一(yī)，無塵(chén)室(shì)用材的(dí)選擇
1.必(bì)須(xū)仔細選擇無(wú)塵(chén)室的各種用材(cái)，確(què)保它(tā)們不(bù)會對(duì)室內(nèi)造成(chéng)汙染。無塵(chén)室內經(jīng)常使用(yòng)的(dí)材料(liào)與(yǔ)設備舉例如下：
1)生產中使(shǐ)用(yòng)的材料：在(zài)微電子(zǐ)工業中使用的(dí)矽(guī)晶片；
2)產品(pǐn)包裝材料：如(rú)玻(bō)璃瓶(píng)，塑料(liào)瓶，塑(sù)料袋(dài)，預製的(dí)盒子(zǐ)等；
3)工(gōng)藝設備和機器；
4)對設(shè)備和(hé)機器(qì)進行維(wéi)修，校準，修(xiū)理的工(gōng)具以及(jí)轉動設備的潤滑劑等；
5)人(rén)員(yuán)服(fú)裝，如(rú)潔(jié)淨(jìng)工作(zuò)服(fú)，手(shǒu)套(tào)，指套(tào)，口罩，頭(tóu)罩(zhào)等；
6)無(wú)塵室清潔用品(pǐn)，如抹布與拖(tuō)把；
7)消耗性用品，如書(shū)寫紙(zhǐ)張(zhāng)，圓(yuán)珠(zhū)筆，標簽，棉(mián)簽。
在(zài)大多數(shù)無(wú)塵(chén)室(shì)中粒子(zǐ)和纖維都是(shì)環境(jìng)汙染(rǎn)的主要(yào)來(lái)源(yuán)。所(suǒ)以，應避免(miǎn)在生(shēng)產(chǎn)工(gōng)藝(yì)中(zhōng)使(shǐ)用容易破(pò)損或散發(fā)粒子的(dí)材(cái)料。其表(biǎo)麵(miàn)帶(dài)有粒子和(hé)纖維(wéi)的(dí)材料也應(yīng)避免使用。
在半導體工業(yè)中，產品表麵(miàn)的(dí)化學品(pǐn)和空(kōng)氣環境(jìng)中的某些氣體(tǐ)分子(zǐ)可(kě)能(néng)形成的(dí)化合(hé)物，會沉積在(zài)半導體的表(biǎo)麵(miàn)上，它們可能影響(xiǎng)產(chǎn)品質量，甚至損壞半導(dǎo)體(tǐ)芯(xīn)片。
在一(yī)些無(wú)塵室(shì)中，那些(xiē)無法將(jiāng)靜(jìng)電不斷地傳導開(kāi)的(dí)材(cái)料，可能(néng)會因為靜電(diàn)荷的(dí)積(jī)累(léi)和放電(diàn)使那些對靜(jìng)電(diàn)敏(mǐn)感(gǎn)產品會受(shòu)到(dào)損(sǔn)壞(huài)。此外，靜電(diàn)還會使(shǐ)材(cái)料產生靜(jìng)電吸附效應(yīng)而吸附粒(lì)子，造成汙(wū)染問題(tí)。
選擇用於無塵(chén)室內(nèi)的生(shēng)產(chǎn)材(cái)料，不僅僅要(yào)著(zhuó)眼(yǎn)於適(shì)合(hé)於(yú)生產(chǎn)工(gōng)藝，而且也應關注是否(fǒu)有(yǒu)可能(néng)產生(shēng)汙染。顯(xiǎn)然對(duì)那些(xiē)既可(kě)能構(gòu)成汙染，但(dàn)又是(shì)生產所需的(dí)材(cái)料和物品(pǐn)，隻有(yǒu)在缺(quē)之(zhī)不可(kě)的情況(kuàng)下才能使(shǐ)用(yòng)，或隻(zhī)有(yǒu)在(zài)已(yǐ)經充分認識(shí)到了這些材料產生汙染(rǎn)的(dí)問題(tí)，並考(kǎo)慮了其(qí)他替代(dài)材料但(dàn)又確(què)實(shí)都不(bù)適合後(hòu)，才可使(shǐ)用。
2.以下(xià)所列舉的部分乃至全部物(wù)品，因(yīn)其會造(zào)成(chéng)無塵(chén)室的嚴(yán)重(zhòng)汙(wū)染，根據產品對汙染的敏感(gǎn)性不同，一(yī)般禁(jīn)止(zhǐ)在無塵室中(zhōng)使用(yòng)。
1) 非無塵室(shì)紙，如(rú)果(guǒ)一(yī)定要(yào)使(shǐ)用普通(tōng)紙，應(yīng)將其放入塑料袋內(nèi)或(huò)采用(yòng)雙(shuāng)麵熱(rè)塑；
2) 鉛筆與(yǔ)橡皮，墨水(shuǐ)中(zhōng)含(hán)有(yǒu)汙染無塵(chén)室環(huán)境的化學(xué)品，纖維頭書(shū)寫筆或(huò)者會(huì)劃(huá)紙的圓珠(zhū)筆，修改液(yè)；
3) 用低碳(tàn)鋼或其他會(huì)生(shēng)鏽，磨蝕(shí)，氧(yǎng)化的材料(liào)製成的(dí)物(wù)品；
4) 用機器加工或(huò)處理時會冒(mào)煙或破損(sǔn)的(dí)物品(pǐn)；
5) 用(yòng)木(mù)頭(tóu)，橡(xiàng)膠，紙張，皮(pí)革，毛，棉及其(qí)他(tā)天(tiān)然(rán)材料製成的易(yì)破損物品(pǐn)；
6) 研(yán)磨材(cái)料或粉(fěn)末(mò)，產(chǎn)生(shēng)氣溶膠(jiāo)的(dí)瓶(píng)瓶罐(guàn)罐；
7) 不適合於(yú)在(zài)無(wú)塵室中使用的(dí)一(yī)次(cì)性(xìng)物品，如(rú)棉(mián)簽(qiān)，膠(jiāo)帶(dài)，標簽；
8) 無塵(chén)室人(rén)員不得將個(gè)人物(wù)品(pǐn)帶(dài)入無塵室內(nèi)。
二(èr)，外部供應的物品(pǐn)及(jí)其(qí)包(bāo)裝
