潔淨(jìng)生(shēng)產(chǎn)環境（潔淨(jìng)廠(chǎng)房(fáng)，潔淨室）先後(hòu)使(shǐ)用過(guò)“無塵室”，“無窗廠(chǎng)房(fáng)”，“密(mì)閉(bì)廠房(fáng)”，“空氣懸(xuán)浮粒子受(shòu)控的(dí)房(fáng)間”等(děng)概念。潔淨(jìng)廠(chǎng)房的(dí)設(shè)計建造(zào)和(hé)使用應做(zuò)到(dào)不(bù)引(yǐn)入(rù)或少(shǎo)引(yǐn)入(rù)微粒(lì),不產生(shēng)或少(shǎo)產(chǎn)生微粒,不(bù)滯留或少滯留微(wēi)粒。潔(jié)淨廠(chǎng)房(fáng)還對溫度(dù)，濕度，壓(yā)力等參數按(àn)產品生產(chǎn)要(yào)求進行(háng)控製。而根(gēn)據(jù)產(chǎn)品生(shēng)產要(yào)求需對潔(jié)淨室內(nèi)的氣流分布(bù)，氣流速度(dù)以(yǐ)及噪(zào)聲，振動，靜電(diàn)等(děng)進行控(kòng)製。
產(chǎn)品生(shēng)產(chǎn)推(tuī)動潔淨技術演(yǎn)進
國內(nèi)外(wài)潔淨技術的(dí)發展(zhǎn)都是隨著(zhuó)科學技術(shù)的發展和(hé)產品(pǐn)生(shēng)產的更(gēng)新換代(dài),特(tè)別是軍事(shì)工(gōng)業(yè)，電子，航(háng)天和生物醫藥(yào)等(děng)工業的發(fā)展而不斷演進的(dí)。現代工(gōng)業產(chǎn)品(pǐn)和現代科(kē)學實驗活(huó)動要(yào)求(qiú)微型化，精(jīng)密化，高純(chún)度，高質(zhì)量(liáng)和高(gāo)可靠(kào)性。以微型(xíng)化為(wéi)例(lì),電(diàn)子計算機從當初放(fàng)置(zhì)在(zài)若(ruò)幹(gān)個房間內龐大(dà)的機(jī)組發展到今天(tiān)的便攜式(shì)筆記(jì)本。與(yǔ)此同(tóng)時(shí),它內部(bù)所使用的電子元(yuán)器(qì)件也從電子(zǐ)管(guǎn)到半導(dǎo)體(tǐ)分(fēn)立器件(jiàn),再到(dào)集(jí)成電(diàn)路和極(jí)大規模集成(chéng)電(diàn)路(lù);集(jí)成電路(lù)的(dí)綫寬(kuān)也已(yǐ)從(cóng)幾微(wēi)米(mǐ)發(fā)展到當(dāng)今45納米。這(zhè)些(xiē)新科技(jì)產品要求具有(yǒu)嚴格的(dí)潔淨生(shēng)產環(huán)境(jìng)。潔(jié)淨技術(shù)便是(shì)根據(jù)產(chǎn)品生(shēng)產(chǎn)對潔(jié)淨(jìng)生產(chǎn)環境中汙(wū)染(rǎn)物(wù)的控製要(yào)求(qiú)，控製方法以(yǐ)及控製(zhì)設(shè)施等日益(yì)嚴格(gé)的(dí)要(yào)求(qiú)不斷發展而(ér)來的。
潔淨技術是一門(mén)綜合技術,其(qí)核心技(jì)術(shù)包括生產工藝(yì)技術(shù)及(jí)其(qí)工藝設計(jì)，空氣淨化(huà)，潔(jié)淨建築以(yǐ)及(jí)各類(lèi)產(chǎn)品生產(chǎn)所需的專業技(jì)術（如(rú)微電子(zǐ)產(chǎn)品生(shēng)產(chǎn)所需(xū)的(dí)高純物質——— 高純(chún)水(shuǐ)，高(gāo)純(chún)氣(qì)，高(gāo)純(chún)化(huà)學品的(dí)相(xiāng)關專(zhuān)業技術等）。