潔淨室(shì)或其它受(shòu)控環境對(duì)內圍護結(jié)構材質(zhì)的物(wù)理(lǐ)，化學穩定(dìng)性要求較(jiào)高(gāo)。相應而來的(dí)問題是(shì)地麵(miàn)麵(miàn)層(céng)雖光(guāng)潔(jié)，柔(róu)韌，耐(nài)磨(mó)，但(dàn)導(dǎo)電性能(néng)是(shì)否(fǒu)符(fú)合(hé)要求，會(huì)不(bù)會聚(jù)集靜電(diàn)圍護(hù)結(jié)構麵(miàn)層。特別(bié)是地麵(miàn)靜(jìng)電聚集，其危(wēi)害是(shì)多方(fāng)麵的(dí)，包(bāo)括(kuò)損壞(huài)電子(zǐ)設備(bèi)，儀(yí)器，擊傷(shāng)人體(tǐ)，導(dǎo)致(zhì)火災(zāi)，爆炸等，對(duì)於電子工(gōng)業尤(yóu)為嚴(yán)重。國家標(biāo)準GB 50073-2001規定(dìng)，地麵麵層(céng)應采(cǎi)用靜(jìng)電耗散(sàn)型材料，其(qí)表麵(miàn)電阻率(shuài)應(yīng)為1.0*105～1.0*1012Ω或(huò)體積(jī)電阻率(shuài)為(wéi)1.0*104～1.0*1011Ω.cm。地麵應設有(yǒu)導(dǎo)電泄(xiè)放措施(shī)和接(jiē)地構(gòu)造，其(qí)對(duì)地泄放(fàng)電阻(zǔ)值應為1.0*105～1.0*109Ω。有(yǒu)關防靜(jìng)電(diàn)係(xì)統(tǒng)測(cè)試(shì)方(fāng)麵的(dí)要(yào)求，可參考國(guó)內電(diàn)子(zǐ)行業標準SJ/T10694《電子(zǐ)產(chǎn)品和(hé)製(zhì)造(zào)防靜(jìng)電(diàn)係(xì)統測試方(fāng)法》。
國家(jiā)行(háng)業標(biāo)準JGJ 71-90《潔(jié)淨(jìng)室(shì)施工(gōng)及(jí)驗(yàn)收規範》對(duì)地麵，牆麵及工作台(tái)麵的導(dǎo)靜電性能(néng)，推薦采用符合精度(dù)要求的(dí)高阻計，在(zài)被測(cè)表麵上(shàng)選定(dìng)代(dài)表區域(yù)的(dí)兩(liǎng)點間，按下圖(tú)所(suǒ)示(shì)方法進行測(cè)試(shì)。
ISO 14644-3對(duì)靜電測試相(xiāng)關(guān)儀器(qì)給(gěi)出了以下技(jì)術(shù)要求：
1，靜(jìng)電電壓(yā)計
靜電電壓計用以測(cè)量ɑ區(qū)域(yù)內(nèi)的(dí)平均(jūn)電壓或(huò)電(diàn)位(wèi)，對(duì)其技(jì)術(shù)要求(qiú)如下表所(suǒ)列。
對(duì)精(jīng)密電壓計的測(cè)量(liáng)技術要求：
對(duì)手動(dòng)式靜(jìng)電電(diàn)壓(yā)計或靜電場強(qiáng)計的(dí)測量技術(shù)要求：
2，高電阻(zǔ)歐姆表
高(gāo)電阻歐姆(mǔ)表(biǎo)用以測(cè)量(liáng)絕(jué)緣(yuán)材料和部(bù)件(jiàn)的電阻(zǔ)，其(qí)方法是探(tàn)測從一(yī)施加高(gāo)壓的(dí)部(bù)位(wèi)到(dào)被(bèi)測部(bù)位的漏(lòu)電(diàn)電(diàn)阻，對(duì)其(qí)技術要求及(jí)附加(jiā)技(jì)術要求如下表所(suǒ)列。
高電(diàn)阻(zǔ)歐姆(mǔ)表的測量技(jì)術要求：
高(gāo)電(diàn)阻(zǔ)歐姆表(biǎo)的(dí)測(cè)量附(fù)加技(jì)術要求：
3，充電(diàn)板(bǎn)檢測儀
充電板(bǎn)檢測儀用以測量(liáng)電離(lí)器(qì)或離子化裝置(zhì)的(dí)中和(hé)特(tè)性。測(cè)試的目(mù)的是(shì)評估雙極(jí)離子生成器(qì)的性(xìng)能(néng)，測試(shì)內容(róng)通(tōng)常(cháng)包括兩個方麵：
（1）測量放電時間(jiān)，用以計算離子(zǐ)生成器消(xiāo)除靜(jìng)電(diàn)荷(hé)的(dí)效率；
（2）測量(liáng)補償電壓(yā)，用(yòng)以評估在(zài)離子生成(chéng)器(qì)生成的(dí)離(lí)子化氣流中(zhōng)正負離(lí)子的不穩定性(xìng)。離子的不(bù)穩(wěn)定會造成不利的(dí)殘(cán)餘電(diàn)壓(yā)。
當(dāng)前位置(zhì)：