1.外供物(wù)品宜在潔淨(jìng)環(huán)境中產生
供應無塵室(shì)的物品要求在潔(jié)淨(jìng)環(huán)境中生(shēng)產，其潔淨度標準(zhǔn)宜(yí)與產(chǎn)品(pǐn)所(suǒ)供(gōng)應的(dí)無塵室相同(tóng)。如果外(wài)部供應物(wù)品(pǐn)交付時不能達(dá)到適當(dāng)的(dí)清潔水準，則必(bì)須(xū)在無(wú)塵室中對其(qí)加(jiā)以清潔，但(dàn)這樣做的效(xiào)果可能差些。有越來越多的公(gōng)司(sī)在潔(jié)淨環(huán)境(jìng)中製(zhì)造(zào)供(gōng)應(yīng)無塵室(shì)生(shēng)產所需的零部(bù)件，無塵室管理人員(yuán)應該向本(běn)企(qǐ)業采購(gòu)部(bù)門(mén)強調，要(yào)關(guān)注無(wú)塵室物(wù)品(pǐn)供(gōng)應商的(dí)生產(chǎn)環境(jìng)。應盡量(liáng)選擇(zé)質優價(jià)廉，又(yòu)是在相(xiāng)應(yīng)潔淨環(huán)境中(zhōng)生(shēng)產(chǎn)的(dí)無(wú)塵(chén)室(shì)用(yòng)品，以(yǐ)保證(zhèng)本企(qǐ)業潔 淨(jìng)室的(dí)潔淨(jìng)度和減少(shǎo)清(qīng)潔(jié)外供(gōng)物(wù)品的耗(hào)費。
參觀考(kǎo)察(chá)供應(yīng)商的生產設施並檢(jiǎn)查其(qí)生產(chǎn)環境是很必(bì)要的(dí)。外(wài)供(gōng)物品(pǐn)生(shēng)產廠家可(kě)能(néng)並(bìng)不(bù)熟(shú)悉(xī)無塵室技術。所(suǒ)以，對(duì)他們的生產工藝的(dí)一些簡(jiǎn)單建議(yì)和(hé)改進，就可能產(chǎn)生(shēng)不(bù)錯(cuò)的效果。即(jí)使製造廠家不具備潔淨(jìng)生產(chǎn)環境(jìng)，但隻要(yào)有較高水(shuǐ)平的(dí)潔淨管(guǎn)理(lǐ)條件，使(shǐ)用無(wú)塵室(shì)用的(dí)手(shǒu)套，抹布，不起毛的服裝(zhuāng)等(děng)，也(yě)可大(dà)大提高(gāo)產品的(dí)質量。
2.外(wài)供(gōng)物(wù)品的包裝材料
應(yīng)注意(yì)產品(pǐn)的存(cún)儲(chǔ)和(hé)包裝(zhuāng)。如(rú)果加工的產(chǎn)品從生(shēng)產(chǎn)設(shè)備(bèi)上(shàng)取下(xià)後(hòu)立(lì)即用合適的(dí)潔淨包裝(zhuāng)方(fāng)式包(bāo)裝好，則(zé)周圍(wéi)較差的生產環境(jìng)對產(chǎn)品的影(yǐng)響就可(kě)以降(jiàng)至zui小(xiǎo)。
外(wài)供物品(pǐn)的包(bāo)裝(zhuāng)方法(fǎ)和(hé)包(bāo)裝(zhuāng)材(cái)料(liào)必須考慮所供應(yīng)的(dí)無(wú)塵室(shì)的(dí)潔淨度等級，包裝的(dí)尺度，外(wài)形均(jūn)應符合(hé)貯(zhù)藏(cáng)，運(yùn)輸，開(kāi)箱過程(chéng)中防(fáng)汙染(rǎn)的要求，對(duì)包(bāo)裝材料的主(zhǔ)要(yào)要(yào)求(qiú)有(yǒu)以(yǐ)下幾(jī)點：
1)包裝(zhuāng)材料(liào)的無(wú)汙(wū)染(rǎn)性：要(yào)求包裝材(cái)料本身(shēn)不產(chǎn)生(shēng)粒子(zǐ)，纖維(wéi)，汙染(rǎn)氣(qì)體(tǐ)及(jí)蒸汽等(děng)， 不明顯地帶(dài)靜(jìng)電(diàn)，不(bù)與包(bāo)裝(zhuāng)品(pǐn)產生化學反應；
2)包裝(zhuāng)材(cái)料(liào)必(bì)須使(shǐ)用能夠清潔(jié)到包裝(zhuāng)物品所要求的潔淨度(dù)的材料(liào)；
3)材(cái)料(liào)的(dí)強度及耐久性(xìng)：包裝材料(liào)應(yīng)承受溫(wēn)濕度(dù)，外部作(zuò)用(yòng)力(lì)和紫外(wài)綫等(děng)影響，能夠保證(zhèng)所(suǒ)要(yào)求的(dí)密封性，避免(miǎn)運輸，存(cún)放過程(chéng)中(zhōng)破損而(ér)汙(wū)染(rǎn)，以致(zhì)將(jiāng)汙(wū)染(rǎn)帶入(rù)無(wú)塵室中。
無塵室外(wài)供(gōng)用品(pǐn)的良好(hǎo)包裝(zhuāng)，不僅可以避免(miǎn)產品在(zài)運(yùn)輸途中的損壞，也可以zui大限度地避(bì)免產品(pǐn)受(shòu)到外部(bù)環境的汙染(rǎn)。常使用(yòng)的(dí)塑(sù)料(liào)材料(liào)為塑料(liào)薄(báo)膜(mó)或(huò)預(yù)製的(dí)包(bāo)裝塑料。塑(sù)料(liào)材料與其他許多材料(liào)相(xiāng)比(bǐ)，粒(lì)子，纖維(wéi)，化學汙染較少。塑(sù)料汙染的(dí)大(dà)小取決於所使(shǐ)用的(dí)塑(sù)料(liào)種類，製造方(fāng)法以(yǐ)及(jí)包裝(zhuāng)方式。所(suǒ)以(yǐ)，對所(suǒ)用塑(sù)料(liào)包(bāo)裝(zhuāng)是(shì)否適宜也要(yào)進行(háng)檢驗。有(yǒu)些塑(sù)料會(huì)產生靜(jìng)電(diàn)，從而(ér)可能損壞產(chǎn)品(pǐn)。如(rú)果使(shǐ)用(yòng)防靜(jìng)電(diàn)塑料(liào)，它對(duì)粒子(zǐ)及纖維的(dí) 吸附作用也較小(xiǎo)，因此(cǐ)也更(gēng)潔淨(jìng)。如(rú)果需(xū)要(yào)控(kòng)製分(fēn)子汙染的(dí)話，則(zé)有(yǒu)些塑料包裝材料（如 PVC包裝(zhuāng)材(cái)料(liào)），可(kě)能(néng)就不適用了(liǎo)。