這些專業(yè)技術在潔(jié)淨室設計中都是*的(dí),它(tā)們(mén)必須(xū)密切配合,圍繞(rào)著產品生產的(dí)需要(yào),相(xiāng)互協調(tiáo)，統(tǒng)籌安排。潔(jié)淨(jìng)廠房(fáng)的設計和建(jiàn)造(zào)就(jiù)是要在做(zuò)好各(gè)相(xiāng)關專業(yè)設(shè)計的基礎(chǔ)上,做(zuò)好(hǎo)各項安全設施——— 消防，防(fáng)火(huǒ)，防爆，安全報警,確(què)保潔(jié)淨室的安(ān)全(quán)運行(háng)。與此(cǐ)同(tóng)時,它還要(yào)處理好(hǎo)電源(yuán)，冷源，熱源等(děng)動力供應(yīng),節(jié)約能源;安排(pái)好(hǎo)各(gè)類(lèi)配管配綫(xiàn),確(què)保各種(zhǒng)流體(tǐ)介質的輸(shū)送質量,減少材料(liào)消(xiāo)耗,方(fāng)便施工安(ān)裝(zhuāng)和運行維護(hù)。
微(wēi)電子(zǐ)對潔(jié)淨技術提出新要求
電(diàn)子(zǐ)產品(pǐn),尤其(qí)是(shì)微(wēi)電子(zǐ)產(chǎn)品生(shēng)產依賴(lài)於(yú)潔淨(jìng)技(jì)術(shù)的(dí)發(fā)展,或者說(shuō)潔(jié)淨技術(shù)的發展(zhǎn)是由微(wēi)電(diàn)子(zǐ)產品的更新換(huàn)代推動發展起來的(dí)。電子產(chǎn)品潔淨廠房(fáng)對空氣潔(jié)淨度(dù)和各類雜(zá)質的控製有嚴(yán)格的(dí)要求(qiú)。半(bàn)導(dǎo)體(tǐ)集(jí)成電路(lù)製(zhì)造(zào)是(shì)一(yī)種高科技製(zhì)造(zào)技術。它是利(lì)用(yòng)高(gāo)精密機器(qì)設備,將(jiāng)物理，化(huà)學，電(diàn)子以及(jí)機(jī)械等技術融合應用(yòng)於(yú)產(chǎn)品製造過(guò)程。為了獲得微電子(zǐ)產品的(dí)高(gāo)質量和(hé)高成(chéng)品率,必(bì)須嚴格控(kòng)製(zhì)芯(xīn)片缺(quē)陷。而(ér)導致(zhì)芯片缺陷的因素十分(fēn)復(fù)雜,其(qí)汙染源可能(néng)來自空氣中的(dí)粒子(zǐ)或加(jiā)工(gōng)過(guò)程(chéng)中使用(yòng)的各(gè)類工藝介質中的雜(zá)質，清洗(xǐ)用(yòng)純水中的(dí)雜(zá)質以及(jí)工具等(děng)帶來(lái)的雜質汙(wū)染等(děng)。生(shēng)產(chǎn)環境控製就(jiù)是對(duì)與(yǔ)產品生(shēng)產(chǎn)過程相關(guān)的各(gè)類(lèi)汙(wū)染物(wù)進行控製。其中(zhōng),對生(shēng)產(chǎn)環境中(zhōng)微粒(lì)的控製是十分重要的(dí)內容。當前(qián)45nm的極大(dà)規(guī)模(mó)集成(chéng)電(diàn)路已投入生產,要求潔淨室(shì)的空氣潔(jié)淨度(dù)控製在(zài)ISO1級(jí)或ISO2級,微(wēi)粒粒徑控(kòng)製(zhì)在(zài)0.03微(wēi)米(mǐ)。隨著集成度的(dí)不斷提高，加工尺(chǐ)寸日益(yì)微細(xì)化(huà),集成(chéng)電路生產過程不(bù)僅對(duì)空氣潔淨度(dù)等級提出越來越高的要求(qiú),也(yě)對整個產品(pǐn)生(shēng)產(chǎn)過程中(zhōng)微粒的(dí)黏附，化學(xué)汙染物(wù)，芯(xīn)片的(dí)損(sǔn)傷(shāng)等問題(tí)提出越來(lái)越(yuè)高的(dí)要求。