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1,平麵(miàn)由(yóu)工(gōng)藝決(jué)定(dìng),電子工(gōng)業潔淨廠房的工(gōng)藝(yì)布局(jú)應適應電子(zǐ)產品發展的(dí)靈(líng)活性,滿足(zú)產(chǎn)品(pǐn)生(shēng)產工藝改造和擴大(dà)生產(chǎn)的需求。
2,主體(tǐ)結構宜(yí)采用大(dà)空(kōng)間及(jí)大跨度(dù)柱(zhù)網,不(bù)宜采(cǎi)用內(nèi)牆承重體(tǐ)係。
3,大(dà)型(xíng)電子工(gōng)業(yè)潔淨廠(chǎng)房常(cháng)采用上技(jì)術夾層,下技術(shù)夾層這(zhè)種“夾心(xīn)”式(shì)多(duō)層(céng)構(gòu)造。
4,應考慮大(dà)型生(shēng)產工藝設備的(dí)安裝,維(wéi)修要求,設置(zhì)必要的(dí)運輸通道(dào)和(hé)不(bù)影(yǐng)響(xiǎng)潔(jié)淨生產(chǎn)環境的(dí)安裝口或檢修口。
5,電子工業潔淨室按二(èr)級耐火(huǒ)等(děng)級(jí)設計。
6,特種(zhǒng)氣(qì)體的儲存(cún)和(hé)分配(pèi)間應有(yǒu)耐火隔(gé)牆(qiáng)與潔淨室(shì)(區(qū))分開,該(gāi)牆耐火極限(xiàn)不(bù)低於1H。有(yǒu)毒(dú)的(dí)矽(guī)烷或(huò)其混(hùn)合物(wù)氣瓶(píng)存區至(zhì)少(shǎo)三(sān)麵是敞(chǎng)開的,氣(qì)瓶(píng)與(yǔ)周圍構築物或(huò)圍(wéi)欄(lán)之間的(dí)距(jù)離應大(dà)於3M,儲(chǔ)存區設(shè)置(zhì)的雨(yǔ)篷應(yīng)不低(dī)於(yú)3.5M。
7,電子工(gōng)業潔(jié)淨(jìng)室的(dí)裝飾(shì)材(cái)料不得采(cǎi)用(yòng)釋放(fàng)對(duì)電子產(chǎn)品有(yǒu)影響物質(zhì)的材料。
8,電(diàn)子工(gōng)業(yè)潔淨室允許設空(kōng)氣吹淋室,這是(shì)和(hé)一(yī)般生物(wù)潔淨(jìng)室不同的(dí)。吹(chuī)淋(lín)室(shì)應(yīng)與潔(jié)淨工作(zuò)服(fú)更(gēng)衣(yī)室(shì)相(xiāng)鄰。單人吹淋室按zui大班(bān)人數為(wéi)30人(rén)一間(jiān)設計,當工(gōng)作(zuò)人員(yuán)超過(guò)5人(rén)時,應(yīng)設(shè)旁(páng)門(mén),當人(rén)數太多(duō)或(huò)為了(liǎo)縮(suō)短通過時(shí)間(jiān),也可設(shè)遂(suì)道式吹(chuī)淋室(shì)。
9,對於別潔(jié)淨室(shì),為了盡(jìn)可能不影(yǐng)響氣(qì)流的單(dān)向性(xìng),平(píng)行(háng)性,照(zhào)明(míng)燈(dēng)具采用淨化淚珠(zhū)形(xíng)燈具。
10,電(diàn)子工業(yè)潔(jié)淨室常要根(gēn)據(jù)生(shēng)產工(gōng)藝(yì)要求設置(zhì)防靜(jìng)電環(huán)境,以便(biàn)抑製靜(jìng)電的產生(shēng),將已產(chǎn)生的(dí)靜(jìng)電(diàn)迅(xùn)速,安(ān)全(quán)的排除(chú)。
11,電(diàn)子(zǐ)工業(yè)潔(jié)淨室友有對防(fáng)微(wēi)振的特(tè)殊(shū)要求,在(zài)廠地環境(jìng)上應避(bì)開振動源。
12,電子(zǐ)工業潔(jié)淨(jìng)室(shì)除有一(yī)般給(gěi)排(pái)水(shuǐ)要求(qiú)外,對(duì)超(chāo)大(dà)規(guī)格(gé)集成電(diàn)路的(dí)用水也有標準(zhǔn)。