3.外供物品的(dí)包裝(zhuāng)方式
還要(yào)考慮的(dí)是(shì)需要幾(jī)層包裝。如(rú)果(guǒ)無塵室用的(dí)物品采用的是(shì)多層(céng)包裝，就可(kě)以在其運(yùn)往(wǎng)無塵室的(dí)過(guò)程(chéng)中(zhōng)一(yī)次打開一層逐步拆裝，這(zhè)就(jiù)可(kě)以保(bǎo)證物品送至無塵(chén)室(shì)時(shí)是較潔(jié)淨(jìng)的。對外包(bāo)裝(zhuāng)用真空(kōng)吸(xī)塵(chén)器吸掃(sǎo)外表麵及用潮(cháo)濕(shī)抹(mǒ)布擦(cā)拭，有助於(yú)保持其清(qīng)潔(jié)，特別是(shì)在將(jiāng)產(chǎn)品運往(wǎng)無(wú)塵室的(dí)開(kāi)始階(jiē)段，尤(yóu)其(qí)如此(cǐ)。隨著產品逐步(bù)進入(rù)無(wú)塵(chén)室(shì)，外包(bāo)裝也變(biàn)得越來(lái)越(yuè)潔淨，相(xiāng)對(duì)而言外(wài)包(bāo)裝的清潔(jié)工作就顯得不那麼必(bì)要了。
包裝(zhuāng)物品(pǐn)有各種各(gè)樣(yàng)的正確(què)方法(fǎ)。不(bù)同的物品，不(bù)同(tóng)的(dí)用途，材料傳遞氣閘(zhá)室(shì)的(dí)不(bù)同(tóng)設(shè)計(jì)等使(shǐ)得包裝(zhuāng)方法也(yě)有很大區(qū)別(bié)。所以，無塵室(shì)的管理(lǐ)人員(yuán)必(bì)須規定適用的包(bāo)裝材(cái)料(liào)，規定所需(xū)物品在(zài)進入(rù)無(wú)塵室的(dí)過程中(zhōng)對包(bāo)裝進行清潔和(hé)打(dǎ)開各層包(bāo)裝的規(guī)程。
三，通(tōng)過氣(qì)閘室(shì)傳(chuán)遞(dì)物品(pǐn)和(hé)小件設(shè)備(bèi)
任(rèn)何無塵室都不免要(yào)和其(qí)他(tā)低潔淨(jìng)級別區或非潔淨區(qū)發生(shēng)物(wù)品傳遞(dì)的(dí)情況，減少傳(chuán)遞過(guò)程中(zhōng)汙染物的侵入是(shì)重要(yào)的日常管(guǎn)理工(gōng)作(zuò)。通(tōng)常使用氣(qì)閘(zhá)室(shì)，緩衝間(jiān)以(yǐ)避(bì)免(miǎn)無(wú)塵(chén)室(shì)外(wài)的空氣直(zhí)接進入無塵室(shì)內。在(zài)氣(qì)閘(zhá)室的兩(liǎng)個(gè)門均(jūn)關閉(bì)時(shí)，從外走(zǒu)廊在開(kāi)門(mén)時(shí)侵入(rù)的汙染以(yǐ)及(jí)使(shǐ)用氣閘室(shì)的人所(suǒ)散(sàn)發(fā)出的汙染，均(jūn)被(bèi)氣(qì)閘室的送(sòng)風(fēng)所稀釋(shì)。材(cái)料(liào)傳(chuán)遞氣閘室(shì)的(dí)兩(liǎng)個(gè)門如同人(rén)身淨化的(dí)吹淋(lín)室一(yī)樣，一般(bān)都是聯鎖(suǒ)的。這樣就可以確保(bǎo)一扇門關閉(bì)之(zhī)前(qián)另(lìng)一(yī)扇(shàn)門是不能打開的，可(kě)采用(yòng)電(diàn)氣聯(lián)鎖(suǒ)，也(yě)可以(yǐ)是機(jī)械聯鎖。這樣(yàng)就(jiù)可(kě)以防止外(wài)部較低潔(jié)淨級(jí)別(bié)或非(fēi)受控區(qū)的(dí)空氣直接(jiē)進人(rén)無(wú)塵室(shì)。粘(nián)墊則(zé)放(fàng)在氣閘(zhá)室人口處(chǔ)，或者(zhě)氣(qì)閘室(shì)內。粘墊(diàn)的(dí)作用是防止(zhǐ)鞋底或(huò)推車輪(lún)子(zǐ)上(shàng)粘附(fù)的汙(wū)染(rǎn)轉移到無塵室(shì)內(nèi)。氣(qì)閘室(shì)也用(yòng)來防(fáng)止材(cái)料表麵及其(qí)包裝(zhuāng)上(shàng)的(dí)汙(wū)染(rǎn)物(wù)帶(dài)入(rù)無(wú)塵室(shì)。以(yǐ)下介紹了兩(liǎng)種(zhǒng)通過氣閘室(shì)傳遞(dì)材料(liào)的方法(fǎ)。一種是“有(yǒu)台”式(shì)材料(liào)物(wù)品傳遞氣(qì)閘室(shì)；另一種是(shì)“無(wú)台(tái)”式材(cái) 料物(wù)品傳(chuán)遞(dì)氣閘(zhá)室。可(kě)根(gēn)據所(suǒ)傳遞的(dí)材(cái)料(liào)物(wù)品(pǐn)及(jí)傳(chuán)遞的安全(quán)性(xìng)選(xuǎn)用。