近(jìn)年(nián)來的(dí)實(shí)踐表明,帶入潔淨(jìng)室或潔淨(jìng)室(shì)產(chǎn)生(shēng)的汙染(rǎn)以及空(kōng)氣(qì)中的NOX，SOX ，Na+，Cl-等,超(chāo)細玻(bō)璃纖維(wéi)製(zhì)品中(zhōng)的硼(péng)和(hé)DOP粒(lì)子,操作人員自(zì)身(shēn)產(chǎn)生(shēng)的NH4+，Na+等,潔淨室建(jiàn)造(zào)材(cái)料(liào)散發(fā)的各(gè)種(zhǒng)有機(jī)物，金屬(shǔ)離(lí)子等,生產(chǎn)過程(chéng)使用(yòng)溶劑，洗滌液(yè)散發的各種化(huà)學汙染物等(děng)對(duì)生產(chǎn)過(guò)程都有(yǒu)很(hěn)大的影(yǐng)響(xiǎng)。為此,去除化學(xué)分(fēn)子(zǐ)態汙(wū)染物(wù)的空氣淨(jìng)化(huà)裝置(zhì)，技術(shù)措施(shī)以(yǐ)及(jí)相應的檢(jiǎn)測手(shǒu)段(duàn)正被廣泛應用(yòng)。
以微電(diàn)子(zǐ)產品(pǐn)為(wéi)代表的電(diàn)子(zǐ)產品(pǐn),其(qí)生產過程中(zhōng)廣(guǎng)泛應用(yòng)了高精密製(zhì)造(zào)設備,這(zhè)使(shǐ)電子(zǐ)工業(yè)潔淨(jìng)廠(chǎng)房(fáng)的(dí)形式，構造(zào)和整體建(jiàn)造成(chéng)本都發生了(liǎo)極大的變化(huà)。電(diàn)子(zǐ)工業潔(jié)淨廠房(fáng)采用(yòng)多(duō)功能組(zǔ)合(hé)式(shì)建築形(xíng)式(shì)日益(yì)增多,電子產(chǎn)品生(shēng)產工藝(yì)及其(qí)製(zhì)造(zào)設備(bèi)的(dí)集成化，過(guò)程(chéng)控(kòng)製自動(dòng)化(huà)水平(píng)日益提(tí)高(gāo),安全設(shè)施日(rì)益*,生(shēng)產過(guò)程所需的(dí)作業(yè)人(rén)員大大減(jiǎn)少,這些都(dū)提高了電子產(chǎn)品(pǐn)生(shēng)產(chǎn)過程(chéng)的穩(wěn)定性和(hé)安(ān)全可(kě)靠(kào)性(xìng),為生(shēng)產環(huán)境創造(zào)了良(liáng)好(hǎo)的條件(jiàn)。電子(zǐ)產品不僅(jǐn)對(duì)生產(chǎn)環境的空(kōng)氣(qì)潔(jié)淨程度(dù)有(yǒu)嚴(yán)格要(yào)求,而且還對(duì)與生產(chǎn)過程(chéng)直接(jiē)接觸(chù)的(dí)各(gè)種(zhǒng)高(gāo)純介質——— 高(gāo)純(chún)水，高(gāo)純(chún)氣(qì)體(tǐ)，高純化(huà)學品(pǐn)等(děng)的雜質含量等有十分嚴(yán)格的要(yào)求(qiú)。某些電子產品對振(zhèn)動，靜電，電磁(cí)幹擾，電(diàn)力供應(yīng)等(děng)也有(yǒu)較為(wéi)嚴(yán)格(gé)的要求(qiú)。