復合式為將亂(luàn)流式及(jí)層流(liú)式予(yú)以復合或並用
，可(kě)提(tí)供局部(bù)超(chāo)潔(jié)淨之空氣(qì)。 
（1）無(wú)塵(chén)車(chē)間(jiān)潔(jié)淨隧(suì)道(Clean Tunnel)：以(yǐ)HEPA或(huò)ULPA過濾器(qì)將製程(chéng)區(qū)域或工(gōng)作(zuò)區(qū)域(yù)100%覆蓋(gài)使潔淨度等(děng)級提(tí)高(gāo)至10級以上
，可(kě)節(jié)省安裝運轉費(fèi)用。此(cǐ)型式需將作業人員(yuán)之(zhī)工(gōng)作區與產(chǎn)品和機(jī)器維(wéi)修予以隔(gé)離
，以避(bì)免機(jī)器(qì)維(wéi)修時(shí)影(yǐng)響(xiǎng)了(liǎo)工(gōng)作及品質(zhì)
，ULSI製程大都采(cǎi)用(yòng)此(cǐ)種(zhǒng)型式。潔(jié)淨隧道另(lìng)有(yǒu)二(èr)項(xiàng)優(yōu)點：A.彈性(xìng)擴(kuò)充(chōng)容易； B.維(wéi)修設備(bèi)時可在(zài)維修區輕(qīng)易(yì)執行。
（2）無塵(chén)車間潔淨管道(Clean Tube)：將產品流程經過的(dí)自動生產(chǎn)綫(xiàn)包(bāo)圍並(bìng)淨(jìng)化(huà)處理(lǐ)
，將(jiāng)潔淨度等(děng)級(jí)提至100級以上(shàng)。因產品和作(zuò)業員及發塵(chén)環境相互隔離
，少量(liáng)之送風即可(kě)得(dé)到良好(hǎo)之潔(jié)淨(jìng)度
，可(kě)節省(shěng)能源(yuán)
，不需(xū)人工(gōng)的自(zì)動化生(shēng)產(chǎn)綫為zui適(shì)宜(yí)使用。藥品，食(shí)品業(yè)界及半導(dǎo)體業界(jiè)均(jūn)適(shì)用(yòng)。
（3）無塵車間並裝局部潔淨室(Clean Spot)：將(jiāng)潔淨室(shì)等(děng)級10,000~100,000之(zhī)亂流潔淨室內(nèi)之(zhī)產品製(zhì)程(chéng)區的潔淨度等級(jí)提高(gāo)為(wéi)10~1000級以(yǐ)上(shàng)
，以為生(shēng)產之(zhī)用；即(jí)屬此類。
潔淨工作(zuò)台：等級Class 1~100級。
潔淨(jìng)工(gōng)作棚(péng)：為(wéi)在(zài)亂流式之潔淨(jìng)室(shì)空(kōng)間(jiān)內(nèi)以防靜電(diàn)之(zhī)透明塑(sù)料(liào)布圍成一(yī)小空間
，采(cǎi)用(yòng)獨立之HEPA或ULPA及空調(tiáo)送(sòng)風機組(zǔ)而成為(wéi)一(yī)較之潔(jié)淨空間
，其(qí)等(děng)級為10~1000級(jí)
，高度(dù)在2.5米左右
，覆(fù)蓋麵(miàn)積約(yuē)10M2以下
，四(sì)支支柱並(bìng)加裝活動輪
，可(kě)為彈性運(yùn)用。