1.帶傳遞(dì)台(tái)的氣閘(zhá)式傳遞室
“有台(tái)”式(shì)材(cái)料物遞氣閘(zhá)室(shì)是將(jiāng)供(gōng)應品安(ān)全(quán)地(dì)傳遞(dì)進(jìn)無(wú)塵室(shì)的方法之(zhī)一。這種方式就(jiù) 是(shì)由傳遞(dì)台(tái)將氣閘室(shì)分成(chéng)“較髒”與“清(qīng)潔”兩個區，這種方法(fǎ)適(shì)用(yòng)於傳遞(dì)較(jiào)輕，可(kě)以由人(rén)力(lì)搬(bān)動的材料和設備。
使用(yòng)傳(chuán)遞台傳遞(dì)物(wù)品的(dí)方(fāng)法(fǎ)如(rú)下：
1)清潔傳(chuán)遞台：先將(jiāng)非(fēi)受控(kòng)區一(yī)側(cè)的門(mén)打開(kāi)，搬運(yùn)材料(liào)或設(shè)備的(dí)人員(yuán)，從較(jiào)低潔淨級別或非受控區(qū)進入氣閘室。氣(qì)閘室(shì)地(dì)麵鋪(pū)有(yǒu)粘墊(diàn)或粘毯，這樣，從(cóng)外(wài)麵地(dì)板向內(nèi)轉(zhuǎn)移的(dí) 汙染就(jiù)可以zui少(shǎo)。搬運(yùn)人(rén)員(yuán)按(àn)規定(dìng)方(fāng)法對(duì)傳(chuán)遞(dì)台(tái)進行清(qīng)潔，必(bì)要(yào)時(shí)對其進行消毒，進(jìn)行清潔工作時要(yào)注意，較長的傳(chuán)遞台麵被分為兩(liǎng)個(gè)區域，靠無塵室一側為“清(qīng)潔(jié)”區，靠(kào)較低(dī)潔淨(jìng)級(jí)別(bié)或非受控區一(yī)側為(wéi)“拆包(bāo)”區。
2)送入傳(chuán)遞物品(pǐn)並拆(chāi)包(bāo)：完成清潔工(gōng)作後(hòu)，搬運(yùn)人員將(jiāng)帶包裝(zhuāng)的物品送人氣(qì)閘室。但不得把紙板箱的包(bāo)裝(zhuāng)材(cái)料(liào)帶(dài)入氣(qì)閘室內，因(yīn)為它們會(huì)散(sàn)發(fā)較多粒(lì)子，易(yì)造(zào)成交(jiāo)叉汙染(rǎn)。 將帶(dài)著塑(sù)料(liào)包裝的物(wù)品送(sòng)人(rén)氣閘(zhá)室(shì)後(hòu)，將其(qí)放置(zhì)在傳遞(dì)台的(dí)“拆包”區(qū)一(yī)側(cè)，即所謂(wèi)的 “帶包裝(zhuāng)”側或(huò)“髒(zàng)”側(cè)。隨即對包(bāo)裝(zhuāng)進(jìn)行清(qīng)潔，然後拆開包裝。其(qí)具(jù)體清潔(jié)方(fāng)法根據使用物品的無(wú)塵室的標準(zhǔn)而定，別潔淨(jìng)室要求(qiú)“精潔淨(jìng)”，一(yī)般無塵室要求則略低(dī)。然 後把物品(pǐn)放置於傳遞台的另(lìng)一側，即所謂的“包裝(zhuāng)已拆”側或“潔淨”側。將物(wù)品從外部區域送人氣閘(zhá)室內(nèi)的(dí)人員(yuán)攜帶(dài)裝置(zhì)外包(bāo)裝的(dí)容器(qì)，關(guān)上通(tōng)往(wǎng)外部(bù)區域(yù)的(dí)門(mén)，離(lí)開氣(qì)閘(zhá)室(shì)。
3)氣(qì)閘(zhá)室充分(fēn)自淨(jìng)：讓(ràng)氣閘(zhá)室處在(zài)無人(rén)狀態下數分(fēn)鐘的時間(jiān)，以便將汙染降(jiàng)至這(zhè)樣(yàng) 的濃(nóng)度(dù)：當無塵室一(yī)邊(biān)的門(mén)打開時，無塵(chén)室不會受到(dào)大(dà)的影(yǐng)響。為實(shí)現這一目的，可(kě)安裝內外門的(dí)聯鎖計時裝置或指示燈(dēng)。當(dāng)無(wú)塵室(shì)側門(mén)自動打(dǎ)開或(huò)指示燈點亮(liàng)後，無(wú)塵室(shì)的人(rén)員(yuán)進人(rén)氣閘(zhá)室，拿起物品後(hòu)離(lí)開(kāi)氣(qì)閘(zhá)室。
2.無(wú)傳遞(dì)台的傳遞區
如(rú)果(guǒ)需(xū)要將大(dà)的重型(xíng)設備或機(jī)器進(jìn)出(chū)無塵室，則常常使(shǐ)用不帶(dài)傳(chuán)遞台的氣(qì)閘室。但(dàn)不帶(dài)傳(chuán)遞台的(dí)氣閘(zhá)室(shì)作(zuò)為(wéi)傳遞區(qū)使用時(shí)，其安(ān)全(quán)度(dù)一(yī)般低於帶傳(chuán)遞(dì)台(tái)的氣閘室(shì)。