為(wéi)此,電(diàn)子(zǐ)工業潔淨(jìng)廠房(fáng)一(yī)般配備下列設(shè)施,如(rú)淨(jìng)化空(kōng)調(tiáo)係統，淨(jìng)化(huà)設備，噪(zào)聲控(kòng)製(zhì)設(shè)備，防微(wēi)振(zhèn)設備(bèi)，防靜(jìng)電設(shè)備，防電磁(cí)幹(gān)擾設(shè)備(bèi)，電氣(qì)，照(zhào)明，高純物(wù)質（高純(chún)水，高(gāo)純氣，高純(chún)化學品）供應設備(bèi)，報(bào)警係(xì)統，節(jié)能(néng)設(shè)施以(yǐ)及(jí)通(tōng)信設(shè)施(shī)等。微(wēi)電子產品的微(wēi)細(xì)化,要求供應(yīng)純度(dù)*的(dí)氣體(tǐ)，化(huà)學品(pǐn)和(hé)純(chún)水。
新(xīn)國標推(tuī)動(dòng)潔淨技(jì)術(shù)上(shàng)台(tái)階
基於(yú)上(shàng)述(shù)電(diàn)子(zǐ)工業潔淨(jìng)廠(chǎng)房(fáng)的特點,現有國家標(biāo)準《潔淨廠房設(shè)計規範(fàn)》（GB50073）中(zhōng)的(dí)有(yǒu)關規定已(yǐ)不能滿(mǎn)足需(xū)要,尤其是涉及化學(xué)分(fēn)子汙染(rǎn)物的控製以及安全，消防等(děng)方麵(miàn)的規定(dìng)（如潔淨(jìng)建(jiàn)築防(fáng)火(huǒ)與疏散，易(yì)燃易爆氣體和(hé)化學品的貯存輸(shū)送(sòng)，安(ān)全消(xiāo)防報(bào)警(jǐng)設施(shī)等(děng)）。由國家(jiā)住(zhù)房和城鄉建(jiàn)設部(bù)和國家質量監督(dū)檢驗(yàn)檢疫總局(jú)聯合發布,並(bìng)從2009年7月1日(rì)實施(shī)的國家標準《電(diàn)子工(gōng)業潔淨廠房設計規範》（GB50472）,正是(shì)以(yǐ)現(xiàn)代電子工(gōng)業(yè)潔淨廠房的特(tè)點(diǎn)和工(gōng)程實(shí)踐(jiàn)為依據,結合我(wǒ)國電(diàn)子(zǐ)工業潔(jié)淨(jìng)廠房設(shè)計建(jiàn)造和運行(háng)的(dí)實(shí)際(jì)情況,廣(guǎng)泛調研，整理相關的專題報告(gào)和測試資(zī)料,認(rèn)真總(zǒng)結(jié)多年來電子(zǐ)工業潔(jié)淨(jìng)廠房設(shè)計建造和運(yùn)行(háng)方麵(miàn)的經驗,廣泛(fàn)征求(qiú)了(liǎo)國(guó)內有關(guān)單(dān)位的意見製(zhì)定而(ér)成(chéng)的。國(guó)家標準《電子工業(yè)潔(jié)淨(jìng)廠房設計規範》（GB50472）共分15章(zhāng)和4個附(fù)錄(lù)。主(zhǔ)要(yào)內(nèi)容(róng)有：總則(zé)，術語(yǔ)，電(diàn)子(zǐ)產品(pǐn)生產環(huán)境(jìng)設計要求(qiú)，總體(tǐ)設(shè)計，工(gōng)藝設計，潔(jié)淨室(shì)建築設計(jì)，空氣(qì)淨化和空(kōng)調通風設(shè)計(jì)，給水(shuǐ)排(pái)水(shuǐ)設計(jì)，純水供應，氣體(tǐ)供應，化(huà)學品(pǐn)供應(yīng)，電(diàn)氣設(shè)計，防(fáng)靜電(diàn)與(yǔ)接地(dì)設計，噪(zào)聲控製以及微(wēi)振控(kòng)製等(děng)。該規(guī)範是強(qiáng)製性(xìng)標準,其(qí)中設(shè)有(yǒu)強製性(xìng)條(tiáo)文近50條,在規範(fàn)中黑(hēi)體字的條文(wén)為(wéi)強製性條文,必須嚴格執(zhí)行(háng)。