其(qí)工作程序如(rú)下(xià)：拆(chāi)除用紙(zhǐ)箱(xiāng)等(děng)包(bāo)裝(zhuāng)的(dí)無(wú)塵室(shì)用(yòng)品放在(zài)一清淨小車上(shàng)。小(xiǎo)車從(cóng)外部的非(fēi)受(shòu)控區(qū)推入傳遞(dì)用(yòng)氣閘室，人(rén)員隨即離開。來自無(wú)塵(chén)室的(dí)人(rén)員進入(rù)氣閘(zhá)室並取(qǔ)到供(gōng)應的材(cái)料。如(rú)果該(gāi)材(cái)料 較(jiào)重，不(bù)得不(bù)將(jiāng)小(xiǎo)車推入無(wú)塵室(shì)。在(zài)將(jiāng)小(xiǎo)車推(tuī)人無塵室以前(qián)，必須(xū)在氣閘室(shì)內對(duì)其進(jìn)行(háng)清潔。如(rú)果材料不(bù)那麼重(zhòng)的話，則(zé)可將(jiāng)材料(liào)轉移到從無(wú)塵(chén)室推過(guò)來(lái)無塵室的材料轉運(yùn)小(xiǎo)車(chē)上(shàng)。清潔或(huò)拆除材(cái)料(liào)的包(bāo)裝(zhuāng)，或先清潔再(zài)拆除(chú)包裝(zhuāng)。然後(hòu)，將(jiāng)載(zǎi)有材(cái)料(liào)的潔(jié)淨(jìng)小(xiǎo)車推入無塵室，無塵(chén)室的門隨後關(guān)閉(bì)。如果有物(wù)品需要帶(dài)出(chū)，外(wài)來的小車可(kě)暫時留(liú)在氣閘室。如(rú)果(guǒ)有更多的(dí)供應物品(pǐn)需要運入(rù)，外來的小車即可(kě)離開氣閘(zhá)室(shì)。當(dāng)把無塵(chén)室的(dí)小車(chē)推人無(wú)塵室前，可以考慮使(shǐ)用無塵室粘墊或(huò)粘毯(tǎn)清除小(xiǎo)車輪子上的汙(wū)染物。
四，無塵室固(gù)定(dìng)設備(bèi)的(dí)進入(rù)，安(ān)裝與維(wéi)修
對(duì)於那些(xiē)進(jìn)入無塵(chén)室就位後(hòu)就同(tóng)定不動(dòng)或(huò)相對同(tóng)定的大型設備，例(lì)如無(wú)塵(chén)室生(shēng)產工藝(yì)用(yòng)的自動機械加工(gōng)設(shè)備，隔(gé)離(lí)性裝(zhuāng)置，排風罩(zhào)等，這類(lèi)固(gù)定設備通(tōng)常(cháng)處在無塵(chén)室(shì)關(guān)鍵工序(xù) 的周圍，它(tā)們一旦(dàn)被(bèi)安裝(zhuāng)到位(wèi)，再次(cì)移動不僅(jǐn)十(shí)分(fēn)困難(nán)，並對(duì)無塵室(shì)的環境條(tiáo)件也影(yǐng)響較大。對於這(zhè)類無(wú)塵(chén)室(shì)的大(dà)型設備，首先要(yào)求(qiú)供(gōng)貨商在(zài)生(shēng)產(chǎn)製造(zào)時，務必在潔淨環境(jìng)中，而(ér)且其(qí)包(bāo)裝材(cái)料，方(fāng)法也應(yīng)符合無(wú)塵室(shì)的要(yào)求。
1.固定設(shè)備(bèi)進(jìn)入的(dí)程(chéng)序
為了(liǎo)避(bì)免(miǎn)發(fā)生(shēng)大型固定(dìng)設(shè)備(bèi)進入(rù)“動(dòng)態(tài)”無塵(chén)室(shì)，也就是(shì)說無塵(chén)室(shì)已(yǐ)投(tóu)付正(zhèng)式(shì)運行(háng)， 還(huán)要(yào)進入(rù)大(dà)型(xíng)固(gù)定(dìng)設(shè)備，應(yīng)該在管(guǎn)理計(jì)劃中盡(jìn)可能排(pái)出。因(yīn)為(wéi)在(zài)這種(zhǒng)特(tè)殊情(qíng)況下，無塵室按(àn)ISO14644-2 “證明(míng)持續(xù)符合(hé)ISO14644 -1的(dí)測(cè)試(shì)和(hé)監測技術條(tiáo)件(jiàn)”的(dí)規定要重新(xīn)認證(zhèng)無(wú)塵室，其(qí)工(gōng)作(zuò)是相當繁(fán)雜(zá)的。
正常情(qíng)況(kuàng)下，通常(cháng)是在(zài)空(kōng)態(tài)或靜態條件下將固定設(shè)備(bèi)送(sòng)入(rù)。把(bǎ)設備送入無(wú)塵室(shì)時，應該關(guān)注(zhù)的問題是：整(zhěng)個過程都不(bù)應(yīng)增(zēng)加(jiā)對環境的(dí)汙染(rǎn)。
解(jiě)決大(dà)型部件運進運出(chū)的辦(bàn)法(fǎ)就是設計(jì)一個(gè)大(dà)型(xíng)物(wù)流氣閘(zhá)室。它足(zú)以將每(měi)件(jiàn)設備運(yùn)進(jìn)運(yùn)出(chū)無塵室(shì)。如果(guǒ)條件允許，設(shè)計(jì)無塵室(shì)時，宜考(kǎo)慮采納(nà)這個(gè)方案(àn)。
設備進出無塵(chén)室(shì)的另一(yī)設計方案(àn)是在無塵(chén)室的牆(qiáng)上開一(yī)組雙門(mén)，大得(dé)足以容納機器(qì)，大型(xíng)設備(bèi)件的通行。由於這樣的通道(dào)有可能(néng)直接與外走廊(láng)相(xiāng)通，因(yīn)此必須(xū)鎖住，隻有設備需要進入時才打開。有些(xiē)類型的牆板(bǎn)模(mó)塊(kuài)可以(yǐ)取下來(lái)再(zài)安裝(zhuāng)好又不(bù)對(duì)牆造(zào)成(chéng)損壞，這樣的話(huà)，就不需(xū)要另開門(mén)洞。
2.可在無塵(chén)室內(nèi)牆(qiáng)一(yī)側(cè)建一個(gè)臨(lín)時(shí)氣閘室
所(suǒ)有準備(bèi)進入的(dí)設(shè)備(bèi)都要檢查在運輸(shū)中有無(wú)損(sǔn)壞(huài)，有(yǒu)損壞的(dí)設(shè)備(bèi)應該(gāi)在無塵室(shì)外隔離(lí)保(bǎo)護(hù)起來，待供貨(huò)商修復或(huò)另行處(chǔ)理(lǐ)。運輸(shū)用的(dí)板條箱(xiāng)，硬紙板等(děng)應該在鄰近無塵(chén)室的未受(shòu)控區內拆封，然後再(zài)運(yùn)進(jìn)受控環(huán)境。如果(guǒ)沒有(yǒu)包裝(zhuāng)，則設備的(dí)所有(yǒu)表麵(miàn)都應該(gāi)予以(yǐ)清(qīng)潔，然後再運(yùn)進(jìn)潔淨區。理想的方法(fǎ)是在設(shè)備氣閘室(shì)內進(jìn)行設備(bèi)清潔，當設備(bèi)過大時，宜(yí)於(yú)在氣(qì)閘室或無塵室(shì)附(fù)近(jìn)臨時(shí)專(zhuān)門(mén)修(xiū)建的(dí)房間內拆(chāi)掉(diào)zui外麵的薄(báo)膜(mó)材料，作(zuò)進人(rén)無塵室(shì)前的(dí)清潔工作。
拆包步(bù)驟(zhòu)如(rú)下(xià)：
1)對(duì)設(shè)備(bèi)外護(hù)層(céng)用吸(xī)塵(chén)設備進行清潔，從(cóng)頂(dǐng)部開始，向(xiàng)兩側(cè)擴展(zhǎn)；
2)用(yòng)適(shì)當的清潔(jié)劑擦拭(shì)外護層(céng)；
3)從設(shè)備外護(hù)層的(dí)頂部(bù)撕開(kāi)一(yī)個“工”型或“X”形(xíng)切口，從(cóng)頂部(bù)向(xiàng)下剝離外(wài)護層(céng)；
4)如果有(yǒu)多(duō)層包(bāo)裝，每(měi)層包裝膜(mó)都要(yào)按2)，3)程(chéng)序(xù)重(zhòng)復進行；
5)所有運(yùn)送(sòng)設備人(rén)員(yuán)進(jìn)入氣(qì)閘室前都要穿上(shàng)適當(dāng)的潔淨(jìng)服；
6)所有移動用，搬運用的設(shè)備(bèi)都(dū)應在(zài)氣(qì)閘室內(nèi)進(jìn)行(háng)清(qīng)潔(jié)；
7)在(zài)打開(kāi)氣閘(zhá)室靠無(wú)塵室一(yī)側(cè)的門運入設備前(qián)，應先清潔氣(qì)閘室。
3.通過傳遞窗(chuāng)傳(chuán)遞(dì)材(cái)料
除了物流(liú)氣閘(zhá)室外，還(huán)有其(qí)他(tā)方法可(kě)將(jiāng)材料(liào)傳遞入(rù)無塵(chén)室(shì)內供使用。將小(xiǎo)型的物(wù)件傳 進傳(chuán)出(chū)無(wú)塵室(shì)通(tōng)用的辦(bàn)法(fǎ)就(jiù)是(shì)使用(yòng)傳遞(dì)窗(chuāng)。傳(chuán)遞窗的(dí)工作(zuò)方式與(yǔ)物流(liú)氣(qì)閘室(shì)相似，將物品傳(chuán)遞(dì)入無(wú)塵(chén)室，大(dà)致(zhì)通過下述的步驟(zhòu)：
1)在(zài)無(wú)塵室外(wài)麵(miàn)的(dí)人員打(dǎ)開傳遞(dì)窗(chuāng)的小門，對(duì)傳遞(dì)窗(chuāng)進行清(qīng)潔；
2)打開(kāi)物(wù)品的一(yī)層(céng)包裝(zhuāng)，將(jiāng)物品放(fàng)入傳(chuán)遞窗(chuāng)內；
3)關(guān)閉傳(chuán)遞(dì)窗的(dí)小門(mén)；
4)在傳遞(dì)窗另(lìng)一(yī)邊(biān)的(dí)人員打開傳遞窗(chuāng)的(dí)內門，取(qǔ)出(chū)物品。對取出的物(wù)品(pǐn)進行(háng)清(qīng)潔(jié)。 在汙染控製(zhì)要(yào)求嚴格的場(cháng)合(hé)，則(zé)再打開(kāi)物(wù)品的(dí)另(lìng)一層包裝。傳(chuán)遞窗(chuāng)一般都帶(dài)有電子(zǐ)或機械(xiè)的(dí)聯(lián)鎖裝置(zhì)，防止兩個(gè)小門被(bèi)同時打(dǎ)開(kāi)，這(zhè)樣可防(fáng)止外部空(kōng)氣(qì)流入(rù)無塵室。有(yǒu)時(shí)將傳遞(dì)窗建在與地(dì)麵水平的(dí)位(wèi)置，便(biàn)於(yú)較重(zhòng)的(dí)物品通(tōng)過(guò)傳遞窗(chuāng)。
4.固定設備(bèi)運入的機械
如有可(kě)能，大型設備(bèi)應該(gāi)臨時拆卸為能(néng)安全進(jìn)人無塵室(shì)的(dí)組件，使無塵室(shì)設備運(yùn)入(rù)過程的(dí)風險(xiǎn)降低(dī)。因為(wéi)這些大型裝(zhuāng)設搬(bān)運中(zhōng)，與無塵室圍(wéi)護結(jié)構表(biǎo)麵(miàn)接觸時，可(kě)能(néng)發(fā)生(shēng)磨損，撞傷，並產生(shēng)汙染。
所有用(yòng)於大設(shè)備(bèi)，組(zǔ)件(jiàn)的(dí)提升(shēng)，牽引或定(dìng)位的(dí)設備，在進(jìn)入(rù)無塵室前必(bì)須*清潔。這類設(shè)備(bèi)多數不是專為無(wú)塵室使(shǐ)用而設計，製(zhì)造(zào)的，應*地(dì)檢(jiǎn)驗有無(wú)膜屑，表麵剝落狀況或不(bù)宜(yí)進(jìn)入無(wú)塵室(shì)的材(cái)料。
通常宜用與(yǔ)無塵室級(jí)別相(xiāng)適(shì)應的塑(sù)料薄膜(mó)或帶(dài)子包裹或密封這(zhè)些設(shè)備的(dí)外表麵(miàn)。設備如橡膠輪，宜用(yòng)無塵室塑膠帶(dài)包(bāo)嚴，以免在地麵上下(xià)橡膠或塑料(liào)微(wēi)粒。
5.固定設備的(dí)安(ān)裝(zhuāng)程序(xù)
zui有(yǒu)效(xiào)的(dí)措施是(shì)在設(shè)備安(ān)裝(zhuāng)階(jiē)段用臨(lín)時的隔牆(qiáng)或隔斷(duàn)把設(shè)備所在(zài)位置與(yǔ)無塵室隔離開(kāi)來。為不妨(fáng)礙設(shè)備安裝(zhuāng)，在設(shè)備(bèi)周圍應(yīng)留(liú)出足夠(gòu)的空間，但(dàn)同(tóng)時(shí)也要(yào)注(zhù)意隔(gé)離(lí)區空間適度(dù)，不(bù)宜(yí)過(guò)大。操(cāo)作程(chéng)序及其他注意(yì)事(shì)項(xiàng)如下：
1) 設備應盡(jìn)可(kě)能通過服(fú)務通道(dào)或其他非關鍵區（non-criticalarea)進(jìn)人隔(gé)離(lí)區（dis- olation area),如不可能則(zé)應采(cǎi)取措(cuò)施盡量(liáng)減(jiǎn)少(shǎo)汙(wū)染。
2) 該隔離區的(dí)氣壓相(xiāng)對於周(zhōu)邊應維(wéi)持中(zhōng)性或負壓(yā)。*封(fēng)閉(bì)的隔離(lí)區則應(yīng)該截斷(duàn)區(qū)內的(dí)潔淨空(kōng)調送風，以減少(shǎo)安裝時產生(shēng)的(dí)汙染物(wù)向外(wài)擴(kuò)散(sàn)。 
3) 應(yīng)該事先製(zhì)定(dìng)計(jì)劃，明確(què)對(duì)隔(gé)離(lí)區和周(zhōu)圍(wéi)區(qū)域監控的(dí)方法和頻率，確(què)保能(néng)及(jí)時發現汙染物(wù)由隔(gé)離區(qū)向(xiàng)外滲透(tòu)的情況(kuàng)。
4) 設備就位(wèi)後，在架設各(gè)種動力(lì)設施，如(rú)電(diàn)，水，氣體(tǐ)，真(zhēn)空，壓(yā)縮空氣和排水(shuǐ)管(guǎn)道時，應采(cǎi)取措(cuò)施(shī)控(kòng)製操(cāo)作(zuò)過程產(chǎn)生的(dí)煙氣和殘(cán)渣，避免(miǎn)汙染(rǎn)周(zhōu)圍(wéi)的(dí)無(wú)塵室(shì)，也(yě)有(yǒu)助(zhù)於(yú)減輕(qīng)拆(chāi)除(chú)隔斷(duàn)時的清(qīng)潔工作(zuò)量。
5) 在(zài)設備安(ān)裝(zhuāng)工(gōng)作完成(chéng)後，清除(chú)隔離(lí)區(qū)內(nèi)的(dí)汙染(rǎn)，牆，地(dì)麵(miàn)，設(shè) 備(bèi)等所有表(biǎo)麵(miàn)都要用(yòng)真(zhēn)空吸(xī)塵(chén)器(qì)清掃，清理(lǐ)和擦(cā)拭(shì)。要(yào)特別注意設(shè)備護板(bǎn)後麵和(hé)下(xià)麵(miàn)區域的清潔。
6) 在隔離(lí)區清(qīng)潔工作完(wán)成後，可以進(jìn)行設備的(dí)試(shì)運行和(hé)設(shè)備(bèi)性能的初(chū)步(bù)測(cè)試，但zui後驗(yàn)收(shōu)的(dí)測試，則需要*具(jù)備無塵室(shì)的條件(jiàn)方(fāng)可(kě)。
7) 經(jīng)仔細(xì)分析，選定對無塵室內的(dí)正(zhèng)常工作幹擾zui少的時(shí)間拆(chāi)除隔斷牆。在(zài)小心(xīn)地(dì)拆(chāi)除隔斷牆(qiáng)的同(tóng)時(shí)，隔離區內原被(bèi)臨時阻斷(duàn)的送風口，開始恢復送入潔淨(jìng)空氣。此(cǐ)過(guò)程(chéng)中，宜(yí)於隨(suí)時監(jiān)測(cè)周邊離(lí)子(zǐ)濃度的變化。
8) 清理(lǐ)隔(gé)斷後，設備(bèi)所(suǒ)處(chǔ)位置恢(huī)復無塵室(shì)正(zhèng)常狀態，開(kāi)始對(duì)設(shè)備(bèi)內(nèi)部和(hé)關(guān)鍵工序部位進(jìn)行進一(yī)步(bù)清潔(jié)和(hé)作(zuò)投人(rén)使用(yòng)的準備(bèi)。
9) 對(duì)設(shè)備(bèi)所有(yǒu)內(nèi)腔(qiāng)和(hé)所有與產(chǎn)品接觸表(biǎo)麵，也(yě)包括(kuò)產(chǎn)品裝卸的表麵(miàn)，都(dū)要進行擦(cā)拭， 使之(zhī)達到要求的(dí)潔淨度水(shuǐ)平。設備清(qīng)潔順(shùn)序應是(shì)從頂(dǐng)到底(dǐ)。如(rú)果清潔(jié)過(guò)程中(zhōng)有(yǒu)顆粒(lì)物散出，則(zé)較大(dà)的粒子，在重力(lì)作(zuò)用下(xià)將落到(dào)設(shè)備底(dǐ)部或地(dì)麵(miàn)。
10) 再次清潔設備外(wài)部(bù)，其(qí)順序(xù)也是(shì)從頂至底。
11) 必(bì)要時，應檢(jiǎn)查產(chǎn)品(pǐn)或工藝(yì)要求(qiú)非(fēi)常關鍵區域的表麵粒子情(qíng)況(kuàng)。
6.固定(dìng)設(shè)備(bèi)的維護與(yǔ)維(wéi)修(xiū)
任(rèn)何(hé)設備(bèi)都需(xū)要定(dìng)期(qī)維(wéi)護(hù)或臨時維修。對此項工作的指(zhǐ)導(dǎo)原(yuán)則是(shì)：無論設備(bèi)進行維(wéi)護或維修(xiū)時(shí)，都(dū)不能(néng)造(zào)成對無(wú)塵(chén)室的(dí)汙(wū)染。維護，維修工作(zuò)完成後要清(qīng)除設(shè)備外(wài)表麵的汙(wū)染(rǎn)，按工藝要(yào)求(qiú)，必要時還要清除(chú)內(nèi)表麵(miàn)的汙染(rǎn)。
1)如(rú)有可能(néng)，凡(fán)要進(jìn)行維修的設備應(yīng)先(xiān)移(yí)出(chū)無(wú)塵室再維修(xiū)，以減少(shǎo)汙染(rǎn)產生(shēng)的(dí)可(kě)能(néng)性；
2)如果必(bì)要(yào)，應將(jiāng)需要維護的固(gù)定設備與周圍的無塵(chén)室隔(gé)離(lí)開來(lái)，再進行(háng)主要的維(wéi)護(hù)或維修。或(huò)者采取(qǔ)把(bǎ)所(suǒ)有正(zhèng)在製造的(dí)產(chǎn)品(pǐn)移往適(shì)當位置(zhì)的措施；
3)正(zhèng)在(zài)維護(hù)，維修設備(bèi)相(xiāng)鄰的無(wú)塵室(shì)區域，應適當(dāng)加強(qiáng)監(jiān)控，以(yǐ)保(bǎo)證(zhèng)有效(xiào)地(dì)控製(zhì)汙染；
4)在隔離區(qū)內進(jìn)行(háng)維(wéi)修(xiū)，維護的(dí)工(gōng)作人員(yuán)，不(bù)應與無(wú)塵室的(dí)生產或(huò)操作人員(yuán)發(fā)生接(jiē)觸；
5)進人無塵室的維(wéi)護(hù)或(huò)維修人員，應遵(zūn)循該潔(jié)淨(jìng)區的規範，包括穿著(zhuó)適(shì)當的(dí)工作(zuò)服(fú)及(jí)維修完(wán)成後(hòu)對(duì)該區(qū)和(hé)設備清(qīng)潔(jié)應達到要(yào)求；
6)如(rú)果(guǒ)技(jì)術人員(yuán)需(xū)要躺下或爬到設備下麵去維(wéi)修(xiū)，應該先確定工(gōng)作條(tiáo)件(jiàn)是否適(shì)宜，應在進行化(huà)學(xué)品，酸或生物(wù)危險品(pǐn)有效(xiào)中和或(huò)適(shì)當處(chǔ)理後(hòu)，再(zài)開(kāi)始維修工(gōng)作；
7)應(yīng)采(cǎi)取(qǔ)措(cuò)施保護維修人員(yuán)的(dí)潔淨服不(bù)接觸(chù)到(dào)設備(bèi)上(shàng)的潤(rùn)滑油(yóu)或工(gōng)藝用(yòng)化學品等(děng)汙染物，還(huán)應(yīng)避免潔(jié)淨(jìng)服(fú)被(bèi)設備，工作的(dí)銳(ruì)邊撕裂，捅破(pò)；
8)進(jìn)行維護(hù)或維修(xiū)工作(zuò)用的(dí)全(quán)部工具(jù)，工具箱(xiāng)，小車等(děng)，在進(jìn)入(rù)無塵(chén)室前(qián)都(dū)應*地(dì)清潔，不(bù)允許帶入任何(hé)鏽(xiù)蝕的工(gōng)具。如果(guǒ)進人生物無(wú)塵室(shì)，則(zé)還可能(néng)要求滅(miè)菌(jūn)或消毒；
9)維修(xiū)技術(shù)人員(yuán)應(yīng)避(bì)免把工(gōng)具(jù)，各種(zhǒng)零配件，損壞的零(líng)部件(jiàn)或清潔用的工具材料等(děng)任何(hé)物品(pǐn)，放(fàng)置在產品(pǐn)或工藝(yì)材(cái)料(liào)用(yòng)的工作表(biǎo)麵(miàn)附(fù)近；
10)維(wéi)修(xiū)工作過程中應(yīng)該(gāi)注意清潔，隨時進(jìn)行清(qīng)潔工作，定期(qī)地更換(huàn)手套，避免(miǎn)因手(shǒu)套破(pò)損，維(wéi)修(xiū)人員的皮(pí)膚(fū)接觸(chù)設備(bèi)潔(jié)淨表(biǎo)麵(miàn)的(dí)情(qíng)況(kuàng)發生(shēng)；
11)如(rú)果(guǒ)要(yào)求使用(yòng)耐酸，耐(nài)熱或(huò)耐切割(gē)型的非(fēi)無塵(chén)室手(shǒu)套，那麼這(zhè)些手(shǒu)套應符合(hé)潔淨室要(yào)求或另套一(yī)副無塵室手(shǒu)套；
12)如需進(jìn)行(háng)鑽(zuān)，鋸作業時，應(yīng)使(shǐ)用的(dí)罩(zhào)蓋，把(bǎ)工具(jù)和(hé)進行鑽，鋸(jù)的區域(yù)遮(zhē)蔽起來，同(tóng)時使(shǐ)用無塵室真(zhēn)空除塵器，及時(shí)吸走揚塵。
13)在(zài)地麵(miàn)，牆麵，設備(bèi)側板(bǎn)或其他表麵(miàn)鑽(zuān)孔(kǒng)後(hòu)，留(liú)下(xià)的(dí)縫(féng)隙(xì)，孔洞，要(yào)采(cǎi)取(qǔ)密封措 施，如用(yòng)填料，粘合劑和(hé)特(tè)殊製造的板堵(dǔ)塞(sāi)，以防止汙(wū)染物(wù)經孔(kǒng)洞，縫隙擴(kuò)散到無塵(chén)室內。